本發(fā)明是有關(guān)于一種光學(xué)檢測裝置與光學(xué)檢測方法，且特別是有關(guān)于一種用于檢測光波導(dǎo)(lightwaveguide)元件的光學(xué)檢測裝置與光學(xué)檢測方法。
背景技術(shù)：
：：近年來，隨著科技產(chǎn)業(yè)日益發(fā)達，電子產(chǎn)品例如筆記本電腦(notebookcomputer，簡稱：NB)、平板電腦(tabletcomputer)與智能手機(smartphone)已頻繁地出現(xiàn)在日常生活中。因此，應(yīng)用于電子產(chǎn)品中的線路板(circuitboard)也成為相關(guān)技術(shù)中的重要角色。為了增加線路板的應(yīng)用，可用以增加內(nèi)部線路布局空間的多層線路板也因應(yīng)而生，而許多不同種類的電子元件，例如是連接器、芯片或者是光電元件，也可依據(jù)需求配置在多層線路板上，以增加多層線路板的使用功能。以在多層線路板中配置光電元件而構(gòu)成光電線路板(optical-electrocircuitboard)為例，光電線路板通常是在由核心層與增層結(jié)構(gòu)所構(gòu)成的多層線路板中埋設(shè)光波導(dǎo)元件，并在多層線路板開設(shè)凹槽而暴露出光波導(dǎo)元件的相對兩端。之后，光電元件進一步配置在凹槽內(nèi)而面對光波導(dǎo)元件的相對兩端，而驅(qū)動芯片配置在多層線路板上并電性連接至光電元件，以驅(qū)動光電元件將電信號轉(zhuǎn)換成光線并通過光波導(dǎo)元件傳遞至另一光電元件，或驅(qū)動光電元件將通過光波導(dǎo)元件的光線轉(zhuǎn)換成電信號。基于上述，光波導(dǎo)元件將影響光電元件的運作效能。藉此，在光電線路板的制程中或出貨前，制造端通?？刹捎孟嚓P(guān)光學(xué)檢測裝置與光學(xué)檢測方法檢測光波導(dǎo)元件，例如是檢測其光通量。然而，常見的光學(xué)檢測裝置與光學(xué)檢測方法是以光發(fā)送元件直接將光線射入光波導(dǎo)元件后在以光接收元件接收光線，藉此檢測光波導(dǎo)元件的光通量，故上述作法需使光波導(dǎo)元件的相對兩端完全外露，方能使光學(xué)檢測裝置的光線通過。也即，上述作法需破壞在制程中或出貨前的光電線路板的局部而暴露出光波導(dǎo)元件的相對兩端(例如是切割基板使其邊緣與光波導(dǎo)元件的邊緣切齊)，方能以 上述光學(xué)檢測裝置與光學(xué)檢測方法進行檢測。因此，上述作法將破壞光電線路板與光波導(dǎo)元件。技術(shù)實現(xiàn)要素：本發(fā)明提供一種光學(xué)檢測裝置與光學(xué)檢測方法，適于以非破壞性的方式檢測光波導(dǎo)元件。本發(fā)明的光學(xué)檢測裝置適于檢測至少一光波導(dǎo)元件。光學(xué)檢測裝置包括光發(fā)送元件、第一控制元件、第一反射元件、光接收元件、第二控制元件以及第二反射元件。光發(fā)送元件適于對應(yīng)于光波導(dǎo)元件的第一端，并適于發(fā)出光線。第一控制元件配置于光發(fā)送元件上。第一反射元件配置于光發(fā)送元件上，并連接至第一控制元件，其中第一控制元件控制第一反射元件運動，以將光發(fā)送元件發(fā)出的光線反射至光波導(dǎo)元件。光接收元件適于對應(yīng)于光波導(dǎo)元件的第二端，并適于接收光線。第二控制元件配置于光接收元件上。第二反射元件配置于光接收元件上，并連接至第二控制元件，其中第二控制元件控制第二反射元件運動，以將通過光波導(dǎo)元件的光線反射至光接收元件進行光學(xué)檢測。本發(fā)明的光學(xué)檢測方法適于檢測至少一光波導(dǎo)元件。光學(xué)檢測方法包括下列步驟：通過操作接口檢測至少一光波導(dǎo)元件的數(shù)量。通過操作接口控制光發(fā)送元件發(fā)出至少一光線，并通過第一控制元件控制第一反射元件運動，以將光發(fā)送元件發(fā)出的至少一光線對應(yīng)反射至至少一光波導(dǎo)元件，其中光發(fā)送元件對應(yīng)于至少一光波導(dǎo)元件的第一端，而第一控制元件與第一反射元件配置于光發(fā)送元件上并且彼此連接。通過第二控制元件控制第二反射元件運動，以將通過至少一光波導(dǎo)元件的至少一光線反射至光接收元件，并通過光接收元件接收至少一光線進行光學(xué)檢測，其中光接收元件對應(yīng)于至少一光波導(dǎo)元件的第二端，而第二控制元件與第二反射元件配置于光接收元件上并且彼此連接?；谏鲜?，本發(fā)明的光學(xué)檢測裝置與光學(xué)檢測方法采用光發(fā)送元件搭配光接收元件來發(fā)送與接收光線，其中光線通過受到第一控制元件控制的第一反射元件反射至光波導(dǎo)元件，而通過光波導(dǎo)元件的光線通過受到第二控制元件控制的第二反射元件反射至光接收元件，進而在不破壞光波導(dǎo)元件的情況 下檢測其光通量。也即光學(xué)檢測裝置與光學(xué)檢測方法通過藉由第一控制元件與第二控制元件控制的第一反射元件與第二反射元件來反射光線，以使光線精準(zhǔn)地通過光波導(dǎo)元件至光接收元件，故光波導(dǎo)元件不需遷就光發(fā)送元件與光接收元件的位置而在檢測過程中受到破壞。藉此，本發(fā)明的光學(xué)檢測裝置適于以非破壞性的方式檢測光波導(dǎo)元件。為讓本發(fā)明的上述特征和優(yōu)點能更明顯易懂，下文特舉實施例，并配合附圖作詳細說明如下。附圖說明圖1是本發(fā)明一實施例的光學(xué)檢測裝置的示意圖；圖2是本發(fā)明另一實施例的光學(xué)檢測裝置的示意圖；圖3是本發(fā)明一實施例的光學(xué)檢測方法的流程圖；圖4是圖1的光學(xué)檢測裝置在另一應(yīng)用的示意圖。附圖標(biāo)記說明：20、20a、20b、20c：光波導(dǎo)元件；22：第一端；24：第二端；30、40：基板；42：凹槽；44：增層結(jié)構(gòu)；100、100a：光學(xué)檢測裝置；110、110a：光發(fā)送元件；112a、112b、112c：光發(fā)送部；120：第一控制元件；130：第一反射元件；132：第一反射面；134：第一底面；140、140a：光接收元件；142a、142b、142c：光接收部；150：第二控制元件；160：第二反射元件；162：第二反射面；164：第二底面；170：分光器；L、L1、L2、L3：光線；X、Y、θ：軸向。具體實施方式圖1是本發(fā)明一實施例的光學(xué)檢測裝置的示意圖。請參考圖1，在本實施例中，光學(xué)檢測裝置100適于檢測至少一光波導(dǎo)元件20，本實施例現(xiàn)以檢測其中一個光波導(dǎo)元件20為例進行說明。其中，光學(xué)檢測裝置100包括光發(fā)送元件110、第一控制元件120、第一反射元件130、光接收元件140、第二控制元件150以及第二反射元件160。光發(fā)送元件110適于配置在光波導(dǎo)元件20的一側(cè)，例如是鄰近并對應(yīng)于光波導(dǎo)元件20的第一端22，并適于發(fā)送光線L。第一控制元件120配置于光發(fā)送元件110上。第一反射元件130配置于光發(fā)送元件110上，并連接至第一控制元件120，以通過第一控制元件120的控制而運動。另外，光接收元件140適于配置在光波導(dǎo)元件20的另一側(cè)，例如是鄰近并對應(yīng)于光波導(dǎo)元件20的第二端24，并適于接收光線L。第二控制元件150配置于光接收元件140上。第二反射元件160配置于光接收元件140上，并連接至第二控制元件150，以通過第二控制元件150的控制而運動。藉此，當(dāng)光學(xué)檢測裝置100對光波導(dǎo)元件20進行光通量的檢測時，光發(fā)送元件110發(fā)送光線L，而第一控制元件120控制第一反射元件130運動，以將光發(fā)送元件110發(fā)出的光線L反射至光波導(dǎo)元件20。光線L從光波導(dǎo)元件20的第一端22進入光波導(dǎo)元件20，并從其第二端24射出。在光線L通過光波導(dǎo)元件20之后，第二控制元件150控制第二反射元件160運動，以將通過光波導(dǎo)元件20的光線L反射至光接收元件140?；谏鲜?，光學(xué)檢測裝置100可依據(jù)光線L通過光波導(dǎo)元件20前后的量值差異(即光發(fā)送元件110所發(fā)出的光線L以及光接收元件140所接收的光線L的量值差異)，而得知光波導(dǎo)元件20的光通量。其中，為清楚展現(xiàn)光學(xué) 檢測裝置100與光波導(dǎo)元件20的相對關(guān)系，圖1將第一反射元件130與第二反射元件160示出成與光波導(dǎo)元件20相隔一段距離，但在實際應(yīng)用中，第一反射元件130與第二反射元件160可依據(jù)需求接近第一反射元件130與第二反射元件160的第一端22與第二端24，以使上述檢測結(jié)果更為準(zhǔn)確。具體而言，在本實施例中，光波導(dǎo)元件20配置于基板30上。所述基板30例如是光電線路板(optical-electrocircuitboard)的核心板(coreboard)。光電線路板的作法是將光波導(dǎo)元件20配置在作為核心板的基板30上，而后在核心板上依據(jù)需求壓合由半固化膠片(prepreg，簡稱：pp)與銅箔(copperfoil)所構(gòu)成的增層結(jié)構(gòu)。之后，增層結(jié)構(gòu)對應(yīng)于光波導(dǎo)元件20的周邊開設(shè)凹槽，并將光電元件配置于凹槽內(nèi)，以構(gòu)成所述光電線路板。因此，在本實施例中，基板30與配置于其上的光波導(dǎo)元件20可視為是所述光電線路板的半成品，而光學(xué)檢測裝置100用于在光電線路板的制程中檢測光波導(dǎo)元件20的光通量。然而，本實施例的光學(xué)檢測裝置100也可應(yīng)用于檢測配置在其他種類的基板上的光波導(dǎo)元件20，本發(fā)明不限制光學(xué)檢測裝置100的應(yīng)用，也不限制所述光波導(dǎo)元件20與基板30用于形成光電線路板。在本實施例中，光波導(dǎo)元件20配置于基板30上，而光學(xué)檢測裝置100以第一反射元件130面對第一端22并以第二反射元件160面對第二端24。其中，第一反射元件130具有第一反射面132，面向光波導(dǎo)元件20的第一端22，以將光發(fā)送元件110發(fā)出的光線L反射至光波導(dǎo)元件20。類似地，第二反射元件160具有第二反射面162，面向光波導(dǎo)元件20的第二端24，以將通過光波導(dǎo)元件20的光線L反射至光接收元件140。藉此，第一反射面132與第二反射面162較佳地配置有反射性良好的材質(zhì)。舉例而言，第一反射面132與第二反射面162可采用金屬材料(例如是銀或其他適用的材質(zhì))或為經(jīng)由拋光處理的亞克力材料，以使第一反射面132與第二反射面162具有全反射的特性，藉此減少光線L通過第一反射面132與第二反射面162反射時的損耗率而提升檢測結(jié)果的準(zhǔn)確性。然而，本發(fā)明并不限制第一反射面132與第二反射面162的材質(zhì)，其可依據(jù)需求調(diào)整。另外，在本實施例中，第一反射元件130具有連接第一反射面132的第一底面134，而第一底面134與第一反射面132之間較佳地夾45度角。藉此，第一反射元件130以對應(yīng)的第一底面134抵靠基板30，以使第一反射面132 對應(yīng)面向光波導(dǎo)元件20的第一端22并與光波導(dǎo)元件20夾45角，而有利于光線L的全反射。類似地，第二反射元件160具有連接第二反射面162的第二底面164，而第二底面164與第二反射面162之間較佳地夾45度角。藉此，第二反射元件160以對應(yīng)的第二底面164抵靠基板30，以使第二反射面162對應(yīng)面向光波導(dǎo)元件20的第二端24并與光波導(dǎo)元件20夾45角，而有利于光線L的全反射?；谏鲜觯诒緦嵤├?，第一反射元件130與第二反射元件160可采用截面形狀為三角形的反射元件(如圖1所示)，但在其他未示出的實施例中，第一反射元件與第二反射元件的截面形狀也可為梯形或多邊形。然而，本發(fā)明不限制第一底面134與第一反射面132之間夾45度角，不限制第二底面164與第二反射面162之間夾45度角，且也不限制第一反射元件130與第二反射元件160需通過對應(yīng)的第一底面134與第二底面164抵靠基板30來進行上述檢測動作。第一反射元件130與第二反射元件160的形狀、操作位置與操作角度可依據(jù)需求調(diào)整。另一方面，在本實施例中，上述的光波導(dǎo)元件20平行于水平基準(zhǔn)面。所述水平基準(zhǔn)面例如是圖1所示出的軸向X與軸向Y所構(gòu)成的平面，且基板30位于水平基準(zhǔn)面上，以使光波導(dǎo)元件20平行于水平基準(zhǔn)面。藉此，通過光發(fā)送元件110發(fā)出的光線L垂直于水平基準(zhǔn)面，并在經(jīng)由第一反射元件130反射后平行于水平基準(zhǔn)面，且在通過光波導(dǎo)元件20后經(jīng)由第二反射元件160反射而垂直于水平基準(zhǔn)面。更進一步地說，光發(fā)送元件110從第一反射元件130上方發(fā)出垂直于基板30(位于水平基準(zhǔn)面上)的光線L，而光線L經(jīng)由第一反射元件130的反射而改變傳送方向為平行于基板30，并進一步通過平行于水平基準(zhǔn)面的光波導(dǎo)元件20。在光線L通過光波導(dǎo)元件20之后，平行于基板30的光線L經(jīng)由第二反射元件160的反射而改變傳送方向為垂直于基板30，進而傳送至位于第二反射元件160上方的光接收元件140。在上述過程中，第一控制元件120與第二控制元件150可用于控制第一反射元件130與第二反射元件160運動，進而使其對準(zhǔn)于光波導(dǎo)元件20的第一端22與第二端24。具體而言，在本實施例中，第一控制元件120例如是線性馬達與機械手臂的組合，其可控制第一反射元件130沿水平基準(zhǔn)面(即圖1所標(biāo)示的軸向 X與軸向Y所構(gòu)成的平面)移動或沿旋轉(zhuǎn)軸向(即圖1所標(biāo)示的軸向θ)轉(zhuǎn)動，以調(diào)整第一反射元件130的位置以及第一反射面132的角度。類似地，第二控制元件150例如是線性馬達與機械手臂的組合，其控制第二反射元件160沿水平基準(zhǔn)面移動或沿旋轉(zhuǎn)軸向轉(zhuǎn)動，以調(diào)整第二反射元件160的位置以及第二反射面162的角度。然而，本發(fā)明并不限制第一控制元件120與第二控制元件150的組成，其可依據(jù)需求調(diào)整。由此可知，在本實施例中，第一控制元件120除了可以控制第一反射元件130沿水平基準(zhǔn)面移動而調(diào)整其位置至對應(yīng)于第一端22之外，還可以控制第一反射元件130沿旋轉(zhuǎn)軸向轉(zhuǎn)動而調(diào)整第一反射面132的角度，使第一反射面132可準(zhǔn)確地將光發(fā)送元件110發(fā)出的光線L反射至于第一端22，而不受限于光波導(dǎo)元件20與基板30的相對位置。類似地，第二控制元件150除了可以控制第二反射元件160沿水平基準(zhǔn)面移動而調(diào)整其位置至對應(yīng)于第二端24之外，還可以控制第二反射元件160沿旋轉(zhuǎn)軸向轉(zhuǎn)動而調(diào)整第二反射面162的角度，使第二反射面162準(zhǔn)確地將從第二端24射出的光線L反射至光接收元件140，而不受限于光波導(dǎo)元件20與基板30的相對位置。另外，在本實施例中，第一控制元件120與第二控制元件150可經(jīng)由外部電腦進行控制，例如是連接至未示出的操作接口，使其控制第一反射元件130與第二反射元件160的單位位移量可精準(zhǔn)至1微米(micrometer，簡稱：μm)，藉此提高第一反射元件130與第二反射元件160的對位精準(zhǔn)度。由此可知，通過第一控制元件120與第二控制元件150的設(shè)計，可使光學(xué)檢測裝置100檢測光波導(dǎo)元件20的動作不受限于光波導(dǎo)元件20與基板30的相對位置(例如光波導(dǎo)元件20在基板30上的相對高度)，只要依據(jù)需求通過第一控制元件120與第二控制元件150調(diào)整第一反射元件130與第二反射元件160的位置以及第一反射面132與第二反射面162的角度即可。請再次參考圖1，在本實施例中，雖然上述說明是以單一光波導(dǎo)元件20為例，但實際上基板30上可依據(jù)需求配置有多個光波導(dǎo)元件20。多個光波導(dǎo)元件20配置于基板30上而位于同一水平基準(zhǔn)面，且光波導(dǎo)元件20彼此平行配置。藉此，上述的光學(xué)檢測裝置100可通過第一控制元件120與第二控制元件150控制第一反射元件130與第二反射元件160沿水平基準(zhǔn)面移動(即圖1中由軸向X與軸向Y所構(gòu)成的平面)并沿旋轉(zhuǎn)軸向(即圖1中的軸向θ) 轉(zhuǎn)動，而對準(zhǔn)其中一個光波導(dǎo)元件20。在光學(xué)檢測裝置100完成其中一個光波導(dǎo)元件20的檢測之后，其可再次通過第一控制元件120與第二控制元件150控制第一反射元件130與第二反射元件160沿水平基準(zhǔn)面移動并沿旋轉(zhuǎn)軸向轉(zhuǎn)動，而對準(zhǔn)另一個光波導(dǎo)元件20，藉此逐一檢測多個光波導(dǎo)元件20的光通量。然而，在上述采用多個光波導(dǎo)元件20的情況下，其也可同時進行檢測。圖2是本發(fā)明另一實施例的光學(xué)檢測裝置的示意圖。請參考圖2，在本實施例中，光波導(dǎo)元件的數(shù)量為多個，例如是三個光波導(dǎo)元件20a、20b、20c，其配置于基板30上而位于同一水平基準(zhǔn)面(即圖2中由軸向X與軸向Y所構(gòu)成的平面)，且光波導(dǎo)元件20a、20b、20c彼此平行配置。上述的光波導(dǎo)元件20a、20b、20c可通過圖1的光學(xué)檢測裝置100逐一進行檢測，也可通過本實施例的光學(xué)檢測裝置100a同時進行檢測。具體而言，在本實施例中，光學(xué)檢測裝置100a包括光發(fā)送元件110a、第一控制元件120、第一反射元件130、光接收元件140a、第二控制元件150、第二反射元件160以及分光器170。換言之，光學(xué)檢測裝置100a與前述的光學(xué)檢測裝置100的主要差異在于光發(fā)送元件110a與光接收元件140a結(jié)構(gòu)以及分光器170的使用。因此，有關(guān)第一控制元件120、第一反射元件130、第二控制元件150與第二反射元件160的說明可參考前述內(nèi)容，在此不多加贅述。以下將說明光發(fā)送元件110a與光接收元件140a結(jié)構(gòu)以及分光器170的使用。在本實施例中，光學(xué)檢測裝置100a還包括分光器170，配置于光發(fā)送元件110a上，以將光發(fā)送元件110a發(fā)出的光線分成多道光線L1、L2、L3。其中，由于光學(xué)檢測裝置100a欲同時檢測三個光波導(dǎo)元件20a、20b、20c，故分光器170將光發(fā)送元件110a發(fā)出的光線分成三道光線L1、L2、L3，而當(dāng)光學(xué)檢測裝置100a欲同時檢測更多光波導(dǎo)元件時，分光器也可將光發(fā)送元件110a發(fā)出的光線分成更多道光線，本發(fā)明不限于上述實施方式，其可依據(jù)需求調(diào)整。另外，在本實施例中，光發(fā)送元件110a包括多個光發(fā)送部112a、112b、112c。雖然本實施例是以三個光發(fā)送部112a、112b、112c為例，但其數(shù)量可依據(jù)光波導(dǎo)元件20a、20b、20c的數(shù)量或者其他需求調(diào)整。藉此，經(jīng)由分光 器170區(qū)分出的光線L1、L2、L3通過對應(yīng)的光發(fā)送部112a、112b、112c發(fā)出，并經(jīng)由第一反射元件130對應(yīng)反射至多個光波導(dǎo)元件20a、20b、20c。具體來說，光學(xué)檢測裝置100a以第一反射元件130同時面對光波導(dǎo)元件20a、20b、20c的第一端22。第一反射元件130的位置以及第一反射面132的角度可通過第一控制元件120的控制而調(diào)整。也即，第一控制元件12可對應(yīng)控制第一反射元件130沿水平基準(zhǔn)面(即圖2的軸向X與軸向Y所構(gòu)成的平面)移動或沿旋轉(zhuǎn)軸向(即圖2所標(biāo)示的軸向θ)轉(zhuǎn)動，以調(diào)整第一反射元件130的位置以及第一反射面132的角度，使第一反射面132可準(zhǔn)確地將光發(fā)送部112a、112b、112c發(fā)出的光線L1、L2、L3同時反射至于光波導(dǎo)元件20a、20b、20c的第一端22。類似地，在本實施例中，光接收元件140a包括多個光接收部142a、142b、142c。雖然本實施例是以三個光接收部142a、142b、142c為例，但其數(shù)量可依據(jù)光波導(dǎo)元件20a、20b、20c的數(shù)量或者其他需求調(diào)整。光線L1、L2、L3各自通過對應(yīng)的光波導(dǎo)元件20a、20b、20c，并經(jīng)由第二反射元件160同時反射至對應(yīng)的光接收部142a、142b、142c。具體來說，光學(xué)檢測裝置100a以第二反射元件160同時面對光波導(dǎo)元件20a、20b、20c的第二端24。第二反射元件160的位置以及第二反射面162的角度可通過第二控制元件150的控制而調(diào)整。也即，第二控制元件150可對應(yīng)控制第二反射元件160沿水平基準(zhǔn)面移動或沿旋轉(zhuǎn)軸向轉(zhuǎn)動，以調(diào)整第二反射元件160的位置以及第二反射面162的角度，使第二反射面162可準(zhǔn)確地將從第二端24射出的光線L1、L2、L3同時反射至光接收部142a、142b、142c。依據(jù)上述內(nèi)容，通過光發(fā)送元件110a的光發(fā)送部112a、112b、112c發(fā)出的光線L1、L2、L3垂直于水平基準(zhǔn)面，并在經(jīng)由第一反射元件130反射后平行于水平基準(zhǔn)面，且在通過光波導(dǎo)元件20a、20b、20c后經(jīng)由第二反射元件160反射而垂直于水平基準(zhǔn)面。更進一步地說，光發(fā)送部112a、112b、112c從第一反射元件130上方發(fā)出垂直于基板30(位于水平基準(zhǔn)面上)的光線L1、L2、L3，而光線L1、L2、L3經(jīng)由第一反射元件130的反射而改變傳送方向為平行于基板30，并進一步通過平行于水平基準(zhǔn)面的光波導(dǎo)元件20a、20b、20c。在光線L1、L2、L3通過光波導(dǎo)元件20a、20b、20c之后，平行于基板30的光線L1、L2、L3經(jīng)由第二反射元件160的反射而改變傳送方向為 垂直于基板30，進而傳送至位于第二反射元件160上方的光接收部142a、142b、142c。由此可知，在本實施例中，通過分光器170的設(shè)計，可使光學(xué)檢測裝置100a產(chǎn)生多道光線L1、L2、L3來同時檢測多個光波導(dǎo)元件20a、20b、20c。另外，通過第一反射元件130與第二反射元件160的設(shè)計，可使光線L1、L2、L3改變傳遞方向而各自通過對應(yīng)的光波導(dǎo)元件20a、20b、20c。光線L1、L2、L3在上述的傳遞過程中彼此平行，且光線L1、L2、L3平行于基板30與光波導(dǎo)元件20a、20b、20c，以使光學(xué)檢測裝置100a可同時檢測位于同一水平基準(zhǔn)面上的光波導(dǎo)元件20a、20b、20c。此外，通過第一控制元件120與第二控制元件150的設(shè)計，可使光學(xué)檢測裝置100a檢測光波導(dǎo)元件20a、20b、20c的動作不受限于光波導(dǎo)元件20a、20b、20c與基板30的相對位置(例如光波導(dǎo)元件20a、20b、20c在基板30上的相對高度)，只要依據(jù)需求通過第一控制元件120與第二控制元件150調(diào)整第一反射元件130與第二反射元件160的位置以及第一反射面132與第二反射面162的角度即可。圖3是本發(fā)明一實施例的光學(xué)檢測方法的流程圖。請參考圖2與圖3，在本實施例中，光學(xué)檢測方法適于檢測至少一光波導(dǎo)元件。換言之，當(dāng)光波導(dǎo)元件的數(shù)量為多個，例如是圖2所示出的三個光波導(dǎo)元件20a、20b、20c時，光學(xué)檢測方法可依據(jù)需求同時檢測三個光波導(dǎo)元件20a、20b、20c，也可一次僅檢查一個?；蛘?，光學(xué)檢測方法也可用于檢測一個光波導(dǎo)元件(例如基板30上僅配置有光波導(dǎo)元件20a)。有關(guān)光發(fā)送元件110a、第一控制元件120a、第一反射元件130a、光接收元件140a、第二控制元件150a以及第二反射元件160a如前述內(nèi)容，在此不多加贅述。光學(xué)檢測方法包括下列步驟。首先，在步驟S110中，通過操作接口檢測至少一光波導(dǎo)元件的數(shù)量。本實施例是以三個光波導(dǎo)元件20a、20b、20c為例。接著，在步驟S120中，選擇同時檢測多個光波導(dǎo)元件，或者檢測單個光波導(dǎo)元件。由于圖2的光學(xué)檢測裝置所采用的光發(fā)送元件110a所發(fā)出的光線可通過分光器170分成多道光線L1、L2、L3，即光發(fā)送元件110a可通過光發(fā)送部112a、112b、112c對應(yīng)發(fā)送光線至光波導(dǎo)元件20a、20b、20c，故在此步驟中，操作接口可依據(jù)需求而選用單軸檢測(例如是在一次檢測過程中僅通過光發(fā)送部112a檢測光波導(dǎo)元件20a)或者多軸檢測(例如是在一次檢 測過程中通過光發(fā)送部112a、112b、112c同時檢測光波導(dǎo)元件20a、20b、20c)。以多軸檢測為例，接著，在步驟S130中，判斷第一反射元件130a在水平基準(zhǔn)面上的位置與角度是否將光發(fā)送元件110a發(fā)出的光線對準(zhǔn)于光波導(dǎo)元件20a、20b、20c的第一端22，并判斷第二反射元件160a在水平基準(zhǔn)面上的位置與角度是否將通過光波導(dǎo)元件20a、20b、20c的第二端24的光線對準(zhǔn)于光接收元件140a。所述水平基準(zhǔn)面即圖2所標(biāo)示的軸向X與軸向Y所構(gòu)成的平面。若否，則在步驟S140中，通過第一控制元件120a與第二控制元件150a分別控制第一反射元件130a與第二反射元件160a運動，并重新判斷。若是，則在步驟S150中，通過操作接口控制光發(fā)送元件110a發(fā)出光線，并通過第一控制元件120a控制第一反射元件130a運動，以將光發(fā)送元件110a發(fā)出的光線通過第一反射元件130a對應(yīng)反射至光波導(dǎo)元件20a、20b、20c。同時，通過第二控制元件150a控制第二反射元件160a運動，以將通過光波導(dǎo)元件20a、20b、20c的光線通過第二反射元件160a對應(yīng)反射至光接收元件140a，并通過操作接口控制光接收元件140a接收通過光波導(dǎo)元件20a、20b、20c并通過第二反射元件160a反射的光線，以進行光學(xué)檢測。具體而言，在此步驟中，先通過操作接口控制光發(fā)送元件110a以至少一光發(fā)送部(例如是圖2的光發(fā)送部112a、112b、112c)發(fā)出至少一光線(例如是圖2的光線L1、L2、L3)，并通過第一反射元件130a對應(yīng)反射至光波導(dǎo)元件20a、20b、20c，其中光線L1、L2、L3通過光發(fā)送部112a、112b、112c對應(yīng)發(fā)出，并經(jīng)由第一反射元件130a反射至光波導(dǎo)元件20a、20b、20c。接著，通過操作接口控制光接收元件140a以至少一光接收部(例如是圖2的光接收部142a、142b、142c)接收至少一光線(例如是圖2的光線L1、L2、L3)，其中光線L1、L2、L3分別對應(yīng)通過光波導(dǎo)元件20a、20b、20c，并經(jīng)由第二反射元件160a對應(yīng)反射至光接收部142a、142b、142c。藉此，通過光接收元件140a的各光接收部142a、142b、142c所接收的光線量，可判斷第一反射元件130a與第二反射元件160a是否對準(zhǔn)于光波導(dǎo)元件20a、20b、20c。當(dāng)在步驟S130中的判斷為否時，則在步驟S140中，通過第一控制元件120a控制第一反射元件130a運動，并通過第二控制元件150a控制第二反射元件160a運動。具體而言，在通過第一控制元件120a控制第一反射元件130a運動的步驟中，第一控制元件120a控制第一反射元件130a沿水平基準(zhǔn)面(即 圖2所標(biāo)示的軸向X與軸向Y所構(gòu)成的平面)移動或沿旋轉(zhuǎn)軸向(即圖2所標(biāo)示的軸向θ)轉(zhuǎn)動，且第一控制元件120a控制第一反射元件130a以第一反射面132a面向光波導(dǎo)元件20a、20b、20c的第一端22，以使光發(fā)送元件110a發(fā)出的光線適于反射至光波導(dǎo)元件20a、20b、20c。類似地，在通過第二控制元件150a控制第二反射元件160a運動的步驟中，第二控制元件150a控制第二反射元件160a沿水平基準(zhǔn)面移動或沿旋轉(zhuǎn)軸向轉(zhuǎn)動，且第二控制元件150a控制第二反射元件160a以第二反射面162a面向光波導(dǎo)元件20a、20b、20c的第二端24，以使通過光波導(dǎo)元件20a、20b、20c的光線適于對應(yīng)反射至光接收元件140a的光接收部142a、142b、142c。之后重新進行上述判斷，直至上述判斷為是。當(dāng)步驟S130的判斷為是時，則在步驟S150中，通過操作接口控制光發(fā)送元件110a發(fā)出光線，并通過第一控制元件120a控制第一反射元件130a運動，以將光發(fā)送元件110a發(fā)出的光線通過校正后并對準(zhǔn)于第一端22的第一反射元件130a對應(yīng)反射至光波導(dǎo)元件20a、20b、20c。同時，通過第二控制元件150a控制第二反射元件160a運動，以將通過光波導(dǎo)元件20a、20b、20c的光線通過校正后并對準(zhǔn)于第二端24的第二反射元件160a對應(yīng)反射至光接收元件140a，并通過操作接口控制光接收元件140a接收通過光波導(dǎo)元件20a、20b、20c并通過第二反射元件160a反射的光線。通過操作接口控制光發(fā)送元件110a發(fā)出光線并通過第一反射元件130a反射至光波導(dǎo)元件20a、20b、20c，并通過操作接口控制光接收元件140a接收通過光波導(dǎo)元件20a、20b、20c并通過第二反射元件160a反射的光線，使光波導(dǎo)元件20a、20b、20c可通過上述光學(xué)檢測方法進行光學(xué)檢測，例如是檢測其光通量。類似地，圖2的光學(xué)檢測裝置100a也可以上述流程進行單軸檢測，例如是僅使用其中一個光發(fā)送部112a發(fā)出光線至光波導(dǎo)元件20a，并通過其中一個光接收部142a接收通過光波導(dǎo)元件20a的光線，也可應(yīng)用在基板30上僅配置有一個光波導(dǎo)元件的實施方式中。此外，圖1的光學(xué)檢測裝置100也可以上述方法進行單軸檢測，在此不多加贅述。然而，在圖1的實施例中，由于光學(xué)檢測裝置100僅能發(fā)出一道光線，故在其所對應(yīng)的光學(xué)檢測方法中，可對應(yīng)省略選擇同時檢測多個光波導(dǎo)元件或者檢測單個光波導(dǎo)元件的步驟(即步驟S120)。圖4是圖1的光學(xué)檢測裝置在另一應(yīng)用的示意圖。請參考圖1與圖4，在本實施例中，光學(xué)檢測裝置100的相關(guān)說明可參考前述內(nèi)容，在此不多加贅述。其中，光學(xué)檢測裝置100除了可用于檢測前述配置在基板30上的光波導(dǎo)元件20之外，也可用于檢測配置在基板40內(nèi)的光波導(dǎo)元件20。具體而言，光波導(dǎo)元件20配置于基板40內(nèi)，且基板40具有兩凹槽42，以分別暴露出光波導(dǎo)元件20的第一端22與第二端24。更進一步地說，基板40例如是前述的光電線路板。光電線路板的作法為將光波導(dǎo)元件20配置核心板(即前述的基板30)上，而后在核心板上依據(jù)需求壓合由半固化膠片與銅箔所構(gòu)成的增層結(jié)構(gòu)44，以使光波導(dǎo)元件20埋設(shè)于基板40內(nèi)。光波導(dǎo)元件20可配置在作為核心板的基板30上或者位于增層結(jié)構(gòu)44上，本發(fā)明不以此為限制。之后，增層結(jié)構(gòu)44對應(yīng)于光波導(dǎo)元件20的周邊開設(shè)凹槽42，使光波導(dǎo)元件20的第一端22與第二端24通過凹槽42外露。藉此，基板40可在后續(xù)將光電元件(未示出)配置于凹槽42內(nèi)，以構(gòu)成所述光電線路板，而光電元件可在后續(xù)應(yīng)用中將電信號轉(zhuǎn)換成光線而通過光波導(dǎo)元件20傳遞，或?qū)⑼ㄟ^光波導(dǎo)元件20傳遞的光線轉(zhuǎn)換成電信號。換言之，埋設(shè)有光波導(dǎo)元件20的基板40可視為是所述光電線路板的成品，而光學(xué)檢測裝置100可在光電線路板制作完成后(或出貨前)檢測光波導(dǎo)元件20的光通量，但本發(fā)明不限制光學(xué)檢測裝置100的應(yīng)用，也不限制所述光波導(dǎo)元件20與基板40用于形成光電線路板。更進一步地說，在本實施例中，依據(jù)前述對于光學(xué)檢測裝置100的描述，光學(xué)檢測裝置100的光發(fā)送元件110所發(fā)出的光線L可經(jīng)由第一反射元件130的第一反射面132反射至光波導(dǎo)元件20，而通過光波導(dǎo)元件20的光線L可經(jīng)由第二反射元件160的第二反射面162反射至光接收元件140。藉此，由于光波導(dǎo)元件20的第一端22與第二端24通過凹槽42外露，故第一控制元件120與第二控制元件150可先控制第一反射元件130與第二反射元件160運動對應(yīng)伸入兩凹槽42而分別面對光波導(dǎo)元件20的第一端22與第二端24，而后進一步控制第一反射元件130與第二反射元件160在凹槽42內(nèi)沿水平基準(zhǔn)面(例如是圖1與圖4所示出的軸向X與軸向Y所構(gòu)成的平面)或沿旋轉(zhuǎn)軸向(例如是圖1與圖4所示出的軸向θ)運動，以調(diào)整第一反射元件130與第二反射元件的位置以及第一反射面132與第二反射面162的角度，進而 使光線L通過光波導(dǎo)元件20。由此可知，光學(xué)檢測裝置100檢測光波導(dǎo)元件20的動作不受限于光波導(dǎo)元件20與基板40的相對位置，只要依據(jù)需求調(diào)整第一反射元件130與第二反射元件160的位置以及第一反射面132與第二反射面162的角度即可。藉此，即使本實施例的光波導(dǎo)元件20配置在基板40內(nèi)，但基板40開設(shè)有凹槽42，使光波導(dǎo)元件20的第一端22與第二端24分別經(jīng)由對應(yīng)的凹槽42暴露出來。上述凹槽42用于在基板40內(nèi)配置光電元件而作為光電線路板，并非是為了進行檢測所額外開設(shè)的凹槽，故基板40與光波導(dǎo)元件20不需因采用光學(xué)檢測裝置100進行檢測而受到破壞。此外，由于本實施例將光波導(dǎo)元件20內(nèi)埋于基板40內(nèi)而未限定為配置在特定基板(例如基板30)的表面上，故光學(xué)檢測裝置100不限于在檢測過程中使第一反射元件130與第二反射元件160以其第一底面134與第二底面164(示出于圖1)抵靠基板30(即凹槽42的底部)。第一反射元件130與第二反射元件160深入凹槽42的深度可依據(jù)需求通過第一控制元件120與第二控制元件150調(diào)整，以更精準(zhǔn)地對位至配置在基板40內(nèi)的光波導(dǎo)元件20。類似地，在另一未示出的實施例中，圖4的基板40內(nèi)可依據(jù)需求埋設(shè)有多個光波導(dǎo)元件，而所述光波導(dǎo)元件位于同一水平基準(zhǔn)面上(例如將圖2所示的光波導(dǎo)元件20a、20b、20c埋設(shè)于圖4的基板40內(nèi)，而圖4所示出的光波導(dǎo)元件20可視為是多個光波導(dǎo)元件20a、20b、20c的其中一個)。所述光波導(dǎo)元件可配置在作為核心板的基板30上或者位于增層結(jié)構(gòu)44上，本發(fā)明不以此為限制。藉此，位于同一水平基準(zhǔn)面的光波導(dǎo)元件可通過光學(xué)檢測裝置100逐一檢測，也可采用光學(xué)檢裝置100a同時檢測。具體而言，當(dāng)圖4的基板40內(nèi)埋設(shè)有多個光波導(dǎo)元件(例如采用如圖1所示的多個光波導(dǎo)元件20或采用如圖2所示的多個光波導(dǎo)元件20a、20b、20c)時，各個光波導(dǎo)元件可通過凹槽42對應(yīng)暴露出其第一端22與第二端24。此時，多個位于同一水平基準(zhǔn)面的光波導(dǎo)元件可通過圖1的光學(xué)檢測裝置100逐一進行檢測，其作法為通過第一控制元件120與第二控制元件150控制第一反射元件130與第二反射元件160對應(yīng)于其中一個光波導(dǎo)元件，以引導(dǎo)光線L通過所述光波導(dǎo)元件，而后依據(jù)上述作法逐一檢測各光波導(dǎo)元件(請參照圖1與圖4及其相關(guān)說明)?；蛘?，多個位于同一水平基準(zhǔn)面的光波導(dǎo)元 件可通過圖2的光學(xué)檢測裝置100a同時進行檢測，其作法為通過第一控制元件120與第二控制元件150控制第一反射元件130與第二反射元件160同時對應(yīng)于位于同一水平基準(zhǔn)面上的光波導(dǎo)元件，以引導(dǎo)通過分光器170區(qū)分出的光線L1、L2、L3同時通過所述光波導(dǎo)元件，以同時檢測光波導(dǎo)元件(請參照圖2與圖4及其相關(guān)說明)。另外，在本實施例中，前述埋設(shè)于基板40內(nèi)的光波導(dǎo)元件(例如是圖1與圖4所示的光波導(dǎo)件20)也可通過圖3的流程進行光學(xué)檢測。然而，由于本實施例的光波導(dǎo)元件20內(nèi)埋于基板40內(nèi)，故在本實施例中，光學(xué)檢測方法還包括下列步驟：通過第一控制元件120與第二控制元件150對應(yīng)控制第一反射元件130與第二反射元件160對應(yīng)伸入基板40的兩凹槽42，以面對光波導(dǎo)元件20的第一端22與第二端24，其中光波導(dǎo)元件20配置于基板40內(nèi)，而兩凹槽42分別暴露出光波導(dǎo)元件20的第一端22與第二端24。類似地，當(dāng)內(nèi)埋于基板40內(nèi)的光波導(dǎo)元件的數(shù)量為多個時(例如是圖2所示的光波導(dǎo)件20a、20b、20c)，其也可通過圖3的流程進行光學(xué)檢測，且在執(zhí)行上述流程之間先通過第一控制元件120與第二控制元件150對應(yīng)控制第一反射元件130與第二反射元件160對應(yīng)伸入基板40的兩凹槽42，以面對光波導(dǎo)元件20的第一端22與第二端24。請再次參考圖3與圖4，在通過第一反射元件130與第二反射元件160對應(yīng)伸入基板40的兩凹槽42之后，埋設(shè)于基板40內(nèi)的光波導(dǎo)元件20可通過前述流程進行光學(xué)檢測，包括：在步驟S110中，通過操作接口檢測光波導(dǎo)元件20的數(shù)量。由于本實施例僅以單軸檢測單一光波導(dǎo)元件20，故可省略步驟S120。若進行光學(xué)檢測的光波導(dǎo)元件的數(shù)量為多個時，可在步驟S120中，選擇同時檢測多個光波導(dǎo)元件，或者檢測單個光波導(dǎo)元件。接著，在步驟S130中，判斷第一反射元件130在水平基準(zhǔn)面上的位置與角度是否將光發(fā)送元件110發(fā)出的光線對準(zhǔn)于光波導(dǎo)元件20的第一端22，并判斷第二反射元件160在水平基準(zhǔn)面上的位置與角度是否將通過光波導(dǎo)元件20的第二端24的光線對準(zhǔn)于光接收元件140。若否，則在步驟S140中，通過第一控制元件120與第二控制元件150分別控制第一反射元件130與第二反射元件160運動，并重新判斷。若是，則在步驟S150中，通過操作接口控制光發(fā)送元件110發(fā)出光線，并通過第一控制元件120控制第一反射元件130運動，以將 光發(fā)送元件110發(fā)出的光線通過第一反射元件130對應(yīng)反射至光波導(dǎo)元件20，同時通過第二控制元件150控制第二反射元件160運動，以將通過光波導(dǎo)元件20的光線通過第二反射元件160對應(yīng)反射至光接收元件140，并通過操作接口控制光接收元件140接收通過光波導(dǎo)元件20并通過第二反射元件160反射的光線，以進行光學(xué)檢測，例如是檢測其光通量。由此可知，本發(fā)明的光學(xué)檢測裝置100與100a與對應(yīng)的光學(xué)檢測方法可用于檢測單一光波導(dǎo)元件，而光學(xué)檢測裝置100a與對應(yīng)的光學(xué)檢測方法還可用于同時檢測多個光波導(dǎo)元件(如圖1所示出的多個光波導(dǎo)元件20或者如圖2所示出的多個光波導(dǎo)元件20a、20b、20c)，且光學(xué)檢測裝置100與100a與光學(xué)檢測方法檢測光波導(dǎo)元件的動作不受限于光波導(dǎo)元件的數(shù)量以及其與基板30或基板40的相對位置。也即，無論光波導(dǎo)元件的數(shù)量多少，以及無論光波導(dǎo)元件配置于基板30上或配置于基板40內(nèi)，光學(xué)檢測裝置100與100a與光學(xué)檢測方法都可依據(jù)上述方式檢測光波導(dǎo)元件，且上述檢測動作不需破壞光波導(dǎo)元件或基板。其中，相較于光學(xué)檢測裝置100，光學(xué)檢測裝置100a可同時檢測位于同一水平面上的多個光波導(dǎo)元件，故其可節(jié)省多個光波導(dǎo)元件的檢測時間而提升檢測效率。然而，本發(fā)明不限制以光學(xué)檢測裝置100或100a的何者檢測多個光波導(dǎo)元件，其可依據(jù)需求選擇。綜上所述，本發(fā)明的光學(xué)檢測裝置與光學(xué)檢測方法采用光發(fā)送元件搭配光接收元件來發(fā)送與接收光線，其中光線通過受到第一控制元件控制的第一反射元件反射至光波導(dǎo)元件，而通過光波導(dǎo)元件的光線通過受到第二控制元件控制的第二反射元件反射至光接收元件。換言之，本發(fā)明的光學(xué)檢測裝置與光學(xué)檢測方法通過第一反射元件與第二反射元件反射光線，并通過第一控制元件與第二控制元件分別控制第一反射元件與第二反射元件的位置與角度，以使光線精準(zhǔn)地通過光波導(dǎo)元件，而光學(xué)檢測裝置檢測光波導(dǎo)元件的動作不受限于光波導(dǎo)元件與基板的相對位置，也即光波導(dǎo)元件不需遷就光發(fā)送元件與光接收元件的位置而在檢測過程中受到破壞。此外，通過分光器的設(shè)計，也可使光學(xué)檢測裝置同時檢測多個光波導(dǎo)元件。藉此，本發(fā)明的光學(xué)檢測裝置適于以非破壞性的方式檢測光波導(dǎo)元件。最后應(yīng)說明的是：以上各實施例僅用以說明本發(fā)明的技術(shù)方案，而非對其限制；盡管參照前述各實施例對本發(fā)明進行了詳細的說明，本領(lǐng)域的普通 技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解：其依然可以對前述各實施例所記載的技術(shù)方案進行修改，或者對其中部分或者全部技術(shù)特征進行等同替換；而這些修改或者替換，并不使相應(yīng)技術(shù)方案的本質(zhì)脫離本發(fā)明各實施例技術(shù)方案的范圍。當(dāng)前第1頁1 2 3 當(dāng)前第1頁1 2 3