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光學(xué)檢測裝置與光學(xué)檢測方法與流程

文檔序號:11823058閱讀:來源:國知局
技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種光學(xué)檢測裝置與光學(xué)檢測方法,適于檢測光波導(dǎo)元件,所述光學(xué)檢測裝置包括光發(fā)送元件、配置于光發(fā)送元件上的第一控制元件、連接至第一控制元件的第一反射元件、光接收元件、配置于光接收元件上的第二控制元件以及連接至第二控制元件的第二反射元件。光發(fā)送元件適于發(fā)出光線。第一控制元件控制第一反射元件運動,以將光發(fā)送元件發(fā)出的光線反射至光波導(dǎo)元件。光接收元件適于接收光線。第二控制元件控制第二反射元件運動,以將通過光波導(dǎo)元件的光線反射至光接收元件,以進行光學(xué)檢測。本發(fā)明適于以非破壞性的方式檢測光波導(dǎo)元件。

技術(shù)研發(fā)人員:黃培彰;余丞博;林愛華
受保護的技術(shù)使用者:欣興電子股份有限公司
文檔號碼:201510129908
技術(shù)研發(fā)日:2015.03.24
技術(shù)公布日:2016.11.23

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