1.一種半導(dǎo)體封裝測(cè)試設(shè)備零件的鋁合金陽極氧化工藝，包括：
S1、脫脂：將零件放入濃度為30g/L-50g/L的脫脂劑中，溫度55℃-65℃，脫脂3min-9min后取出；
S2、第一次水洗：用水反復(fù)沖洗零件，沖洗10S～20S后取出；
S3、拋光處理：將零件放入拋光液中進(jìn)行拋光，溫度90℃-100℃，拋光30S-60S后取出；
S4、第二次水洗：用水反復(fù)沖洗零件，沖洗10S～20S后取出；
S5、除灰：將零件放入濃度為140-200ml/L的HNO3溶液中，室溫下除灰20S～50S；
S6、第三水洗：用水反復(fù)沖洗零件，沖洗10S～20S后取出；
S7、草酸陽極氧化：以石墨板作為陰極，將零件放入濃度為40g/L-50g/L草酸溶液的氧化槽內(nèi)作為陽極，溫度控制在16℃～20℃，接通電源，控制電流密度1.0A/dm2～1.5A/dm2，電壓0-70V，時(shí)間75-85min，通過草酸氧化工序控制氧化膜膜層厚度在40～50um；
S8、第四水洗：用水反復(fù)沖洗零件，沖洗10S～30S后取出；
S9、超聲波清洗：將零件置于超聲清洗槽中，超聲波頻率40千HZ，超聲波功率10KW，進(jìn)行5-10min的超聲波清洗；
S10、有機(jī)物浸泡：將零件放入濃度為40g/L-60g/L的硬脂酸中，溫度50℃-55℃，浸泡25min-35min；
S11、酒精清洗：將零件放入濃度為75wt％的酒精溶液中，于35℃-45℃清洗20～30S；
S12、純水預(yù)熱：將零件放入溫度為65-75℃的去離子水中預(yù)熱5-10min；
S13、純水封孔：用去離子水作為封孔液，溫度95℃-100℃，對(duì)零件進(jìn)行封孔處理150-180min；
S14、吹干：將零件表面積水吹干，即得。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于半導(dǎo)體封裝測(cè)試設(shè)備設(shè)備的鋁合金基材的陽極氧化工藝，其特征在于：所述步驟S7的氧化槽內(nèi)，含有濃度小于20g/L的鋁離子；含有濃度小于50mg/L的鐵離子；含有濃度小于50mg/L的銅離子。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于半導(dǎo)體封裝測(cè)試設(shè)備設(shè)備的鋁合金基材的陽極氧化工藝，其特征在于：所述步驟S7中的草酸陽極氧化：以石墨板作為陰極，將零件放入濃度為45g/L草酸溶液的氧化槽內(nèi)作為陽極，溫度控制在18℃，接通電源，控制電流密度1.2A/dm2，電壓0～70V，時(shí)間80min，通過草酸氧化工序控制氧化膜膜層厚度在40～50um。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于半導(dǎo)體封裝測(cè)試設(shè)備設(shè)備的鋁合金基材的陽極氧化工藝，其特征在于：所述步驟S10有機(jī)物浸泡：將零件放入濃度為50g/L的硬脂酸中，溫度52℃，浸泡30min。