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轉(zhuǎn)置頭陣列與微元件的轉(zhuǎn)移方法與流程

文檔序號(hào):11122467閱讀:來源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種轉(zhuǎn)置頭陣列,其特征在于,所述轉(zhuǎn)置頭陣列包含:

本體,具有基底部,與設(shè)置于所述基底部上的墻垣部,其中所述墻垣部定義所述本體上的多個(gè)凹槽且具有頂面,所述墻垣部的所述頂面具有多個(gè)提取區(qū)域,且所述凹槽被所述墻垣部隔開;以及

多個(gè)轉(zhuǎn)置頭,分別設(shè)置于所述提取區(qū)域上。

2.如權(quán)利要求1所述的轉(zhuǎn)置頭陣列,其特征在于,所述墻垣部的所述頂面為平面。

3.如權(quán)利要求1所述的轉(zhuǎn)置頭陣列,其特征在于,所述提取區(qū)域凸出于所述墻垣部的所述頂面的其他區(qū)域。

4.如權(quán)利要求1所述的轉(zhuǎn)置頭陣列,其特征在于,所述提取區(qū)域的寬度大于所述墻垣部的所述頂面的其他區(qū)域的寬度。

5.如權(quán)利要求1所述的轉(zhuǎn)置頭陣列,其特征在于,所述提取區(qū)域的寬度小于所述墻垣部的所述頂面的其他區(qū)域的寬度。

6.如權(quán)利要求1所述的轉(zhuǎn)置頭陣列,其特征在于,所述凹槽的深度相同。

7.如權(quán)利要求1所述的轉(zhuǎn)置頭陣列,其特征在于,所述凹槽的深度不同。

8.如權(quán)利要求1所述的轉(zhuǎn)置頭陣列,其特征在于,所述凹槽的尺寸相同。

9.如權(quán)利要求1所述的轉(zhuǎn)置頭陣列,其特征在于,所述凹槽的尺寸不同。

10.如權(quán)利要求1所述的轉(zhuǎn)置頭陣列,其特征在于,所述墻垣部的所述頂面為長(zhǎng)條狀、方格狀、鋸齒狀或其組合。

11.如權(quán)利要求1所述的轉(zhuǎn)置頭陣列,其特征在于,所述提取區(qū)域?yàn)榛ハ鄬?duì)齊。

12.如權(quán)利要求1所述的轉(zhuǎn)置頭陣列,其特征在于,所述提取區(qū)域?yàn)榻诲e(cuò) 設(shè)置。

13.如權(quán)利要求1所述的轉(zhuǎn)置頭陣列,其特征在于,所述轉(zhuǎn)置頭包含:

電極,設(shè)置于所述提取區(qū)域上;以及

介電層,至少覆蓋所述電極。

14.如權(quán)利要求13所述的轉(zhuǎn)置頭陣列,其特征在于,所述介電層的材質(zhì)為介電材料或鐵電材料的納米粒子與至少一個(gè)高分子材料的混合物。

15.如權(quán)利要求13所述的轉(zhuǎn)置頭陣列,其特征在于,所述轉(zhuǎn)置頭陣列還包含:

電極引線,設(shè)置于所述墻垣部的所述頂面上,且電性連接于所述電極。

16.如權(quán)利要求1所述的轉(zhuǎn)置頭陣列,其特征在于,所述轉(zhuǎn)置頭陣列還包含:

隔離層,至少覆蓋所述墻垣部,其中所述轉(zhuǎn)置頭至少部分設(shè)置于所述隔離層上;以及

屏蔽層,設(shè)置于所述隔離層中,其中屏蔽層在墻垣部的頂面上的正投影與互補(bǔ)于所述提取區(qū)域的區(qū)域至少部分重疊。

17.如權(quán)利要求1所述的轉(zhuǎn)置頭陣列,其特征在于,所述轉(zhuǎn)置頭具有圖案化的黏著層。

18.如權(quán)利要求1所述的轉(zhuǎn)置頭陣列,其特征在于,所述基底部與所述墻垣部的材質(zhì)相同。

19.如權(quán)利要求1所述的轉(zhuǎn)置頭陣列,其特征在于,所述基底部與所述墻垣部的材質(zhì)不同。

20.一種微元件的轉(zhuǎn)移方法,其特征在于,所述微元件的轉(zhuǎn)移方法包含:

通過轉(zhuǎn)置頭陣列,提取第一微元件,其中所述轉(zhuǎn)置頭陣列中具有凹槽;以及

通過所述轉(zhuǎn)置頭陣列,將所述第一微元件放置于接收基板上,其中位于所述接收基板上的對(duì)象容置于所述轉(zhuǎn)置頭陣列的所述凹槽中。

21.如權(quán)利要求20所述的轉(zhuǎn)移方法,其特征在于,所述第一微元件通過靜電力、黏著力或其組合提取。

22.如權(quán)利要求20所述的轉(zhuǎn)移方法,其特征在于,所述第一微元件具有高度A,所述對(duì)象具有高度B,所述凹槽具有深度C,且A+C>B。

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