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一種快速檢測痕量揮發(fā)性硫化物的裝置的制作方法

文檔序號:12713360閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種快速檢測痕量揮發(fā)性硫化物的裝置,其特征在于:包括泰德拉氣袋(1)、全氟磺酸膜管(19)、氣體連接管路(3)、第一、第二、第三管路三通(5)(16)(20)、第一、第二、第三氣體兩通閥(7)(18)(22)、二溴甲烷試劑瓶(4)和真空紫外燈電離源;真空紫外燈電離源包括真空紫外燈(23)、中空密閉的電離源腔體(8),電離源腔體(8)一側(cè)開有通孔并經(jīng)擋板閥(14)和真空泵(13)連接;

真空紫外燈(23)置于電離源腔體(8)內(nèi)部,沿真空紫外燈(23)光線出射方向依次設(shè)置有平板狀推斥傳輸電極組(10)和小孔電極(11);構(gòu)成推斥傳輸電極組的平板狀電極中部設(shè)有垂直貫穿板體兩側(cè)表面的通孔;于電離源腔體(8)側(cè)壁上設(shè)有樣品進樣口(15)和二溴甲烷進樣口(9);推斥傳輸電極組靠近真空紫外燈的第一片平板狀電極側(cè)壁上設(shè)有2個與中部通孔相連通的側(cè)壁通孔,2個側(cè)壁通孔分別與樣品進樣口(15)和二溴甲烷進樣口(9)連接;二溴甲烷進樣口(9)通過氣體連接管路(3)從右向左依次連接有第一氣體兩通閥(7)、第一管路三通(5)、二溴甲烷試劑瓶(4)和干凈空氣源(2);第一管路三通(5)的第三端口作為二溴甲烷尾氣口(6);樣品進樣口(15)通過氣體連接管路(3)從右向左依次連接有第二管路三通(16)、全氟磺酸膜管(19)、第三管路三通(20)和泰德拉氣袋(1);第二管路三通(16)第三端口經(jīng)第二氣體兩通閥(18)和干凈空氣源(17)連接;第三管路三通(20)第三端口與第三氣體兩通閥(22)一個端口連接,第三氣體兩通閥(22)另一個端口作為尾氣口(21)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢測裝置,其特征在于:

推斥傳輸電極組(10)和小孔電極(11)均為中間設(shè)置有通孔的平板結(jié)構(gòu),并且均為相互平行、絕緣、通孔同軸放置;推斥傳輸電極組(10)極片數(shù)量為一片或者2片以上;極片孔徑為1~50mm。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢測裝置,其特征在于:

推斥傳輸電極組(10)和小孔電極(11)極片形狀為圓環(huán)狀或者方環(huán)狀;并且均為相互平行、絕緣、同軸放置;材料為不銹鋼等金屬或者鍍了金屬的極片;推斥傳輸電極組(10)極片數(shù)量為一片或者2片以上;極片孔徑為1~50mm。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢測裝置,其特征在于:

推斥傳輸電極組(10)和小孔電極(11)上從左至右按照從高到低依次施加不同軸向電壓并在軸線方向上形成大小為5~500V/cm的傳輸電場,電場可以是均勻的,或也可以使非均勻的。

5.根據(jù)權(quán)利要求1、2或3所述的檢測裝置,其特征在于:

小孔電極(11)小孔直徑為0.5~5mm。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢測裝置,其特征在于:

二溴甲烷進樣口(9)和樣品分子進樣口(15)內(nèi)徑均為Φ50~530μm,長度均為5~200cm,氣體樣品進樣量為0.1~200ml/min,電離源腔體(8)內(nèi)的真空度維持在1Torr~10Torr。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢測裝置,其特征在于:

進入二溴甲烷進樣口(9)的二溴甲烷濃度為500~10000ppmv。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢測裝置,其特征在于:

全氟磺酸膜管(19)長度為30~400cm,全氟磺酸膜管(19)置于密閉的潔凈裝置中或密閉的干凈氣體循環(huán)裝置中;潔凈裝置內(nèi)填充有分子篩或者其他干燥劑。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢測裝置,其特征在于:

二溴甲烷試劑瓶(4)為一密閉容器,其上設(shè)有一個進氣口和一個出氣口。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢測裝置,其特征在于:

電離得到的離子(12)通過小孔電極(11)小孔直接引入到質(zhì)量分析器中;所述的質(zhì)量分析器為飛行時間質(zhì)量分析器、四級桿質(zhì)量分析器或離子阱質(zhì)量分析器。

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