1.一種抽真空系統(tǒng),其特征在于,包括:
儲(chǔ)液箱;
液環(huán)真空泵,包括工作液入口和工作液出口,所述工作液入口和所述工作液出口分別與所述儲(chǔ)液箱連接;以及
加液系統(tǒng),所述加液系統(tǒng)設(shè)置在所述儲(chǔ)液箱上,用于向所述儲(chǔ)液箱內(nèi)加入工作液。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的抽真空系統(tǒng),其特征在于,所述加液系統(tǒng)包括:
加液管道,所述加液管道一端與所述儲(chǔ)液箱連接,另一端與工作液源連接;
第一閥門(mén),所述第一閥門(mén)位于所述加液管道上。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的抽真空系統(tǒng),其特征在于,所述加液系統(tǒng)還包括:
溫度檢測(cè)裝置,所述溫度檢測(cè)裝置設(shè)置在所述儲(chǔ)液箱內(nèi),用于檢測(cè)所述工作液的溫度。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的抽真空系統(tǒng),其特征在于,所述溫度檢測(cè)裝置為溫度傳感器。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的抽真空系統(tǒng),其特征在于,所述第一閥門(mén)為電磁閥,
所述加液系統(tǒng)還包括:
控制器,
其中,所述溫度傳感器、所述電磁閥都與所述控制器信號(hào)連接,所述控制器根據(jù)所述溫度傳感器的反饋控制所述電磁閥的開(kāi)關(guān)。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的抽真空系統(tǒng),其特征在于,所述加液系統(tǒng)還包括:
第一液位傳感器和第二液位傳感器,所述第一液位傳感器、所述第二液位傳感器分別設(shè)置在所述儲(chǔ)液箱內(nèi)的不同預(yù)定位置上,并且都與所述控制器信號(hào)連接,所述控制器還根據(jù)所述第一液位傳感器和/或所述第二液位傳感器的反饋控制所述電磁閥的開(kāi)關(guān)。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的抽真空系統(tǒng),其特征在于,所述加液系統(tǒng)包括向所述儲(chǔ)液箱加液的第一狀態(tài)和停止向所述儲(chǔ)液箱加液的第二狀態(tài),
所述溫度傳感器檢測(cè)到所述儲(chǔ)液箱內(nèi)的所述工作液的溫度達(dá)到所述控制器設(shè)有的預(yù)定溫度值,和/或所述儲(chǔ)液箱內(nèi)的所述工作液的液位低于所述第二液位傳感器,則所述控制器控制所述電磁閥處于打開(kāi)狀態(tài),所述加液系統(tǒng)處于所述第一狀態(tài);
所述溫度傳感器檢測(cè)到所述儲(chǔ)液箱內(nèi)的所述工作液的溫度未達(dá)到所述控制器設(shè)有的所述預(yù)定溫度值,且所述第一液位傳感器檢測(cè)到所述儲(chǔ)液箱內(nèi)的所述工作液的液位,則所述控制器控制所述電磁閥處于關(guān)閉狀態(tài),所述加液系統(tǒng)處于所述第二狀態(tài)。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的抽真空系統(tǒng),其特征在于,還包括:
排液管道,所述排液管道連接于所述儲(chǔ)液箱底部;
第二閥門(mén),所述第二閥門(mén)位于所述排液管道上。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的抽真空系統(tǒng),其特征在于,還包括:
溢流口,所述溢流口設(shè)置在所述儲(chǔ)液箱側(cè)壁的預(yù)定高度;
溢流管道,所述溢流管道一端與所述溢流口連接,另一端連接于所述排液管道上所述第二閥門(mén)的下游。
10.根據(jù)權(quán)利要求1至9任一項(xiàng)所述的抽真空系統(tǒng),其特征在于,所述液環(huán)真空泵為水環(huán)真空泵,所述工作液為自來(lái)水。
11.根據(jù)權(quán)利要求1至9任一項(xiàng)所述的抽真空系統(tǒng),其特征在于,還包括:
待抽真空的減薄機(jī),
所述液環(huán)真空泵還包括抽氣口,所述抽氣口與所述減薄機(jī)連接。