技術(shù)總結(jié)
一種x光檢查系統(tǒng)，包括：x光源(100)；用于支撐將被檢查的樣品的樣品支撐件(200)；x光檢測(cè)器(300)；包括用于使所述樣品支撐件(200)沿第一軸線朝著和遠(yuǎn)離所述x光源(100)移動(dòng)的第一定位機(jī)構(gòu)(210)的樣品定位組件(210)；被構(gòu)造成提供所述x光源(100)和所述樣品支撐件(200)上的樣品表面之間的距離測(cè)量值的、被固定至所述x光源(100)的接近傳感器(400)；以及被連接至所述接近傳感器(400)的控制器(500)。能夠在圖像處理計(jì)算中使用來(lái)自所述接近傳感器(400)的測(cè)量值，從而防止樣品和所述x光源(100)之間的碰撞。

技術(shù)研發(fā)人員：威廉·T·瓦爾克;西蒙·懷特
受保護(hù)的技術(shù)使用者：諾信公司
文檔號(hào)碼：201580018595
技術(shù)研發(fā)日：2015.04.03
技術(shù)公布日：2016.11.23