顆粒收集系統(tǒng)及集塵方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及將在半導(dǎo)體或液晶顯示器的制造過程中成為問題的顆粒(異物)進(jìn)行吸附藉以集塵的顆粒收集系統(tǒng)(particle collector system)及集塵方法。
【背景技術(shù)】
[0002]于半導(dǎo)體或顯示器制造過程中，為了盡量降低成為不良模式的原因的顆粒，需要加以細(xì)心的注意其集塵及防塵設(shè)計(jì)。
[0003]作為集塵及防塵方法，以往采取如下的手法(例如，參考專利文獻(xiàn)1及專利文獻(xiàn)2
等)Ο
[0004]第一種方法是對驅(qū)動(dòng)部的配置設(shè)計(jì)下功夫的方法。
[0005]具體而言，從工件(work)的正上方，排除成為顆粒的產(chǎn)生來源的驅(qū)動(dòng)部或滑動(dòng)部，盡量抑制落下到工件的顆粒的產(chǎn)生。
[0006]第二種方法是對材料是的選擇方面下功夫的方法。
[0007]具體而言，是著眼于因?yàn)轵?qū)動(dòng)部或滑動(dòng)部所使用的材料摩耗而造成產(chǎn)生顆粒的情形，因此，在材料方面，選擇具有耐摩耗性者或非脆化性者，藉以抑制顆粒的產(chǎn)生。
[0008]第三種方法是將所產(chǎn)生的顆粒的飛散路徑加以遮斷或變更的方法。
[0009]具體而言，是對必然會(huì)產(chǎn)生顆粒的部分架設(shè)蓋子(cover)或門檻，藉以作成所產(chǎn)生的顆粒不會(huì)直接附著于工件的構(gòu)造?；蛘?，在腔室(chamber)內(nèi)反復(fù)實(shí)施真空/大氣開放，藉以將顆粒頻繁地排出外部。
[0010]第四種方法是將構(gòu)造作成不致于使顆粒飛揚(yáng)的方法。
[0011 ]具體而言，由于在進(jìn)行腔室內(nèi)的抽真空或?qū)霘怏w等時(shí)，因?qū)肟諝馑鸬念w粒的飛揚(yáng)將成為問題，所以使用過濾機(jī)(filter)使導(dǎo)入空氣成為清凈的空氣，或在空氣導(dǎo)入路徑中設(shè)置捕阱(trap)部，以使空氣清凈化。
[0012][現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)]
[0013][專利文獻(xiàn)]
[0014]專利文獻(xiàn)1:日本專利特開2009-023020號(hào)公報(bào)
[0015]專利文獻(xiàn)2:日本專利特開2010-264341號(hào)公報(bào)

【發(fā)明內(nèi)容】

[0016](發(fā)明所欲解決的課題)
[0017]然而，在上述的以往技術(shù)中，則有如下述般的問題。
[0018]在上述的集塵及防塵方法而言，雖然可降低與工件一起從外部所帶進(jìn)的顆粒、以及在裝置內(nèi)腔室的驅(qū)動(dòng)部所產(chǎn)生的顆粒，但是并不能完全消滅。尤其是，積于裝置內(nèi)腔室的側(cè)墻部或地板部的顆粒，會(huì)在來自外部的空氣導(dǎo)入時(shí)，被所吹進(jìn)的空氣的風(fēng)壓卷起，以致飛散到腔室內(nèi)的所有地方。
[0019]雖然采取如所述般的集塵及防塵方法，但是由于如此原因，仍然會(huì)發(fā)生顆粒積存在腔室內(nèi)的情況。因此，以往需要定期性進(jìn)行去除所積存的顆粒的作業(yè)，為此的維護(hù)(maintenance)需要龐大費(fèi)用。又，在維護(hù)中不得不長時(shí)間中斷制造作業(yè)，因而招致生產(chǎn)效率的低落。
[0020]本發(fā)明，乃是為解決上述的課題所開發(fā)者，其目的在于提供一種不需要定期性實(shí)施顆粒的去除作就能夠幾乎完全去除顆粒的顆粒收集系統(tǒng)及集塵方法。
[0021](用以解決課題的方法)
[0022]為了解決上述課題，本發(fā)明第一態(tài)樣為一種顆粒收集系統(tǒng)，構(gòu)成為:
[0023]具備:為用以利用靜電力吸附顆粒的薄片(sheet)狀且柔軟(flexible)的集塵部、用以對該集塵部供給電源以使其產(chǎn)生靜電力的電源部、以及用以計(jì)測對應(yīng)于被吸附在集塵部的顆粒的吸附量而變化的集塵部的靜電容量的靜電容量計(jì)測部，其中，集塵部具有第一電極、配設(shè)于第一電極近旁的第二電極、以及至少覆蓋第一電極全體的介電質(zhì)，電源部為對第一及第二電極供給規(guī)定的電源電壓者，靜電容量計(jì)測部為計(jì)測第一及第二電極之間的靜電容量者。
[0024]通過此種構(gòu)成，從電源部對第一及第二電極供給規(guī)定的電源電壓時(shí)，會(huì)在第一及第二電極產(chǎn)生靜電力，使顆粒被吸附于介電質(zhì)的表面。此時(shí)，顆粒的吸附力可通過調(diào)整電源電壓加以控制。
[0025]如調(diào)整電源電壓而維持顆粒的吸附力為期望值時(shí)，則顆粒隨著時(shí)間被吸附在集塵部并逐漸堆積。于是，第一及第二電極之間的靜電容量，會(huì)對應(yīng)于被吸附在集塵部的顆粒的堆積量而變化。此時(shí)，由于可利用靜電容量計(jì)測部計(jì)測并監(jiān)控(monitoring)第一及第二電極之間的靜電容量，所以當(dāng)堆積量高于基準(zhǔn)值時(shí)，則可停止來自電源部的電源電壓的供給，并將被吸附在集塵部的顆粒廢棄于規(guī)定的場所。
[0026]本發(fā)明的第二態(tài)樣構(gòu)成為:在第一態(tài)樣所述的顆粒收集系統(tǒng)中，通過使第一及第二電極水平地橫向排列配置，并以介電質(zhì)覆蓋此等第一及第二電極全體，而形成集塵部。
[0027]通過此種構(gòu)成，使顆粒被吸附在覆蓋第一及第二電極全體的介電質(zhì)的表面。
[0028]本發(fā)明的第三態(tài)樣構(gòu)成為:在第一態(tài)樣所述的顆粒收集系統(tǒng)中，以介電質(zhì)覆蓋第一電極全體，并將篩網(wǎng)(mesh)狀的第二電極貼附于該介電質(zhì)的表面，而形成集塵部。
[0029]通過此種構(gòu)成，則顆粒通過由第一及第二電極所產(chǎn)生的靜電力所吸附，并且被捕捉到篩網(wǎng)狀的第二電極的網(wǎng)目內(nèi)。換言之，本發(fā)明的顆粒收集系統(tǒng)，由于是按照電性且機(jī)械性的方式捕捉顆粒，所以顆粒的捕捉能力甚高。
[0030]本發(fā)明的第四態(tài)樣構(gòu)成為:在第二態(tài)樣所述的顆粒收集系統(tǒng)中，通過以介電質(zhì)覆蓋橫向排列的長條狀的第一及第二電極，使集塵部形成為帶狀，并將此集塵部折彎形成為蜂巢(honey comb)狀。
[0031]通過此種構(gòu)成，則集塵部將成為立體性的形狀，且顆粒的吸附面積擴(kuò)大。
[0032]本發(fā)明的第五態(tài)樣構(gòu)成為:在第一態(tài)樣到是在第四態(tài)樣的任一項(xiàng)所述的顆粒收集系統(tǒng)中，將集塵部貼附在具有彎曲成波狀的表面的基材的表面全面。
[0033]通過此種構(gòu)成，則集塵部的表面彎曲成波浪狀，且顆粒的吸附面積擴(kuò)大。
[0034]本發(fā)明的第六態(tài)樣構(gòu)成為:在第二態(tài)樣所述的顆粒收集系統(tǒng)中，通過以上述介電質(zhì)覆蓋橫向排列的長條狀的上述第一及第二電極，使上述集塵部形成為帶狀，并將此集塵部加以折彎為蛇行狀，豎起設(shè)置于基材上。
[0035]本發(fā)明第七態(tài)樣的集塵方法構(gòu)成為:將第一態(tài)樣到第六態(tài)樣的任一項(xiàng)所述的顆粒收集系統(tǒng)中所適用的集塵部，鋪滿腔室內(nèi)的地板部、墻壁部以及天花板部的部分中的未安裝其他構(gòu)件的部分的全部，并且將電源部及靜電容量計(jì)測部配設(shè)于腔室外，以進(jìn)行腔室內(nèi)的顆粒的集塵。
[0036]通過此種構(gòu)成，則積存在腔室內(nèi)的墻壁部或地板部等的顆粒，會(huì)被吸附集塵于此等部分上所鋪滿的集塵部。因此，可在空氣從外部導(dǎo)入腔室內(nèi)時(shí)，防止顆粒被吹進(jìn)的空氣的風(fēng)壓卷起，以致飛散到腔室內(nèi)所有地方的情況。然后，監(jiān)視(monitor)靜電容量計(jì)測部，當(dāng)判斷顆粒超過基準(zhǔn)值時(shí)，則可關(guān)閉(off)電源，并去除在集塵部所附著的顆粒。換言之，由于僅在需要時(shí)實(shí)施顆粒的去除作業(yè)即可，不需要定期性實(shí)施維護(hù)作業(yè)。結(jié)果，可謀求維護(hù)費(fèi)用的削減及生產(chǎn)效率的提升。
[0037][發(fā)明的效果]
[0038]如上述所詳細(xì)說明，根據(jù)本發(fā)明，可幾乎完全吸附集塵部近旁的顆粒。并且，由于在一邊利用靜電容量計(jì)測部監(jiān)視顆粒的集塵狀態(tài)之下，僅在需要時(shí)從集塵部去除顆粒即可，所以具有:不需要定期性實(shí)施顆粒去除作業(yè)，而能相應(yīng)地謀求維護(hù)費(fèi)用的削減及生產(chǎn)效率的提升的優(yōu)異的效果。
【附圖說明】
[0039]圖1為涉及本發(fā)明的第一實(shí)施例的顆粒收集系統(tǒng)的構(gòu)成圖。
[0040]圖2為以剖面表示集塵部的顆粒收集系統(tǒng)的構(gòu)成圖。
[0041]圖3為說明顆粒收集系統(tǒng)的功能的剖面圖。
[0042]圖4為表示使用顆粒收集系統(tǒng)的腔室的概略圖。
[0043]圖5為表示集塵部與電源部及與靜電容量計(jì)測部之間的連接狀態(tài)的概略平面圖。
[0044]圖6為表示涉及本發(fā)明的第二實(shí)施例的顆粒收集系統(tǒng)的構(gòu)成圖。
[0045]圖7為說明顆粒