本實(shí)用新型涉及擴(kuò)散泵領(lǐng)域,具體的是一種擴(kuò)散泵擴(kuò)散器及其冷卻結(jié)構(gòu)
背景技術(shù):
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諧振器就是指產(chǎn)生諧振頻率的電子元件,常用的分為石英諧振器和陶瓷諧振器、起產(chǎn)生頻率的作用,具有穩(wěn)定,抗干擾性能良好的特點(diǎn),廣泛應(yīng)用于各種電子產(chǎn)品中,石英諧振器的頻率精度要高于陶瓷諧振器,但成本也比陶瓷諧振器高。諧振器重要起頻率控制的作用,所有電子產(chǎn)品涉及頻率的發(fā)射和接收都需要諧振器。
諧振器晶體在加工過程中,因?yàn)樾枰M(jìn)行微調(diào)產(chǎn)品頻率而實(shí)用擴(kuò)散器,使其得到需要的頻率值,所以擴(kuò)散泵的性能將直接影響諧振器晶體的品質(zhì)以及生產(chǎn)的效率。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:
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本實(shí)用新型的目的是為了解決現(xiàn)有技術(shù)的不足,提供了一種擴(kuò)散泵擴(kuò)散器及其冷卻結(jié)構(gòu)。
本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案為:
擴(kuò)散泵擴(kuò)散器及其冷卻結(jié)構(gòu),包括擴(kuò)散泵的擴(kuò)散器,擴(kuò)散器由喇叭管和直管連接而成,其特征在于:
所述擴(kuò)散器的喇叭管與直管連接處的喇叭管一側(cè)側(cè)壁由傾斜設(shè)置的平板構(gòu)成、形成導(dǎo)流板;連接處的直管的兩端外拐角處呈45°設(shè)置;直管的內(nèi)壁上設(shè)有若干傾斜設(shè)置的導(dǎo)向板,每一個(gè)導(dǎo)向板下方的直管管壁上均設(shè)有一個(gè)轉(zhuǎn)動(dòng)安裝的平衡板;直管的外壁上設(shè)有若干水冷卻器,若干水冷卻器相互或者獨(dú)立連接至冷卻水循環(huán)系統(tǒng)。
所述的擴(kuò)散泵擴(kuò)散器及其冷卻結(jié)構(gòu),其特征在于:
所述直管內(nèi)設(shè)置的平衡板的外壁與直管管壁不接觸。
所述的擴(kuò)散泵擴(kuò)散器及其冷卻結(jié)構(gòu),其特征在于:
所述平衡板內(nèi)部設(shè)有減重腔,兩側(cè)或者周圍設(shè)有平衡配重。
所述的擴(kuò)散泵擴(kuò)散器及其冷卻結(jié)構(gòu),其特征在于:
所述若干水冷卻器分別位于對(duì)應(yīng)的平衡板上抬一端的直管外壁上。
與現(xiàn)有技術(shù)相比,本實(shí)用新型的有益效果在于:
本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)巧妙、合理,可以有效的降低擴(kuò)散泵排出的氣體損失的能量,導(dǎo)向板在起到導(dǎo)向作用的同時(shí)可以吸收擴(kuò)散泵油,降低擴(kuò)散泵油被排出的量,提高擴(kuò)散泵的性能。
附圖說明:
圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式:
下面結(jié)合附圖,通過實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)說明:
擴(kuò)散泵擴(kuò)散器及其冷卻結(jié)構(gòu),包括擴(kuò)散泵的擴(kuò)散器,擴(kuò)散器由喇叭管1和直管2連接而成,擴(kuò)散器的喇叭管1與直管2連接處的喇叭管1一側(cè)側(cè)壁由傾斜設(shè)置的平板構(gòu)成、形成導(dǎo)流板3;連接處的直管2的兩端外拐角處呈45°設(shè)置;直管2的內(nèi)壁上設(shè)有若干傾斜設(shè)置的導(dǎo)向板4,每一個(gè)導(dǎo)向板4下方的直管管壁上均設(shè)有一個(gè)轉(zhuǎn)動(dòng)安裝的平衡板5;直管2的外壁上設(shè)有若干水冷卻器7,若干水冷卻器7相互或者獨(dú)立連接至冷卻水循環(huán)系統(tǒng)。
直管2內(nèi)設(shè)置的平衡板5的外壁與直管2管壁不接觸。
平衡板5內(nèi)部設(shè)有減重腔,兩側(cè)或者周圍設(shè)有平衡配重6。
若干水冷卻器7分別位于對(duì)應(yīng)的平衡板5上抬一端的直管1外壁上,參考附圖,蒸汽氣流會(huì)將平衡板5的一側(cè)抬起。
上述實(shí)施例僅為本實(shí)用新型的較佳的實(shí)施方式,除此之外,本實(shí)用新型還可以有其他實(shí)現(xiàn)方式。需要說明的是,在沒有脫離本實(shí)用新型構(gòu)思的前提下,任何顯而易見的改進(jìn)和修飾均應(yīng)落入本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。