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電極型電場(chǎng)傳感器封裝元件及其用途的制作方法

文檔序號(hào):11861405閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種電極型電場(chǎng)傳感器封裝元件,其特征在于包括:

封裝管殼;

電場(chǎng)傳感器芯片,固定于所述封裝管殼內(nèi);

封裝蓋,覆蓋所述管殼開口,形成內(nèi)腔以容納所述電場(chǎng)傳感器芯片;以及

封裝電極,位于封裝蓋背離內(nèi)腔的一側(cè),根據(jù)與封裝蓋由近及遠(yuǎn)的關(guān)系封裝電極分為首端、中段和尾端。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電極型電場(chǎng)傳感器封裝元件,其特征在于,所述封裝電極為金屬材料和/或半導(dǎo)體材料。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電極型電場(chǎng)傳感器封裝元件,其特征在于,所述首端與封裝蓋直接相連;或者首端與封裝蓋之間存在預(yù)設(shè)距離,在該預(yù)設(shè)距離處電場(chǎng)傳感器感應(yīng)到封裝電極首端發(fā)出的電場(chǎng)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電極型電場(chǎng)傳感器封裝元件,其特征在于,所述尾端尺寸小于等于待測(cè)物、電場(chǎng)傳感器芯片或待測(cè)物附近空隙。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電極型電場(chǎng)傳感器封裝元件,其特征在于,所述尾端還連接導(dǎo)體,導(dǎo)體尺寸大于等于待測(cè)物或電場(chǎng)傳感器芯片。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的電極型電場(chǎng)傳感器封裝元件,其特征在于,所述導(dǎo)體形狀為圓形板、方形板或球體。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電極型電場(chǎng)傳感器封裝元件,其特征在于,所述中段的形狀為直線形、弧形或二者的組合。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的電極型電場(chǎng)傳感器封裝元件,其特征在于,所述中段被屏蔽層包裹,屏蔽層包含至少兩層材料,其中一層為金屬屏蔽層,金屬屏蔽層與中段之間存在絕緣層進(jìn)行隔離;優(yōu)選的,屏蔽層接傳感器的固定電位,屏蔽層向傳感器一端延伸并包裹所述封裝管殼及封裝蓋。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電極型電場(chǎng)傳感器封裝元件,其特征在于,所述封裝電極為一個(gè)或多個(gè),裝配在同一個(gè)傳感器芯片附近,實(shí)現(xiàn)多個(gè)方向電場(chǎng)的同時(shí)測(cè)量。

10.應(yīng)用權(quán)利要求1-9任意一項(xiàng)所述的電極型電場(chǎng)傳感器封裝元件對(duì)待測(cè)電場(chǎng)區(qū)域進(jìn)行監(jiān)測(cè),其中,所述尾端位于待測(cè)電場(chǎng)區(qū)域,所述待測(cè)電場(chǎng)區(qū)域?yàn)榇髿庵?、真空中、帶電溶液?nèi)、粉體內(nèi)、油內(nèi)、帶電物體表面或者狹縫內(nèi)。

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