技術(shù)總結(jié)
一種測(cè)量壓力的電離計(jì)，其具有發(fā)射電子的電子源，和界定電離空間的陽(yáng)極。所述電離計(jì)還包含集極電極，用以收集由所述電子與氣體之間的碰撞而形成的離子且基于所述收集的離子而測(cè)量壓力。依據(jù)壓力和壓力除外的第二參數(shù)，在多個(gè)發(fā)射電平之間動(dòng)態(tài)地改變所述電子源的發(fā)射電流。所述電離計(jì)還可根據(jù)存儲(chǔ)在非易失性存儲(chǔ)器中并由用戶選擇的參數(shù)來(lái)改變電離計(jì)組件的各種操作參數(shù)。

技術(shù)研發(fā)人員：賴?yán)·卡麥可;杰西·A·韋伯;約翰·H·亨利;麥可·N·史考特;葛拉多·A·布魯克爾;肯尼斯·D·凡安特衛(wèi)普
受保護(hù)的技術(shù)使用者：MKS儀器公司
文檔號(hào)碼：201610282044
技術(shù)研發(fā)日：2009.09.11
技術(shù)公布日：2017.02.15