技術(shù)總結(jié)
一種電極型電場傳感器封裝元件，包括封裝管殼；電場傳感器芯片，固定于所述封裝管殼內(nèi)；封裝蓋，覆蓋所述管殼開口，形成內(nèi)腔以容納所述電場傳感器芯片；以及封裝電極，位于封裝蓋背離內(nèi)腔的一側(cè)，根據(jù)與封裝蓋由近及遠(yuǎn)的關(guān)系封裝電極分為首端、中段和尾端。以及一種該電極型電場傳感器封裝元件的應(yīng)用。通過多種封裝電極設(shè)計，提升了電場傳感器的空間分辨率，提高了傳感器的靈敏度，增強(qiáng)了傳感器的環(huán)境適應(yīng)性。

技術(shù)研發(fā)人員：聞小龍;夏善紅
受保護(hù)的技術(shù)使用者：中國科學(xué)院電子學(xué)研究所
文檔號碼：201610409446
技術(shù)研發(fā)日：2016.06.12
技術(shù)公布日：2016.11.16