本發(fā)明屬于抽真空設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，涉及到一種高真空抽氣系統(tǒng)。

背景技術(shù)：

目前一些高真空抽氣系統(tǒng)需要對真空室進(jìn)行高溫烘烤除氣，去除吸附在真空室內(nèi)表面的水蒸氣分子，從而提高抽氣系統(tǒng)的抽氣性能。

然而，真空室高溫烘烤除氣的過程比較復(fù)雜，并需要較長的時間。因此，急需設(shè)計一種可以減少真空室內(nèi)的材料放氣且高效的高真空抽氣系統(tǒng)。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本發(fā)明克服了現(xiàn)有技術(shù)存在的不足，提供了一種高真空抽氣系統(tǒng) ，可有效除去吸附在真空室內(nèi)表面的水蒸氣分子，從而達(dá)到高溫烘烤除氣的效果，提高抽氣系統(tǒng)的抽氣性能。

本發(fā)明的技術(shù)方案是：一種高真空抽氣系統(tǒng)，包括第一機(jī)械泵、第二機(jī)械泵、第一閥門、分子泵、第二閥門、真空計、第三閥門、真空室、高壓氮?dú)庠?、充氣閥、第四閥門、露點傳感器、放氣閥；

第一機(jī)械泵、第二機(jī)械泵通過第二閥門與真空室連通；分子泵通過第三閥門與真空室連通；真空計與真空室相連接；高壓氮?dú)庠赐ㄟ^充氣閥與真空室連通；露點傳感器通過第四閥門與真空室連通；放氣閥與真空室連通。

優(yōu)選的，所述第一機(jī)械泵、第二機(jī)械泵、分子泵為真空抽氣機(jī)組；所述的一種高真空抽氣系統(tǒng)，在抽氣前，高壓氮?dú)庠磳⒏邏旱牡獨(dú)獬錆M真空室，并維持1個小時。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的一種高真空抽氣系統(tǒng)提高抽氣系統(tǒng)的抽氣效率，從而減少真空室的材料放氣，實現(xiàn)抽高真空的工作過程；本發(fā)明可廣泛應(yīng)用于抽真空設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域。

附圖說明

下面結(jié)合附圖對本發(fā)明做進(jìn)一步的說明。

圖1是本發(fā)明的一種高真空抽氣系統(tǒng)結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實施方式

如圖1所示，本發(fā)明一種高真空抽氣系統(tǒng)，包括第一機(jī)械泵1、第二機(jī)械泵2、第一閥門3、分子泵4、第二閥門5、真空計6、第三閥門7、真空室8、高壓氮?dú)庠?、充氣閥10、第四閥門11、露點傳感器12、放氣閥13；

所述第一機(jī)械泵1、第二機(jī)械泵2、分子泵4為真空抽氣機(jī)組；第一機(jī)械泵1、第二機(jī)械泵2通過第二閥門與真空室8連通；分子泵4通過第三閥門7與真空室8連通；真空計6與真空室8相連接；高壓氮?dú)庠?通過充氣閥10與真空室8連通；露點傳感器12通過第四閥門11與真空室8連通；放氣閥13與真空室8連通。

所述的一種高真空抽氣系統(tǒng)，在抽氣前，高壓氮?dú)庠磳⒏邏旱牡獨(dú)獬錆M真空室，并維持1個小時。

具體工作過程：開啟第四閥門11，關(guān)閉第一閥門3、第二閥門5、第三閥門7、充氣閥10和放氣閥13；使用露點傳感器12對真空室8內(nèi)的濕度進(jìn)行檢測；關(guān)閉第四閥門11，開啟充氣閥10；使用高壓氮?dú)庠?對真空室8進(jìn)行充氣；關(guān)閉充氣閥10, 真空室8在充滿高壓氮?dú)獾臓顟B(tài)下，維持1個小時；開啟放氣閥13，將氮?dú)馀懦稣婵帐?；關(guān)閉放氣閥13，開啟第四閥門11；使用露點傳感器12對真空室8內(nèi)的濕度進(jìn)行檢測；關(guān)閉第四閥門11，開啟第二閥門；開啟第一機(jī)械泵1和第二機(jī)械泵2，對真空室8進(jìn)行抽氣；開啟真空計6，當(dāng)示數(shù)達(dá)到0.1Pa后，開啟第一閥門3；開啟分子泵4，等分子泵4穩(wěn)定啟動后，開啟第三閥門7，關(guān)閉第二閥門5；等待分子泵4將真空室8抽到高真空狀態(tài)；抽氣結(jié)束后，關(guān)閉真空計6，關(guān)閉第三閥門7，關(guān)閉分子泵4；等待分子泵4停止工作后，關(guān)閉第一閥門3，關(guān)閉第一機(jī)械泵1和第二機(jī)械泵2。