和噴出涂布液的噴出縫22。本實施方式中的涂布器10具有上下2段歧管，第1歧管(以下，稱為“上段歧管”)11經(jīng)由貫通孔36與第1供給口 31連接。并且，第2歧管(以下，稱為“下段歧管”)12與噴出縫22連接，并通過連結節(jié)流流路21連結上段歧管11與下段歧管
12ο
[0033]將積存在上段歧管11內的氣泡排出到外部的第1排出口 41經(jīng)由貫通孔45與上段歧管11連接。并且，供給涂布液的第2供給口 32經(jīng)由貫通孔37與下段歧管12連接，將積存在下段歧管12內的氣泡排出到外部的第2排出口 42經(jīng)由貫通孔46與下段歧管12連接。這里，第1供給口 31和第2供給口 32分別設置在上段歧管11和下段歧管12的寬度方向中央部。并且，第1排出口 41和第2排出口 42分別設置在上段歧管11和下段歧管12的寬度方向兩端部。
[0034]第1供給口 31和第2供給口 32與配管35連接，該配管35與輸送涂布液的栗(未圖示)連接，在第1供給口 31和第2供給口 32分別與配管35連接的中途，作為涂布液供給控制單元38分別設置有第1供給閥33和第2供給閥34。并且，通過打開該第1供給閥33和第2供給閥34，分別通過第1供給口 31和第2供給口 32對上段歧管11和下段歧管12供給涂布液。
[0035]并且，第1排出口 41和第2排出口 42分別與配管47、48連接，在它們的中途，作為氣泡排出控制單元49設置有第1排出閥43和第2排出閥44。并且，通過打開該第1排出閥43和第2排出閥44，能夠將積存在上段歧管11和下段歧管12內的氣泡排出到外部。
[0036]如圖1的(b)所示，通過涂布液供給控制單元38和氣泡排出控制單元49進行控制，使積存在上段歧管11內的氣泡50因從第1供給口 31朝向第1排出口 41流動的涂布液而被擠出到上段歧管11的寬度方向兩端部，并與從第1排出口 41排出的涂布液一同排出到外部。
[0037]同樣，通過涂布液供給控制單元38和氣泡排出控制單元49進行控制，使積存在下段歧管12內的氣泡50因從第2供給口 32朝向第2排出口 42流動的涂布液而被擠出到下段歧管12的寬度方向兩端部，并與從第2排出口 42排出的涂布液一同排出到外部。
[0038]這樣，通過在下段歧管12中設置供給涂布液的第2供給口 32，能夠產(chǎn)生將積存在下段歧管12中的氣泡擠出到寬度方向兩端部這樣的涂布液的流動。由此，能夠可靠且迅速地排出積存在下段歧管12中的氣泡。其結果為，能夠縮短涂布器10整體的氣泡排出所需要的時間。
[0039]圖2的(a)?(d)是示出在本實施方式的涂布器10中，將最初填充涂布液時的氣泡排出的機構的一例的縱剖視圖。
[0040]圖2的(a)示出對涂布器10填充涂布液前的空的狀態(tài)。當打開與第1供給口 31連接的第1供給閥33并從第1供給口 31對上段歧管11供給涂布液時，涂布液如圖2的(b)的箭頭所示、從第1供給口 31朝向第1排出口 41流動，此外被上段歧管11擴寬后的涂布液依次通過連結節(jié)流流路21、下段歧管12、噴出縫22而從涂布器噴出。此時，在上段歧管11和下段歧管12中，氣泡50因浮力而殘留在各個歧管的上部。
[0041]接著，如圖2的(c)所示，一邊從第1供給口 31供給涂布液，一邊打開與第1排出口 41連接的第1排出閥43，從而產(chǎn)生從第1供給口 31朝向第1排出口 41的涂布液的流動。通過該流動，上段歧管11內的氣泡50被擠出到上段歧管11的寬度方向兩端部，并與從第1排出口 41排出的涂布液一同排出到外部。
[0042]接著，如圖2的(d)所示，一邊從第2供給口 32供給涂布液，一邊打開與第2排出口 42連接的第2排出閥44，從而產(chǎn)生從第2供給口 32朝向第2排出口 42的涂布液的流動。通過該流動，下段歧管12內的氣泡50被擠出到下段歧管12的寬度方向兩端部，并與從第2排出口 42排出的涂布液一同排出到外部。
[0043]另外，在通過栗以恒定的流速供給涂布液的情況下，當對上段歧管11和下段歧管12同時供給涂布液時，所供給的涂布液分散到2個歧管11、12。因此，與僅對上段歧管11或下段歧管12中的任意一方供給涂布液的情況相比，在寬度方向上通過各個歧管11、12的橫截面的涂布液的流速降低。由此，對于難以受到因涂布液的流動而產(chǎn)生的擠出效果的較小的氣泡而言，其排出可能會花費時間。
[0044]因此，優(yōu)選在積存在上段歧管11內的氣泡從第1排出口 41排出到外部的期間，對第2供給口 32進行控制，關閉第2供給閥34而停止涂布液的供給，并且對第2排出口 42進行控制，關閉第2排出閥44而停止氣泡的排出。同樣地，優(yōu)選在積存在下段歧管12內的氣泡從第2排出口 42排出到外部的期間，對第1供給口 41進行控制，關閉第1供給閥33而停止涂布液的供給，并且對第1排出口 41進行控制，關閉第1排出閥43而停止氣泡的排出。由此，能夠提高在寬度方向上通過各個歧管的橫截面的涂布液的流速，能夠可靠且迅速進行氣泡排出。
[0045]在本實施方式中，上段歧管11和下段歧管12的大小沒有特別限制，只要根據(jù)涂布液的擴寬條件等適當?shù)貨Q定其大小即可，大小也可以彼此不同。并且，從第1供給口 31供給的涂布液的流速、供給時間等供給條件以及從第2供給口 32供給的涂布液的供給量、流速、供給時間等供給條件也沒有特別限制，例如，只要根據(jù)上段歧管11和下段歧管12的容量、截面形狀、氣泡的混入量等適當決定栗的流速和供給時間即可。
[0046]在本實施方式中，設置與下段歧管12連接的第2供給口 32是為了在將積存在下段歧管12內的氣泡排出到外部時產(chǎn)生將該氣泡擠出到寬度方向兩端部這樣的涂布液的流動。由此，能夠使積存在下段歧管12內的氣泡可靠且迅速地排出到外部。S卩，與下段歧管12連接的第2供給口 32在將積存在下段歧管12內的氣泡排出到外部時發(fā)揮功能。
[0047]另一方面，關于與上段歧管11連接的第1供給口31，還在積存在上段歧管11內的氣泡的排出結束后、從噴出縫22噴出涂布液而在被涂布部件上形成涂布膜時，將其用作涂布液的供給部位。
[0048]圖3是示出在被涂布部件上形成涂布膜時，不僅從第1供給口31還從第2供給口32進行涂布液的供給的情況的狀態(tài)的圖。
[0049]如圖3所示，從第1供給口 31供給的涂布液在上段歧管11中擴寬，進而通過連結節(jié)流流路21并在下段歧管12中再次擴寬，由此從噴出縫22以遍及整個寬度而均勻的噴出分布噴出。另一方面，由于從第2供給口 32供給的涂布液未在上段歧管11中擴寬而僅在下段歧管12中擴寬，因此無法獲得上述2階段的擴寬效果，因此在噴出縫22的中央部噴出量增加，在噴出縫22的兩端部噴出量降低。最終，由于從噴出縫22噴出的涂布液的噴出分布是來自第1供給口 31的噴出分布與來自第2供給口 32的噴出分布的總和，因此與噴出縫22的兩端部相比，在噴出縫22的中央部，涂布液的噴出量增加。由此，所形成的涂布膜的中央部的膜厚變厚，涂布膜的均勻性降低。
[0050]因此，為了形成均勻的涂布膜，優(yōu)選對與下段歧管12連接的第2供給口 32進行控制，使得在被涂布部件上形成涂布膜的期間停止涂布液的供給。
[0051]圖4的(a)、(b)是示出本發(fā)明的另一實施方式中的在被涂布部件上形成涂布膜的涂布方法的縱剖視圖，圖4的(a)是示