技術(shù)特征:
技術(shù)總結(jié)
于此描述用于在真空腔室中使用熱傳感器原位確定基板溫度的方法及設(shè)備。在一個(gè)實(shí)施方式中,熱感應(yīng)器具有傳送器,該傳送器經(jīng)構(gòu)造以傳送電磁波;接收器,該接收器經(jīng)構(gòu)造以接收電磁波;及控制器,該控制器經(jīng)構(gòu)造以控制該傳送器及該接收器,其中該控制器自所傳送的該電磁波及所接收的該電磁波之間的差異來(lái)確定溫度。
技術(shù)研發(fā)人員:甘加達(dá)爾·希拉瓦特
受保護(hù)的技術(shù)使用者:應(yīng)用材料公司
技術(shù)研發(fā)日:2015.10.06
技術(shù)公布日:2017.08.29