本實(shí)用新型屬于真空設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種采用分段式結(jié)構(gòu)牽引級的復(fù)合分子泵。

背景技術(shù)：

分子泵作為一種可以獲得清潔高真空的真空獲得設(shè)備，已被廣泛應(yīng)用于很多工業(yè)領(lǐng)域，其中復(fù)合分子泵在較寬的壓力范圍內(nèi)，依然能夠保持較高的抽氣性能，因此在半導(dǎo)體等行業(yè)中應(yīng)用廣泛。

現(xiàn)有的復(fù)合分子泵主要分為兩類，一類是由渦輪分子泵與盤式牽引分子泵組合設(shè)計而成，即帶盤式牽引結(jié)構(gòu)的復(fù)合分子泵；另一類是由渦輪分子泵與筒式牽引分子泵組合設(shè)計而成，即帶筒式牽引結(jié)構(gòu)的復(fù)合分子泵，是現(xiàn)階段使用最為普遍的復(fù)合分子泵類型。

對于帶筒式牽引結(jié)構(gòu)的復(fù)合分子泵，為了提高牽引級對氣體的壓縮能力，一般牽引級轉(zhuǎn)子與定子之間的間隙都很小。由于加工精度、裝配精度、轉(zhuǎn)子離心變形和熱變形等因素的限制，只能將牽引級轉(zhuǎn)子與定子之間間隙適當(dāng)增大，以此來保證復(fù)合分子泵的工作可靠性，但牽引級轉(zhuǎn)子與定子之間間隙泄漏量將增加，并導(dǎo)致復(fù)合分子泵的性能下降，特別是當(dāng)復(fù)合分子泵工作在過渡流態(tài)以及粘滯流態(tài)時，氣體沿間隙的泄漏量將加劇，嚴(yán)重影響到復(fù)合分子泵的抽氣性能。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

針對現(xiàn)有技術(shù)存在的問題，本實(shí)用新型提供一種采用分段式結(jié)構(gòu)牽引級的復(fù)合分子泵，有效提升牽引級的壓縮作用，進(jìn)一步提高復(fù)合分子泵的抽氣性能。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用如下技術(shù)方案：一種采用分段式結(jié)構(gòu)牽引級的復(fù)合分子泵，包括渦輪級、筒式牽引級和驅(qū)動主軸，所述渦輪級包括靜葉片和動葉輪，所述筒式牽引級包括牽引轉(zhuǎn)子和定子，所述動葉輪及牽引轉(zhuǎn)子固定套裝在驅(qū)動主軸上，其特點(diǎn)是：所述筒式牽引級采用分段式結(jié)構(gòu)，筒式牽引級的相鄰段之間設(shè)置有環(huán)向凹槽和環(huán)向凸臺，環(huán)向凹槽與環(huán)向凸臺彼此正對設(shè)置，且環(huán)向凹槽和環(huán)向凸臺的軸向中心線與驅(qū)動主軸的軸向中心線相重合。

當(dāng)所述定子為光筒、牽引轉(zhuǎn)子上開設(shè)螺旋槽時，所述環(huán)向凹槽設(shè)置在牽引轉(zhuǎn)子上，所述環(huán)向凸臺設(shè)置在定子上。

所述牽引轉(zhuǎn)子由環(huán)向凹槽分隔成若干牽引轉(zhuǎn)子段，且在抽氣方向上，各個牽引轉(zhuǎn)子段上的螺旋槽數(shù)量呈遞增設(shè)置，各個牽引轉(zhuǎn)子段上的螺旋槽槽深呈遞減設(shè)置，各個牽引轉(zhuǎn)子段上的螺旋槽槽寬呈遞減設(shè)置。

在所述定子的環(huán)向凸臺上開設(shè)有螺旋槽，且環(huán)向凸臺上的螺旋槽與牽引轉(zhuǎn)子上的螺旋槽具有相反的螺旋方向，且在抽氣方向上，各個環(huán)向凸臺上的螺旋槽數(shù)量呈遞增設(shè)置，各個環(huán)向凸臺上的螺旋槽槽深呈遞減設(shè)置，各個環(huán)向凸臺上的螺旋槽槽寬呈遞減設(shè)置。

當(dāng)所述牽引轉(zhuǎn)子為光筒、定子內(nèi)開設(shè)螺旋槽時，所述環(huán)向凹槽設(shè)置在定子上，所述環(huán)向凸臺設(shè)置在牽引轉(zhuǎn)子上。

所述定子由環(huán)向凹槽分隔成若干定子段，且在抽氣方向上，各個定子段上的螺旋槽數(shù)量呈遞增設(shè)置，各個定子段上的螺旋槽槽深呈遞減設(shè)置，各個定子段上的螺旋槽槽寬呈遞減設(shè)置。

在所述牽引轉(zhuǎn)子的環(huán)向凸臺上開設(shè)有螺旋槽，且環(huán)向凸臺上的螺旋槽與定子上的螺旋槽具有相反的螺旋方向，且在抽氣方向上，各個環(huán)向凸臺上的螺旋槽數(shù)量呈遞增設(shè)置，各個環(huán)向凸臺上的螺旋槽槽深呈遞減設(shè)置，各個環(huán)向凸臺上的螺旋槽槽寬呈遞減設(shè)置。

本實(shí)用新型的有益效果：

本實(shí)用新型采用的分段式結(jié)構(gòu)牽引級，通過環(huán)向凹槽和環(huán)向凸臺的配合，首先借助環(huán)向凸臺可以對氣體泄漏進(jìn)行局部阻擋，進(jìn)而解決牽引級轉(zhuǎn)子與定子之間的氣體間隙泄漏問題，同時借助環(huán)向凸臺上開設(shè)的反向螺旋槽，使環(huán)向凸臺對氣體也具備了一定的壓縮能力。

本實(shí)用新型通過開設(shè)的環(huán)向凹槽將牽引級分隔成了若干段，這樣一來，就滿足了在各個牽引級段上開設(shè)不同參數(shù)螺旋槽的條件，即螺旋槽數(shù)量呈遞增設(shè)置、螺旋槽槽深呈遞減設(shè)置、螺旋槽槽寬呈遞減設(shè)置，通過上述結(jié)構(gòu)的牽引級提升了氣體的壓縮作用，從而進(jìn)一步提高復(fù)合分子泵的抽氣性能。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型的一種采用分段式結(jié)構(gòu)牽引級的復(fù)合分子泵(定子為光筒且牽引轉(zhuǎn)子上開設(shè)螺旋槽時)結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實(shí)用新型的一種采用分段式結(jié)構(gòu)牽引級的復(fù)合分子泵(牽引轉(zhuǎn)子為光筒且定子內(nèi)開設(shè)螺旋槽時)結(jié)構(gòu)示意圖；

圖中，1—靜葉片，2—動葉輪，3—牽引轉(zhuǎn)子，4—定子，5—驅(qū)動主軸，6—環(huán)向凹槽，7—環(huán)向凸臺。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對本實(shí)用新型做進(jìn)一步的詳細(xì)說明。

如圖1、2所示，一種采用分段式結(jié)構(gòu)牽引級的復(fù)合分子泵，包括渦輪級、筒式牽引級和驅(qū)動主軸5，所述渦輪級包括靜葉片1和動葉輪2，所述筒式牽引級包括牽引轉(zhuǎn)子3和定子4，所述動葉輪2及牽引轉(zhuǎn)子3固定套裝在驅(qū)動主軸5上，其特點(diǎn)是：所述筒式牽引級采用分段式結(jié)構(gòu)，筒式牽引級的相鄰段之間設(shè)置有環(huán)向凹槽6和環(huán)向凸臺7，環(huán)向凹槽6與環(huán)向凸臺7彼此正對設(shè)置，且環(huán)向凹槽6和環(huán)向凸臺7的軸向中心線與驅(qū)動主軸5的軸向中心線相重合。

當(dāng)所述定子4為光筒、牽引轉(zhuǎn)子3上開設(shè)螺旋槽時，所述環(huán)向凹槽6設(shè)置在牽引轉(zhuǎn)子3上，所述環(huán)向凸臺7設(shè)置在定子4上。

所述牽引轉(zhuǎn)子3由環(huán)向凹槽6分隔成若干牽引轉(zhuǎn)子段，且在抽氣方向上，各個牽引轉(zhuǎn)子段上的螺旋槽數(shù)量呈遞增設(shè)置，各個牽引轉(zhuǎn)子段上的螺旋槽槽深呈遞減設(shè)置，各個牽引轉(zhuǎn)子段上的螺旋槽槽寬呈遞減設(shè)置。

在所述定子4的環(huán)向凸臺7上開設(shè)有螺旋槽，且環(huán)向凸臺7上的螺旋槽與牽引轉(zhuǎn)子3上的螺旋槽具有相反的螺旋方向，且在抽氣方向上，各個環(huán)向凸臺7上的螺旋槽數(shù)量呈遞增設(shè)置，各個環(huán)向凸臺7上的螺旋槽槽深呈遞減設(shè)置，各個環(huán)向凸臺7上的螺旋槽槽寬呈遞減設(shè)置。

當(dāng)所述牽引轉(zhuǎn)子3為光筒、定子4內(nèi)開設(shè)螺旋槽時，所述環(huán)向凹槽6設(shè)置在定子4上，所述環(huán)向凸臺7設(shè)置在牽引轉(zhuǎn)子3上。

所述定子4由環(huán)向凹槽6分隔成若干定子段，且在抽氣方向上，各個定子段上的螺旋槽數(shù)量呈遞增設(shè)置，各個定子段上的螺旋槽槽深呈遞減設(shè)置，各個定子段上的螺旋槽槽寬呈遞減設(shè)置。

在所述牽引轉(zhuǎn)子3的環(huán)向凸臺7上開設(shè)有螺旋槽，且環(huán)向凸臺7上的螺旋槽與定子4上的螺旋槽具有相反的螺旋方向，且在抽氣方向上，各個環(huán)向凸臺7上的螺旋槽數(shù)量呈遞增設(shè)置，各個環(huán)向凸臺7上的螺旋槽槽深呈遞減設(shè)置，各個環(huán)向凸臺7上的螺旋槽槽寬呈遞減設(shè)置。

下面結(jié)合附圖說明本實(shí)用新型的一次使用過程：

復(fù)合分子泵在工作時，動葉輪2及牽引轉(zhuǎn)子3隨著驅(qū)動主軸5高速旋轉(zhuǎn)，進(jìn)而攜帶氣體沿著螺旋槽向下流動，隨著對氣體壓縮的增強(qiáng)，復(fù)合分子泵牽引級入口與出口之間的壓差越來越大，此時的氣體會在壓差作用下增加沿著牽引轉(zhuǎn)子3與定子4之間間隙向上的泄露，從而會導(dǎo)致泵抽氣性能和壓縮性能的下降。

當(dāng)復(fù)合分子泵采用分段式結(jié)構(gòu)牽引級后，通過環(huán)向凸臺6可對氣體起到明顯的阻擋作用，進(jìn)而解決牽引級轉(zhuǎn)子與定子之間的氣體間隙泄漏問題，同時借助環(huán)向凸臺6上開設(shè)的反向螺旋槽，使環(huán)向凸臺6也具備了一定的壓縮能力。再有，由于環(huán)向凹槽7將牽引級分隔成了若干段，且在抽氣方向上，各個牽引級段上的螺旋槽數(shù)量呈遞增設(shè)置、螺旋槽槽深呈遞減設(shè)置及螺旋槽槽寬呈遞減設(shè)置，通過上述結(jié)構(gòu)的牽引級有效提升了氣體的壓縮作用，從而進(jìn)一步提高復(fù)合分子泵的抽氣性能。

實(shí)施例中的方案并非用以限制本實(shí)用新型的專利保護(hù)范圍，凡未脫離本實(shí)用新型所為的等效實(shí)施或變更，均包含于本案的專利范圍中。