技術(shù)總結(jié)
一種采用分段式結(jié)構(gòu)牽引級的復(fù)合分子泵，其筒式牽引級采用分段式結(jié)構(gòu)，筒式牽引級的相鄰段之間設(shè)有環(huán)向凹槽和環(huán)向凸臺，環(huán)向凹槽與環(huán)向凸臺彼此正對設(shè)置；當定子為光筒、牽引轉(zhuǎn)子上開設(shè)螺旋槽時，環(huán)向凹槽設(shè)置在牽引轉(zhuǎn)子上，環(huán)向凸臺設(shè)置在定子上，牽引轉(zhuǎn)子由環(huán)向凹槽分隔成若干牽引轉(zhuǎn)子段；當牽引轉(zhuǎn)子為光筒、定子內(nèi)開設(shè)螺旋槽時，環(huán)向凹槽設(shè)置在定子上，環(huán)向凸臺設(shè)置在牽引轉(zhuǎn)子上，定子由環(huán)向凹槽分隔成若干定子段；在環(huán)向凸臺上開設(shè)有螺旋槽，環(huán)向凸臺上的螺旋槽與牽引轉(zhuǎn)子或定子上的螺旋槽具有相反的螺旋方向；在抽氣方向上，各個牽引轉(zhuǎn)子段或定子段上、環(huán)向凸臺上的螺旋槽數(shù)量呈遞增設(shè)置、螺旋槽槽深呈遞減設(shè)置及螺旋槽槽寬呈遞減設(shè)置。

技術(shù)研發(fā)人員：王曉冬;巴德純;張磊;張鵬飛;陶繼忠
受保護的技術(shù)使用者：東北大學(xué)
文檔號碼：201620659850
技術(shù)研發(fā)日：2016.06.28
技術(shù)公布日：2017.01.25