技術(shù)總結(jié)
一種高真空抽氣系統(tǒng)，屬于抽真空設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域；包括第一機(jī)械泵、第二機(jī)械泵、第一閥門、分子泵、第二閥門、真空計(jì)、第三閥門、真空室、高壓氮?dú)庠?、充氣閥、第四閥門、露點(diǎn)傳感器、放氣閥；在抽氣前，向真空室充入高壓氮?dú)獠⒕S持一定的時(shí)間，從而減少真空室的材料放氣，提高抽氣系統(tǒng)的抽氣效率；實(shí)現(xiàn)抽高真空的工作過程，本發(fā)明可廣泛應(yīng)用于抽真空設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域。

技術(shù)研發(fā)人員：董棟;祁松松;李燦倫;吳世任;沈潔;景加榮
受保護(hù)的技術(shù)使用者：上海衛(wèi)星裝備研究所
文檔號(hào)碼：201611062331
技術(shù)研發(fā)日：2016.11.28
技術(shù)公布日：2017.05.31