本發(fā)明屬于半導(dǎo)體封裝測試設(shè)備零件鋁合金表面處理工藝
技術(shù)領(lǐng)域：
，特別涉及一種半導(dǎo)體封裝測試設(shè)備零件的鋁合金陽極氧化工藝。
背景技術(shù)：
：半導(dǎo)體封裝測試設(shè)備零件是PGA(PinGridArrayPackage)芯片封裝形式的提供引腳和定位的裝置，在芯片的內(nèi)外有多個方陣形的插針，每個方陣形插針沿芯片的四周間隔一定距離排列。根據(jù)引腳數(shù)目的多少，可以圍成2-5圈。安裝時，將芯片插入專門的PGA插座。為使CPU能夠更方便地安裝和拆卸，從486芯片開始，出現(xiàn)一種名為ZIF的CPU插座，專門用來滿足PGA封裝的CPU在安裝和拆卸上的要求。ZIF(ZeroInsertionForceSocket)是指零插拔力的插座。把這種插座上的扳手輕輕抬起，CPU就可很容易、輕松地插入插座中。然后將扳手壓回原處，利用插座本身的特殊結(jié)構(gòu)生成的擠壓力，將CPU的引腳與插座牢牢地接觸，絕對不存在接觸不良的問題。而拆卸CPU芯片只需將插座的扳手輕輕抬起，則壓力解除，CPU芯片即可輕松取出。零件在測試過程中會根據(jù)產(chǎn)品的結(jié)構(gòu)來調(diào)整引腳的數(shù)目和排布形狀，整個零件上有將近1000個小孔可以用來裝引腳，有將近65％的小孔，孔與孔之間是需要絕緣的，而且絕緣性能要求較高，表面電阻要求在1.0*109歐姆以上。目前的陽極氧化工藝做出來的表面電阻值只有0.5-1.0*108歐姆左右，不能滿足產(chǎn)品的使用要求，需要提高產(chǎn)品表面氧化膜的表面電阻。因此，通過調(diào)整改進鋁合金陽極氧化工藝，提高產(chǎn)品表面氧化膜層的表面電阻是非常有必要的，具有良好的行業(yè)應(yīng)用前景。技術(shù)實現(xiàn)要素：本發(fā)明的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種半導(dǎo)體封裝測試設(shè)備零件的鋁合金陽極氧化工藝。本發(fā)明的目的通過以下技術(shù)方案來實現(xiàn)：本發(fā)明的目的在于提供一種半導(dǎo)體封裝測試設(shè)備零件的鋁合金陽極氧化工藝，包括：S1、脫脂：將零件放入濃度為30g/L-50g/L的脫脂劑中，溫度55℃-65℃，脫脂3min-9min后取出；S2、第一次水洗：用水反復(fù)沖洗零件，沖洗10S～20S后取出；S3、拋光處理：將零件放入拋光液中進行拋光，溫度90℃-100℃，拋光30S-60S后取出；S4、第二次水洗：用水反復(fù)沖洗零件，沖洗10S～20S后取出；S5、除灰：將零件放入濃度為140-200ml/L的HNO3溶液中，室溫下除灰20S～50S；S6、第三水洗：用水反復(fù)沖洗零件，沖洗10S～20S后取出；S7、草酸陽極氧化：以石墨板作為陰極，將零件放入濃度為40g/L-50g/L草酸溶液的氧化槽內(nèi)作為陽極，溫度控制在16℃～20℃，接通電源，控制電流密度1.0A/dm2～1.5A/dm2，電壓0-70V，時間75-85min，通過草酸氧化工序控制氧化膜膜層厚度在40～50um；S8、第四水洗：用水反復(fù)沖洗零件，沖洗10S～30S后取出；S9、超聲波清洗：將零件置于超聲清洗槽中，超聲波頻率40千HZ，超聲波功率10KW，進行5-10min的超聲波清洗；S10、有機物浸泡：將零件放入濃度為40g/L-60g/L的硬脂酸中，溫度50℃-55℃，浸泡25min-35min；S11、酒精清洗：將零件放入濃度為75wt％的酒精溶液中，于35℃-45℃清洗20～30S；S12、純水預(yù)熱：將零件放入溫度為65-75℃的去離子水中預(yù)熱5-10min；S13、純水封孔：用去離子水作為封孔液，溫度95℃-100℃，對零件進行封孔處理150-180min；S14、吹干：將零件表面積水吹干，即得。進一步的，所述步驟S7的氧化槽內(nèi)，含有濃度小于20g/L的鋁離子；含有濃度小于50mg/L的鐵離子；含有濃度小于50mg/L的銅離子。進一步的，所述步驟S7中的草酸陽極氧化：以石墨板作為陰極，將零件放入濃度為45g/L草酸溶液的氧化槽內(nèi)作為陽極，溫度控制在18℃，接通電源，控制電流密度1.2A/dm2，電壓0～70V，時間80min，通過草酸氧化工序控制氧化膜膜層厚度在40～50um。進一步的，所述步驟S10有機物浸泡：將零件放入濃度為50g/L的硬脂酸中，溫度52℃，浸泡30min。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的積極效果如下：本發(fā)明通過調(diào)整陽極氧化工藝，尤其通過增設(shè)一道有機物浸泡工序，可以有效提升氧化膜的封閉效果，提高產(chǎn)品表面氧化膜層的表面電阻，讓產(chǎn)品陽極氧化之后的表面電阻有一個較大幅度的提升，從現(xiàn)有的0.5-1.0*108歐姆的基礎(chǔ)上提升到3.0-8.0*109歐姆以上。具體實施方式下面結(jié)合具體實施例，進一步闡述本發(fā)明。應(yīng)理解，這些實施例僅用于說明本發(fā)明而不用于限制本發(fā)明的范圍。此外應(yīng)理解，在閱讀了本發(fā)明講授的內(nèi)容之后，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以對本發(fā)明作各種改動或修改，這些等價形式同樣落于本申請所附權(quán)利要求書所限定的范圍。以下實施例中，所用原料來源說明如下：1、脫脂劑：購自日本中央化學(xué)株式會社，型號T-200脫脂劑；2、拋光液：購自深圳歐得美科技有限公司，型號AL-20鏡面化學(xué)拋光劑；3、硬脂酸：購自江蘇強盛功能化學(xué)股份有限公司，型號AR500硬脂酸；4、封孔液：純水，水質(zhì)電阻大于16M歐姆。實施例1S1、脫脂：將零件放入濃度為30g/L的脫脂劑中，溫度55℃，脫脂5min后取出；S2、第一次水洗：用水反復(fù)沖洗零件，沖洗10S后取出；S3、拋光處理：將零件放入拋光液中進行拋光，溫度90℃，拋光30S后取出；S4、第二次水洗：用水反復(fù)沖洗零件，沖洗20S后取出；S5、除灰：將零件放入濃度為150ml/L的HNO3溶液中，室溫下除灰30S；S6、第三水洗：用水反復(fù)沖洗零件，沖洗10S后取出；S7、草酸陽極氧化：以石墨板作為陰極，將零件放入濃度為50g/L草酸溶液的氧化槽內(nèi)作為陽極，溫度控制在16℃，接通電源，控制電流密度1.5A/dm2，電壓60V，時間7min，通過草酸氧化工序控制氧化膜膜層厚度在40～50um；S8、第四水洗：用水反復(fù)沖洗零件，沖洗10S后取出；S9、超聲波清洗：將零件置于超聲清洗槽中，超聲波頻率40千HZ，超聲波功率10KW，進行5-10min的超聲波清洗；S10、有機物浸泡：將零件放入濃度為40g/L的硬脂酸中，溫度50℃，浸泡35min；S11、酒精清洗：將零件放入濃度為75wt％的酒精溶液中，于35℃-45℃清洗20～30S；S12、純水預(yù)熱：將零件放入溫度為65℃的去離子水中預(yù)熱10min；S13、純水封孔：用去離子水作為封孔液，溫度95℃，對零件進行封孔處理180min；S14、吹干：將零件表面積水吹干，即得。實施例2S1、脫脂：將零件放入濃度為40g/L的脫脂劑中，溫度60℃，脫脂6min后取出；S2、第一次水洗：用水反復(fù)沖洗零件，沖洗15S后取出；S3、拋光處理：將零件放入拋光液中進行拋光，溫度95℃，拋光60S后取出；S4、第二次水洗：用水反復(fù)沖洗零件，沖洗10S后取出；S5、除灰：將零件放入濃度為180ml/L的HNO3溶液中，室溫下除灰30S；S6、第三水洗：用水反復(fù)沖洗零件，沖洗20S后取出；S7、草酸陽極氧化：以石墨板作為陰極，將零件放入濃度為45g/L草酸溶液的氧化槽內(nèi)作為陽極，溫度控制在18℃，接通電源，控制電流密度1.2A/dm2，電壓35V，時間80min，通過草酸氧化工序控制氧化膜膜層厚度在40～50um；S8、第四水洗：用水反復(fù)沖洗零件，沖洗20S后取出；S9、超聲波清洗：將零件置于超聲清洗槽中，超聲波頻率40千HZ，超聲波功率10KW，進行5-10min的超聲波清洗；S10、有機物浸泡：將零件放入濃度為50g/L的硬脂酸中，溫度52℃，浸泡30min；S11、酒精清洗：將零件放入濃度為75wt％的酒精溶液中，于35℃-45℃清洗20～30S；S12、純水預(yù)熱：將零件放入溫度為70℃的去離子水中預(yù)熱10min；S13、純水封孔：用去離子水作為封孔液，溫度95℃，對零件進行封孔處理160min；S14、吹干：將零件表面積水吹干，即得。實施例3S1、脫脂：將零件放入濃度為50g/L的脫脂劑中，溫度65℃，脫脂5min后取出；S2、第一次水洗：用水反復(fù)沖洗零件，沖洗20S后取出；S3、拋光處理：將零件放入拋光液中進行拋光，溫度100℃，拋光60S后取出；S4、第二次水洗：用水反復(fù)沖洗零件，沖洗20S后取出；S5、除灰：將零件放入濃度為200ml/L的HNO3溶液中，室溫下除灰50S；S6、第三水洗：用水反復(fù)沖洗零件，沖洗15S后取出；S7、草酸陽極氧化：以石墨板作為陰極，將零件放入濃度為50g/L草酸溶液的氧化槽內(nèi)作為陽極，溫度控制在20℃，接通電源，控制電流密度1.0A/dm2，電壓20V，時間85min，通過草酸氧化工序控制氧化膜膜層厚度在40～50um；S8、第四水洗：用水反復(fù)沖洗零件，沖洗10S后取出；S9、超聲波清洗：將零件置于超聲清洗槽中，超聲波頻率40千HZ，超聲波功率10KW，進行5-10min的超聲波清洗；S10、有機物浸泡：將零件放入濃度為60g/L的硬脂酸中，溫度55℃，浸泡25min；S11、酒精清洗：將零件放入濃度為75wt％的酒精溶液中，于35℃-45℃清洗20～30S；S12、純水預(yù)熱：將零件放入溫度為75℃的去離子水中預(yù)熱10min；S13、純水封孔：用去離子水作為封孔液，溫度100℃，對零件進行封孔處理150min；S14、吹干：將零件表面積水吹干，即得。對比例1本對比例中不包括“有機物浸泡”工序，其余工藝條件與實施例1一致。對比例2本對比例中不包括“有機物浸泡”工序，其余工藝條件與實施例2一致。對比例3本對比例中不包括“有機物浸泡”工序，其余工藝條件與實施例3一致。取同一批次的零件樣片，分別經(jīng)上述實施例1-3以及對比例1-3的方法進行鋁合金陽極氧化處理，處理后進行表面電阻測試，測試標(biāo)準(zhǔn)ASTM_D257-07，測試結(jié)果見表1。表1表面電阻測試表面電阻(Rs)123實施例3.49*1094.81*1094.18*109對比例6.07*1076.97*1076.21*107以上顯示和描述了本發(fā)明的基本原理、主要特征和本發(fā)明的優(yōu)點。本行業(yè)的技術(shù)人員應(yīng)該了解，本發(fā)明不受上述實施例的限制，上述實施例和說明書中描述的只是說明本發(fā)明的原理，在不脫離本發(fā)明精神和范圍的前提下本發(fā)明還會有各種變化和改進，這些變化和改進都落入要求保護的本發(fā)明范圍內(nèi)。本發(fā)明要求保護范圍由所附的權(quán)利要求書及其等同物界定。當(dāng)前第1頁1 2 3