1.一種用以測(cè)量壓力的電離計(jì)，其包括：
電子源，其發(fā)射電子；
陽(yáng)極，其界定電離空間；
集極電極，其用以收集在所述電離空間中由所述電子與氣體之間的碰撞而形成的離子；以及
控制器，其在所述電離計(jì)對(duì)測(cè)量腔室中的壓力進(jìn)行測(cè)量的操作期間，作為感測(cè)到的壓力的函數(shù)、并且響應(yīng)于在一特定過(guò)程正由暴露于所測(cè)量的所述壓力下的所述電離計(jì)除外的工具執(zhí)行時(shí)的所述特定過(guò)程的另一用戶定義的操作參數(shù)，而主動(dòng)地變化來(lái)自所述電子源的發(fā)射電流到實(shí)質(zhì)上不同電平。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電離計(jì)，其中所述另一用戶定義的操作參數(shù)是預(yù)期由于工藝步驟而引起的改變的控制信號(hào)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電離計(jì)，其中所述控制器基于壓力以連續(xù)可變方式控制所述發(fā)射電流。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電離計(jì)，其中所述壓力函數(shù)由用戶進(jìn)行選擇。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電離計(jì)，其中所述另一用戶定義的操作參數(shù)是正在測(cè)量的環(huán)境中的氣體的種類(lèi)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電離計(jì)，其中在第一壓力范圍內(nèi)，集極電流被保持為固定電平，且在第二壓力范圍內(nèi)，允許所述集極電流變化。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電離計(jì)，其進(jìn)一步包括存儲(chǔ)在存儲(chǔ)器中并由用戶選擇的多個(gè)發(fā)射電流簡(jiǎn)檔。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電離計(jì)，其中壓力信號(hào)是自所收集的所述離子形成。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電離計(jì)，其中所述另一用戶定義的操作參數(shù)是預(yù)期由于工藝步驟而引起的壓力改變的控制信號(hào)。
10.一種測(cè)量氣體壓力的方法，其包括以下步驟：
從電子源產(chǎn)生電子；
在電離計(jì)對(duì)壓力進(jìn)行測(cè)量的操作期間，作為感測(cè)到的壓力的函數(shù)、并且響 應(yīng)于在一特定過(guò)程正由暴露于所測(cè)量的所述壓力下的所述電離計(jì)除外的工具執(zhí)行時(shí)的所述特定過(guò)程的另一用戶定義的操作參數(shù)，而動(dòng)態(tài)地變化來(lái)自所述電子源的發(fā)射電流到實(shí)質(zhì)上不同電平；
傳輸所述電子穿過(guò)用以界定所述電離計(jì)的電離空間的陽(yáng)極以形成離子；以及
收集所述電離計(jì)中的所述離子。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的方法，其中所述另一用戶定義的操作參數(shù)是預(yù)期由于工藝步驟而引起的改變的控制信號(hào)。
12.根據(jù)權(quán)利要求10所述的方法，其中基于壓力以連續(xù)可變方式變化所述發(fā)射電流。
13.根據(jù)權(quán)利要求10所述的方法，其中由用戶選擇所述壓力函數(shù)。
14.根據(jù)權(quán)利要求10所述的方法，其中所述另一用戶定義的操作參數(shù)是正在測(cè)量的環(huán)境中的氣體的種類(lèi)。
15.根據(jù)權(quán)利要求10所述的方法，其中在第一壓力范圍中，將集極電流保持為固定電平，且在第二壓力范圍中，允許變化所述集極電流。
16.根據(jù)權(quán)利要求10所述的方法，其中基于存儲(chǔ)在存儲(chǔ)器中并由用戶選擇的多個(gè)發(fā)射電流簡(jiǎn)檔中的一者而變化所述發(fā)射電流。
17.根據(jù)權(quán)利要求10所述的方法，其進(jìn)一步包括自所收集的所述離子形成壓力信號(hào)。
18.根據(jù)權(quán)利要求10所述的方法，其中所述另一用戶定義的操作參數(shù)是預(yù)期由于工藝步驟而引起的壓力改變的控制信號(hào)。