本實(shí)用新型涉及抽真空領(lǐng)域，更具體地，涉及一種抽真空系統(tǒng)。

背景技術(shù)：

在工業(yè)生產(chǎn)過(guò)程中，水環(huán)真空泵具有廣泛的用途。例如在半導(dǎo)體器件制造過(guò)程的后道工藝中，有一項(xiàng)工藝是硅片減薄，一般采用一種減薄機(jī)來(lái)進(jìn)行物理減薄。在減薄機(jī)減薄過(guò)程中，需要給減薄機(jī)提供真空使硅片吸附在工件盤(pán)上，達(dá)到固定的目的。目前，減薄機(jī)都采用水環(huán)式真空泵，主要是以水為工作液，在葉輪的旋轉(zhuǎn)過(guò)程中，將水拋向四周，水在離心力的作用下，形成一個(gè)封閉環(huán)腔體，隨著環(huán)腔體容積的變化完成吸氣、壓縮和排氣，由此完成抽真空的過(guò)程。因此，在這種水環(huán)真空泵工作過(guò)程中，需要持續(xù)輸入自來(lái)水，隨著生產(chǎn)時(shí)間的推移，真空泵產(chǎn)生的水耗量也持續(xù)走高，從而造成水資源的浪費(fèi)，且容易受自來(lái)水管網(wǎng)壓力的影響造成真空度不穩(wěn)，對(duì)半導(dǎo)體器件減薄質(zhì)量造成影響，硅片減薄裂紋率走高。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

鑒于上述問(wèn)題，本實(shí)用新型的目的在于提供一種抽真空系統(tǒng)，該抽真空系統(tǒng)更節(jié)省工作液的使用量，并且其提供的真空度更穩(wěn)定。

根據(jù)本實(shí)用新型提供的一種抽真空系統(tǒng)，包括：

儲(chǔ)液箱；

液環(huán)真空泵，包括工作液入口和工作液出口，所述工作液入口和所述工作液出口分別與所述儲(chǔ)液箱連接；以及

加液系統(tǒng)，所述加液系統(tǒng)設(shè)置在所述儲(chǔ)液箱上，用于向所述儲(chǔ)液箱內(nèi)加入工作液。

優(yōu)選地，所述加液系統(tǒng)包括：

加液管道，所述加液管道一端與所述儲(chǔ)液箱連接，另一端與工作液源連接；

第一閥門(mén)，所述第一閥門(mén)位于所述加液管道上。

優(yōu)選地，所述加液系統(tǒng)還包括：

溫度檢測(cè)裝置，所述溫度檢測(cè)裝置設(shè)置在所述儲(chǔ)液箱內(nèi)，用于檢測(cè)所述工作液的溫度。

優(yōu)選地，所述溫度檢測(cè)裝置為溫度傳感器。

優(yōu)選地，所述第一閥門(mén)為電磁閥，

所述加液系統(tǒng)還包括：

控制器，

其中，所述溫度傳感器、所述電磁閥都與所述控制器信號(hào)連接，所述控制器根據(jù)所述溫度傳感器的反饋控制所述電磁閥的開(kāi)關(guān)。

優(yōu)選地，所述加液系統(tǒng)還包括：

第一液位傳感器和第二液位傳感器，所述第一液位傳感器、所述第二液位傳感器分別設(shè)置在所述儲(chǔ)液箱內(nèi)的不同預(yù)定位置上，并且都與所述控制器信號(hào)連接，所述控制器還根據(jù)所述第一液位傳感器和/或所述第二液位傳感器的反饋控制所述電磁閥的開(kāi)關(guān)。

優(yōu)選地，所述加液系統(tǒng)包括向所述儲(chǔ)液箱加液的第一狀態(tài)和停止向所述儲(chǔ)液箱加液的第二狀態(tài)，

所述溫度傳感器檢測(cè)到所述儲(chǔ)液箱內(nèi)的所述工作液的溫度達(dá)到所述控制器設(shè)有的預(yù)定溫度值，和/或所述儲(chǔ)液箱內(nèi)的所述工作液的液位低于所述第二液位傳感器，則所述控制器控制所述電磁閥處于打開(kāi)狀態(tài)，所述加液系統(tǒng)處于所述第一狀態(tài)；

所述溫度傳感器檢測(cè)到所述儲(chǔ)液箱內(nèi)的所述工作液的溫度未達(dá)到所述控制器設(shè)有的所述預(yù)定溫度值，且所述第一液位傳感器檢測(cè)到所述儲(chǔ)液箱內(nèi)的所述工作液的液位，則所述控制器控制所述電磁閥處于關(guān)閉狀態(tài)，所述加液系統(tǒng)處于所述第二狀態(tài)。

優(yōu)選地，所述抽真空系統(tǒng)還包括：

排液管道，所述排液管道連接于所述儲(chǔ)液箱底部；

第二閥門(mén)，所述第二閥門(mén)位于所述排液管道上。

優(yōu)選地，所述抽真空系統(tǒng)還包括：

溢流口，所述溢流口設(shè)置在所述儲(chǔ)液箱側(cè)壁的預(yù)定高度上；

溢流管道，所述溢流管道一端與所述溢流口連接，另一端連接于所述排液管道上所述第二閥門(mén)的下游。

優(yōu)選地，所述液環(huán)真空泵為水環(huán)真空泵，所述工作液為自來(lái)水。

優(yōu)選地，所述抽真空系統(tǒng)還包括：

待抽真空的減薄機(jī)，

所述液環(huán)真空泵還包括抽氣口，所述抽氣口與所述減薄機(jī)連接。

根據(jù)本實(shí)用新型的抽真空系統(tǒng)，通過(guò)設(shè)置儲(chǔ)液箱并將所述液環(huán)真空泵的工作液入口和工作液出口分別與所述儲(chǔ)液箱連接而實(shí)現(xiàn)工作液的循環(huán)，從而達(dá)到節(jié)約工作液的目的，并且避免了液環(huán)真空泵直接連接工作液管道時(shí)受到的管網(wǎng)壓力的影響，使得其提供的真空度更加穩(wěn)定。所述控制器根據(jù)所述溫度傳感器、所述第一液位傳感器以及所述第二液位傳感器的反饋控制所述加液管道上的所述電磁閥的開(kāi)關(guān)進(jìn)而控制是否向所述儲(chǔ)液箱內(nèi)加入工作液，從而實(shí)現(xiàn)自動(dòng)加入工作液、自動(dòng)補(bǔ)充工作液、自動(dòng)檢測(cè)工作液溫度等功能。

附圖說(shuō)明

通過(guò)以下參照附圖對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例的描述，本實(shí)用新型的上述以及其他目的、特征和優(yōu)點(diǎn)將更為清楚，在附圖中：

圖1示出根據(jù)本實(shí)用新型具體實(shí)施例的抽真空系統(tǒng)的流程示意圖。

具體實(shí)施方式

以下將參照附圖更詳細(xì)地描述本實(shí)用新型。為了清楚起見(jiàn)，附圖中的各個(gè)部分沒(méi)有按比例繪制。此外，可能未示出某些公知的部分。在下文中描述了本實(shí)用新型的許多特定的細(xì)節(jié)，但正如本領(lǐng)域的技術(shù)人員能夠理解的那樣，可以不按照這些特定的細(xì)節(jié)來(lái)實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型。

本實(shí)用新型提供了一種抽真空系統(tǒng)，其包括：儲(chǔ)液箱、液環(huán)真空泵、以及加液系統(tǒng)，其中，所述液環(huán)真空泵包括工作液入口和工作液出口，所述工作液入口和所述工作液出口分別與所述儲(chǔ)液箱連接，所述加液系統(tǒng)設(shè)置在所述儲(chǔ)液箱上，用于向所述儲(chǔ)液箱內(nèi)加入工作液。根據(jù)本實(shí)用新型的抽真空系統(tǒng)，通過(guò)設(shè)置儲(chǔ)液箱并將所述液環(huán)真空泵的工作液入口和工作液出口分別與所述儲(chǔ)液箱連接而實(shí)現(xiàn)工作液的循環(huán)，從而達(dá)到節(jié)約工作液的目的，并且避免了液環(huán)真空泵直接連接工作液管道時(shí)受到的管網(wǎng)壓力的影響，使得其提供的真空度更加穩(wěn)定。

下面結(jié)合附圖1具體說(shuō)明本實(shí)用新型的抽真空系統(tǒng)的實(shí)施例，圖中為了清楚示出結(jié)構(gòu)關(guān)系及原理，未按比例繪制。

圖1示出根據(jù)本實(shí)用新型具體實(shí)施例的抽真空系統(tǒng)的流程示意圖。本實(shí)施例中的抽真空系統(tǒng)包括：儲(chǔ)液箱110，其內(nèi)部?jī)?chǔ)有工作液116，所述儲(chǔ)液箱110包括儲(chǔ)液箱出口111、儲(chǔ)液箱入口112，所述儲(chǔ)液箱出口111用于輸出工作液116；液環(huán)真空泵120，所述液環(huán)真空泵120包括工作液入口121、工作液出口122，所述工作液入口121通過(guò)管道與所述儲(chǔ)液箱110的所述儲(chǔ)液箱出口111連接，所述工作液出口122通過(guò)另一管道與所述儲(chǔ)液箱110的所述儲(chǔ)液箱入口112連接，使得所述儲(chǔ)液箱110內(nèi)的所述工作液116可以通過(guò)所述儲(chǔ)液箱出口111以及所述工作液入口121進(jìn)入所述液環(huán)真空泵120參與工作，同時(shí)所述液環(huán)真空泵120內(nèi)氣液混合相的工作液116又通過(guò)所述工作液出口122以及所述儲(chǔ)液箱入口112回流到所述儲(chǔ)液箱110中，形成所述工作液116在所述儲(chǔ)液箱110與所述液環(huán)真空泵120之間循環(huán)。本實(shí)施例中的抽真空系統(tǒng)還包括加液系統(tǒng)，所述加液系統(tǒng)設(shè)置在所述儲(chǔ)液箱110上，用于向所述儲(chǔ)液箱110內(nèi)加入及補(bǔ)充工作液116。

本實(shí)施例中，所述加液系統(tǒng)包括：加液管道130、第一閥門(mén)131，其中，所述儲(chǔ)液箱110還包括加液口113，所述加液管道130的一端與所述儲(chǔ)液,110的所述加液口113連接，另一端與工作液源連接，使得所述工作液116可以從所述工作液源通過(guò)所述加液管道130進(jìn)入所述儲(chǔ)液箱110中。所述第一閥門(mén)131位于所述加液管道130上，所述第一閥門(mén)131可以是手動(dòng)、電動(dòng)、液動(dòng)、氣動(dòng)等任意公知的流體管道上的閥門(mén)，通過(guò)控制所述第一閥門(mén)131的開(kāi)關(guān)從而控制是否向所述儲(chǔ)液箱110內(nèi)加入或補(bǔ)充工作液116。

所述加液系統(tǒng)還可以包括：溫度檢測(cè)裝置140，所述溫度檢測(cè)裝置140設(shè)置在所述儲(chǔ)液箱110內(nèi)，與所述工作液116接觸，用于檢測(cè)所述工作液116的溫度，從而可以根據(jù)所述溫度檢測(cè)裝置140檢測(cè)到的所述工作液116的溫度來(lái)確實(shí)是否需要向所述儲(chǔ)液箱110內(nèi)加工作液116，進(jìn)而根據(jù)需要來(lái)控制所述第一閥門(mén)131的開(kāi)關(guān)。

進(jìn)一步地，所述溫度檢測(cè)裝置140可以是溫度傳感器140，如圖1，所述溫度傳感器140懸空設(shè)置在所述儲(chǔ)液箱110內(nèi)，與所述儲(chǔ)液箱110的底部通過(guò)連接件固定。所述第一閥門(mén)131可以是電磁閥131，所述加液系統(tǒng)還可以包括：控制器160，所述溫度傳感器140、所述電磁閥131都與所述控制器160信號(hào)連接，圖1中，信號(hào)連接通過(guò)虛線示出，所述控制器160可以根據(jù)所述溫度傳感器140的反饋控制所述電磁閥131的開(kāi)關(guān)，例如，對(duì)控制器160設(shè)定一個(gè)預(yù)定溫度值，如50攝氏度，當(dāng)溫度傳感器140檢測(cè)到的所述儲(chǔ)液箱110內(nèi)的工作液溫度低于所述預(yù)定溫度值即低于50攝氏度時(shí)，所述加液管道130上的所述電磁閥131為關(guān)閉狀態(tài)，工作液116在所述儲(chǔ)液箱110與所述液環(huán)真空泵120之間循環(huán)時(shí)，其溫度會(huì)升高，當(dāng)溫度傳感器140檢測(cè)到所述儲(chǔ)液箱110內(nèi)的工作液116的溫度達(dá)到所述預(yù)定溫度值即50攝氏度時(shí)，所述溫度傳感器140將這一信號(hào)反饋到所述控制器160，所述控制器160根據(jù)反饋的信號(hào)控制所述加液管道130上的所述電磁閥131的狀態(tài)，將所述電磁閥131打開(kāi)，所述加液管道130內(nèi)的工作液通過(guò)所述加液口113進(jìn)入所述儲(chǔ)液箱110中，從而通過(guò)補(bǔ)充工作液116的方式降低所述儲(chǔ)液箱110內(nèi)的所述工作液116的溫度。上述向所述儲(chǔ)液箱110內(nèi)補(bǔ)充工作液116的過(guò)程通過(guò)所述溫度傳感器140、所述電磁閥131與所述控制器160之間的信號(hào)連接實(shí)現(xiàn)了自動(dòng)補(bǔ)液的過(guò)程，無(wú)需一直有人看守，使得所述抽真空系統(tǒng)工作更可靠。

再進(jìn)一步地，所述加液系統(tǒng)還可以包括：第一液位傳感器151和第二液位傳感器152，所述第一液位傳感器151、所述第二液位傳感器152分別設(shè)置在所述儲(chǔ)液箱110內(nèi)的不同預(yù)定位置上，如圖1，所述第一液位傳感器151和所述第二液位傳感器152都設(shè)置在所述儲(chǔ)液箱110的側(cè)壁上，所述第一液位傳感器151的位置高于所述第二液位傳感器152的位置，所述第一液位傳感器151、所述第二液位傳感器152都與所述控制器160信號(hào)連接，圖中信號(hào)連接以虛線示出，所述控制器160還根據(jù)所述第一液位傳感器151和/或所述第二液位傳感器152的反饋控制所述電磁閥131的開(kāi)關(guān)，當(dāng)所述儲(chǔ)液箱110內(nèi)的所述工作液116的液位低于所述第二液位傳感器152時(shí)，所述第二液位傳感器152將這一信號(hào)反饋到所述控制器160，所述控制器160控制所述加液管道130上的所述電磁閥131，將所述電磁閥131打開(kāi)，使得所述加液管道130內(nèi)的工作液116進(jìn)入所述儲(chǔ)液箱110中，在加液過(guò)程中，所述儲(chǔ)液箱110內(nèi)的所述工作液116的液位不斷上升，當(dāng)所述第一液位傳感器151檢測(cè)到所述工作液116的液位時(shí)，將這一信號(hào)反饋到所述控制器160，所述控制器160根據(jù)反饋的信號(hào)控制所述電磁閥131關(guān)閉，從而停止向所述儲(chǔ)液箱110內(nèi)加工作液116。當(dāng)所述第一液位傳感器151檢測(cè)到所述工作液116的液位的同時(shí)，所述溫度傳感器140檢測(cè)到所述儲(chǔ)液箱110內(nèi)的工作液116的溫度達(dá)到所述預(yù)定溫度值，所述控制器160控制所述電磁閥131仍然處于打開(kāi)狀態(tài)，所述加液管道130內(nèi)的工作液116繼續(xù)進(jìn)入所述儲(chǔ)液箱110中進(jìn)行補(bǔ)液。

本實(shí)施例中，所述加液系統(tǒng)包括兩種狀態(tài)，即向所述儲(chǔ)液箱110加液的第一狀態(tài)和停止向所述儲(chǔ)液箱加液110的第二狀態(tài)。其中，所述溫度傳感器140檢測(cè)到所述儲(chǔ)液箱110內(nèi)的所述工作液116的溫度達(dá)到所述控制器160設(shè)有的所述預(yù)定溫度值，和/或所述儲(chǔ)液箱110內(nèi)的所述工作液116的液位低于所述第二液位傳感器152，則所述控制器160控制所述電磁閥131處于打開(kāi)狀態(tài)，所述加液系統(tǒng)處于所述第一狀態(tài)；所述溫度傳感器140檢測(cè)到所述儲(chǔ)液箱110內(nèi)的所述工作液116的溫度未達(dá)到所述控制器160設(shè)有的所述預(yù)定溫度值，且所述第一液位傳感器151檢測(cè)到所述儲(chǔ)液箱110內(nèi)的所述工作液116的液位，則所述控制器160控制所述電磁閥131處于關(guān)閉狀態(tài)，所述加液系統(tǒng)處于所述第二狀態(tài)。通過(guò)所述第一液位傳感器151、所述第二液位傳感器152與所述控制器160信號(hào)連接進(jìn)而控制與所述控制器160信號(hào)連接的所述電磁閥131的開(kāi)關(guān)，從而實(shí)現(xiàn)了所述抽真空系統(tǒng)自動(dòng)對(duì)所述儲(chǔ)液箱110加工作液116的功能。

本實(shí)施例的抽真空系統(tǒng)還包括：排液管道170、第二閥門(mén)171，所述儲(chǔ)液箱110還包括排液口114，所述排液口114位于所述儲(chǔ)液箱110的底部，所述排液管道170與所述儲(chǔ)液箱110的所述排液口114連接，所述第二閥門(mén)171位于所述排液管道170上，當(dāng)所述第二閥門(mén)171打開(kāi)時(shí)，所述儲(chǔ)液箱110內(nèi)的工作液116可以通過(guò)所述排液管道170排出所述儲(chǔ)液箱110，在所述液環(huán)真空泵120工作時(shí)，所述第二閥門(mén)171為關(guān)閉狀態(tài)。

本實(shí)施例的抽真空系統(tǒng)還包括：溢流口115以及溢流管道180，所述溢流口115設(shè)置在所述儲(chǔ)液箱110側(cè)壁的預(yù)定高度上，所述溢流管道180的一端與所述溢流口115連接，另一端連接于所述排液管道170上所述第二閥門(mén)171的下游。當(dāng)所述儲(chǔ)液箱110內(nèi)的所述工作液116的液面高于所述溢流口115的位置時(shí)，高出部分的工作液116通過(guò)所述溢流口115再通過(guò)所述溢流管道180進(jìn)入所述排液管道170，從而排出所述儲(chǔ)液箱110。

上述本實(shí)施例的抽真空系統(tǒng)在工作中，所述工作液116的流動(dòng)過(guò)程如下：所述儲(chǔ)液箱110內(nèi)的所述工作液116通過(guò)所述儲(chǔ)液箱出口111以及所述工作液入口121進(jìn)入所述液環(huán)真空泵120參與工作，同時(shí)所述液環(huán)真空泵120內(nèi)氣液混合相的工作液116又通過(guò)所述工作液出口122以及所述儲(chǔ)液箱入口112回流到所述儲(chǔ)液箱110中，形成所述工作液116在所述儲(chǔ)液箱110與所述液環(huán)真空泵120之間循環(huán)。在循環(huán)過(guò)程中，所述儲(chǔ)液箱110內(nèi)的所述工作液116溫度會(huì)升高，當(dāng)溫度傳感器140檢測(cè)到所述儲(chǔ)液箱110內(nèi)的工作液116的溫度達(dá)到所述預(yù)定溫度值時(shí)，所述溫度傳感器140將這一信號(hào)反饋到所述控制器160，所述控制器160打開(kāi)所述加液管道130上的所述電磁閥131，所述加液管道130內(nèi)的工作液通過(guò)所述加液口113進(jìn)入所述儲(chǔ)液箱110中，從而通過(guò)補(bǔ)充工作液116的方式降低所述儲(chǔ)液箱110內(nèi)的所述工作液116的溫度。當(dāng)所述儲(chǔ)液箱110內(nèi)的所述工作液116的液位低于所述第二液位傳感器152時(shí)，所述第二液位傳感器152將這一信號(hào)反饋到所述控制器160，所述控制器160打開(kāi)所述電磁閥131，使得所述加液管道130內(nèi)的工作液116進(jìn)入所述儲(chǔ)液箱110中，在加液過(guò)程中，所述儲(chǔ)液箱110內(nèi)的所述工作液116的液位不斷上升，當(dāng)所述第一液位傳感器151檢測(cè)到所述工作液116的液位時(shí)，將這一信號(hào)反饋到所述控制器160，所述控制器160控制所述電磁閥131關(guān)閉，從而停止向所述儲(chǔ)液箱110內(nèi)加工作液116。當(dāng)所述第一液位傳感器151檢測(cè)到所述工作液116的液位的同時(shí)，所述溫度傳感器140檢測(cè)到所述儲(chǔ)液箱110內(nèi)的工作液116的溫度達(dá)到所述預(yù)定溫度值，所述控制器160控制所述電磁閥131仍然處于打開(kāi)狀態(tài)，所述加液管道130內(nèi)的工作液116繼續(xù)進(jìn)入所述儲(chǔ)液箱110中進(jìn)行補(bǔ)液，當(dāng)工作液116的液位高于所述溢流口115時(shí)，高出部分的工作液116通過(guò)所述溢流口115再通過(guò)所述溢流管道180進(jìn)入所述排液管道170，從而排出所述儲(chǔ)液箱110。

可以理解的是，所述溫度傳感器140、所述第一液位傳感器151、所述第二液位傳感器152的固定方式不限于上述實(shí)施例中給出的方式，可以根據(jù)實(shí)際需要進(jìn)行設(shè)置。所述預(yù)定溫度值也不限于50攝氏度，該預(yù)定溫度值以及所述第一液位傳感器151、所述第二液位傳感器152位于所述儲(chǔ)液箱110內(nèi)的預(yù)定高度值可以根據(jù)實(shí)際生產(chǎn)需要進(jìn)行設(shè)置，例如，在替代的實(shí)施例中，所述預(yù)定溫度值設(shè)置為60攝氏度。

液環(huán)真空泵120可以是水環(huán)真空泵，相應(yīng)地，所述工作液116可以采用自來(lái)水。所述抽真空系統(tǒng)還可以包括待抽真空的減薄機(jī)190，其中所述液環(huán)真空泵120還包括抽氣口123，所述抽氣口123與所述減薄機(jī)190連接，使得所述液環(huán)真空泵120可以對(duì)所述減薄機(jī)190抽真空。

應(yīng)當(dāng)說(shuō)明的是，在本文中，諸如第一和第二等之類(lèi)的關(guān)系術(shù)語(yǔ)僅僅用來(lái)將一個(gè)實(shí)體或者操作與另一個(gè)實(shí)體或操作區(qū)分開(kāi)來(lái)，而不一定要求或者暗示這些實(shí)體或操作之間存在任何這種實(shí)際的關(guān)系或者順序。而且，術(shù)語(yǔ)“包括”、“包含”或者其任何其他變體意在涵蓋非排他性的包含，從而使得包括一系列要素的過(guò)程、方法、物品或者設(shè)備不僅包括那些要素，而且還包括沒(méi)有明確列出的其他要素，或者是還包括為這種過(guò)程、方法、物品或者設(shè)備所固有的要素。在沒(méi)有更多限制的情況下，由語(yǔ)句“包括一個(gè)……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的過(guò)程、方法、物品或者設(shè)備中還存在另外的相同要素。

依照本實(shí)用新型的實(shí)施例如上文所述，這些實(shí)施例并沒(méi)有詳盡敘述所有的細(xì)節(jié)，也不限制該實(shí)用新型僅為所述的具體實(shí)施例。顯然，根據(jù)以上描述，可作很多的修改和變化。本說(shuō)明書(shū)選取并具體描述這些實(shí)施例，是為了更好地解釋本實(shí)用新型的原理和實(shí)際應(yīng)用，從而使所屬技術(shù)領(lǐng)域技術(shù)人員能很好地利用本實(shí)用新型以及在本實(shí)用新型基礎(chǔ)上的修改使用。本實(shí)用新型僅受權(quán)利要求書(shū)及其全部范圍和等效物的限制。