收集系統(tǒng)的功能的剖面圖。
[0046]圖8為表示涉及本發(fā)明的第三實施例的顆粒收集系統(tǒng)的構成圖。
[0047]圖9為表示集塵部展開后的狀態(tài)的平面圖。
[0048]圖10為表示涉及本發(fā)明的第四實施例的顆粒收集系統(tǒng)的重要部分的集塵部的概略圖。
[0049]圖11為涉及本發(fā)明的第五實施例的顆粒收集系統(tǒng)的構成圖。
[0050]符號說明
[0051 ]1-1至1-5顆粒收集系統(tǒng) 2、2_1至2-n集塵部
[0〇52]3電源部3a、3b 輸入輸出端子
[0053]4靜電容量計測部
[0054]4a、4b 檢測端子10基材
[0055]11表面20介電質
[0056]20a, 20b樹脂薄片21第一電極
[0057]21a,22a 端子22第二電極
[0058]22b網(wǎng)目23小室
[0059]40顯示部100腔室
[0060]101地板部102天花板部
[0061]103墻壁部111導入口
[0062]112排氣口120載物臺
[0063]121提升銷
[0064]122上部裝置P顆粒
[0065]ff工件。
【具體實施方式】
[0066]以下，參照【附圖說明】本發(fā)明的最優(yōu)選形態(tài)。
[0067][實施例一]
[0068]圖1為涉及本發(fā)明的第一實施例的顆粒收集系統(tǒng)的構成圖，將集塵部剖開一部分表示之。圖2為以剖面表示集塵部的顆粒收集系統(tǒng)的構成圖。
[0069]如圖1及圖2所示，此顆粒收集系統(tǒng)1-1具備有集塵部2及電源部3以及靜電容量計測部4。
[0070]集塵部2為用以利用靜電力吸附顆粒的部分，且是由薄片狀且柔軟的素材所形成，由第一電極21、第二電極22、以及覆蓋此等第一和第二電極21、22全體的介電質20所成。
[0071]介電質20由下層的樹脂薄片20a及上層的樹脂薄片20b所形成。第一電極21及第二電極22為于此下層的樹脂薄片20a上按照水平地橫向排列的方式接近配置，上層的樹脂薄片20b以覆蓋第一及第二電極21、22全體的方式，被貼附于下層的樹脂薄片20a上。
[0072]電源部3為用以供給使集塵部2產(chǎn)生靜電力的電源的部分。
[0073]具體而言，如圖1所示，電源部3的輸入輸出端子3a是連接于第一電極21的端子21a，而輸入輸出端子3b則連接于第二電極22的端子22a。
[0074]由此，形成為通過將電源部3導通(ON)，而將互為相反極性的電壓分別施加于第一及第二電極21、22間。于本實施例中，例如，將+0.21^至5.01^的電壓施加于第一電極21，而將相反極性的-0.2kV至-5.0kV的電極施加于第二電極22。
[0075]靜電容量計測部4為用以計測集塵部2的靜電容量的部分。
[0076]具體而言，靜電容量計測部4的檢測端子4a是連接于第一電極21的端子21a，而檢測端子4b是連接于第二電極22的端子22a。
[0077]由此，通過靜電容量計測部4，即可計測第一及第二電極21、22間的靜電容量。由于此靜電容量對應于被集塵部2吸附的顆粒的吸附量而變化，所以，通過顯示部40監(jiān)視靜電容量值，即可觀察到現(xiàn)在有多少顆粒堆積于集塵部2。
[0078]在此，就顆粒收集系統(tǒng)1-1的功能加以說明。
[0079]圖3為用以說明顆粒收集系統(tǒng)1-1的功能的剖面圖。
[0080]如圖3所示，如將電源部3導通時，則將規(guī)定的電源電壓從電源部3供給于第一及第二電極21、22間，并通過在第一及第二電極21、22所產(chǎn)生的靜電力，使顆粒P被吸附于介電質20的表面等。
[0081]此時，由于第一及第二電極21、22對顆粒P的吸附力是對應于電源部3的電源電壓的高低，所以，通過調整從電源部3所供給的電源電壓，即可控制對顆粒P的吸附力。
[0082]如調整電源部3的電源電壓而維持顆粒P的吸附力為期望值時，則顆粒P即通過第一及第二電極21、22的靜電力而被吸附在集塵部2，并逐漸堆積。
[0083]由于第一及第二電極21、22之間，也就是集塵部2的靜電容量會對應于被集塵部2所吸附的顆粒P的堆積量而變化，所以，通過監(jiān)視靜電容量計測部4的顯示部40，即可知悉目前的堆積量。
[0084]因而，在通過靜電容量計測部4的顯示部40而觀察到顆粒P的堆積量已高于基準值時，則關閉電源部3，停止來自電源部3的電源電壓的供給。由此，即可從集塵部2去除被吸附在集塵部2的顆粒P，并廢棄于規(guī)定的場所。
[0085]其次，就本實施例的顆粒收集系統(tǒng)的使用例加以說明。
[0086]此外，本使用例，也為具體性達成本發(fā)明的集塵方法者。
[0087]圖4為表示顆粒收集系統(tǒng)1-1使用的腔室的概略圖，圖5為表示集塵部2-1至2-8與電源部3及與靜電容量計測部4之間的連接狀態(tài)的概略平面圖。
[0088]圖4中所示的腔室100是在半導體制造裝置或液晶顯示器制造裝置等所用的腔室，而于地板部101具備有:用以導入空氣或瓦斯等氣體的導入口 111及用以排氣的排氣口 112。
[0089]于此地板部101上，設置有作為其他構件的載物臺(stage)120，而工件W則由載物臺120上的提升銷(lifting ?丨11)121、121所支撐。并且，于工件￥的正上方的天花板部102設置有用以進行蝕刻(etching)或曝光的上部裝置122。
[0090]一般而言，于如此的腔室100中，通過在載物臺120或上部裝置122使用具有耐摩耗性的材料，以抑制來自裝置本身的顆粒(省略圖示)的產(chǎn)生，或安裝蓋子以防止顆粒往工件W掉落等。此外，于導入口 111安裝過濾機，將所導入的空氣等加以清凈化。
[0091]但，即使采用如此的集塵及防塵方法，實際上，仍然不能完全消滅顆粒，而積存在腔室100的地板部101等。
[0092]于是，在本例的集塵方法中，通過將顆粒收集系統(tǒng)1-1使用在腔室100，而發(fā)揮幾乎完全集塵及防塵的效果。
[0093]具體而言，對于腔室100內的地板部101、墻壁部103以及天花板部102中未裝有屬于其他構件的載物臺120或上部裝置122等部分的全部，鋪滿多數(shù)的集塵部2-1至2-8。然后，如圖5所示，將集塵部2-1至2-8并聯(lián)連接于電源部3及靜電容量計測部4。具體而言，如圖5的實線所示，將集塵部2-1至2-8的全部的第一電極21連接于電源部3的輸入輸出端子3a，并且將全部的第二電極22連接于輸入輸出端子3b。又，如圖5的虛線所示，將集塵部2-1至2-8的全部的第一電極21連接于靜電容量計測部4的檢測端子4a，并且將全部的第二電極22連接于檢測端子4b。
[0094]如此，通過將多數(shù)的集塵部2-1至2-8鋪滿于腔室100內的地板部101等，使飛散于地板部101等的顆粒，被吸附集塵在集塵部2-1至2-8。因此，當從導入口 111導入空氣等于腔室100內，并從排氣口 112排氣時，則不會發(fā)生顆粒被空氣的風壓卷起，并于腔室100內廣泛飛散的情況。
[0095]在通過靜電容量計測部4的顯示部40而觀察到被集塵部2-1至2-8所吸附的顆粒已超過基準值時，則可關閉電源部3，將所附著的顆粒一次性去除。
[0096]總言之，可將以往的集塵方法無法集塵的地板部101等的顆粒加以集塵。并且，由于能夠僅在有需要時一次性實施顆粒的去除作業(yè)，所以不需要定期實施維護作業(yè)。結果，可謀求維護費用的削減及生產(chǎn)效率的提升。
[0097][實施例二]
[0098]其次，就本發(fā)明的第二實施例加以說明。
[0099]圖6為表示涉及本發(fā)明的第二實施例的顆粒收集系統(tǒng)的構成圖