技術(shù)總結(jié)
本實用新型公開了一種擴散泵擴散器及其冷卻結(jié)構(gòu)，包括擴散泵的擴散器，擴散器由喇叭管和直管連接而成，擴散器的喇叭管與直管連接處的喇叭管一側(cè)側(cè)壁由傾斜設(shè)置的平板構(gòu)成、形成導(dǎo)流板；連接處的直管的兩端外拐角處呈45°設(shè)置；直管的內(nèi)壁上設(shè)有若干傾斜設(shè)置的導(dǎo)向板，每一個導(dǎo)向板下方的直管管壁上均設(shè)有一個轉(zhuǎn)動安裝的平衡板；直管的外壁上設(shè)有若干水冷卻器，若干水冷卻器相互或者獨立連接至冷卻水循環(huán)系統(tǒng)。本實用新型結(jié)構(gòu)設(shè)計巧妙、合理，可以有效的降低擴散泵排出的氣體損失的能量，導(dǎo)向板在起到導(dǎo)向作用的同時可以吸收擴散泵油，降低擴散泵油被排出的量，提高擴散泵的性能。

技術(shù)研發(fā)人員：崔應(yīng)文
受保護的技術(shù)使用者：銅陵日科電子有限責(zé)任公司
文檔號碼：201621253054
技術(shù)研發(fā)日：2016.11.22
技術(shù)公布日：2017.05.17