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一種層數可控的二硫化鉬TEM樣品的制備方法與流程

文檔序號:12357358閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種層數可控的二硫化鉬TEM樣品的制備方法,其特征在于,包括:

(1)機械剝離,用膠帶從二硫化鉬材料表面撕離一塊二硫化鉬薄片,然后多次粘合分離直至膠帶上樣品較為密集;

(2)轉移樣品,用金剛石刀裁出一塊大小與步驟(1)使用的膠帶大小相近或相同的硅片,將完成步驟(1)的膠帶有樣品的一面對著硅片拋光面貼上,然后將膠帶撕下;

(3)光鏡觀察,將完成步驟(2)的硅片置于光鏡下觀察,尋找最接近硅片基底顏色的薄片并通過原子力顯微鏡(AFM)精確判斷該二硫化鉬薄片的層數;

(4)在光鏡下找到薄區(qū)后,將微柵蓋在薄區(qū)上,碳膜的一面朝下與薄片接觸,滴加異丙醇,使得薄片與碳膜充分結合;

(5)向完成步驟(4)的微柵上滴加氫氧化鉀溶液刻蝕硅片,使二硫化鉬薄片脫離二氧化硅基底,浮上氫氧化鉀溶液表面;

(6)將完成步驟(5)的微柵置入去離子水中溶解;

(7)從完成步驟(6)的微柵轉移到異丙醇溶液中浸泡;

(8)將完成步驟(7)的微柵撈出后晾干,即得所述層數可控的二硫化鉬TEM樣品。

2.如權利要求1所述的制備方法,其特征在于,所述步驟(1)中,

所述膠帶可以用任何能與其起到相同作用的物質代替,包括藍膜,思高膠帶;

所述多次粘合的次數為5-10次。

3.如權利要求1所述的制備方法,其特征在于,其中,所述步驟(2)中,

所述金剛石刀可以用任何能與其起到相同作用的物質代替,包括硬質合金玻璃刀、水刀;

所述硅片可以是在清洗晾干后使用;所述晾干可以是能起到相同作用的處理代替,包括吹干、烘干、用氮氣槍吹干;

所述膠帶有樣品的一面對著硅片拋光面貼上后,按壓15-60秒,松開再等1-3分鐘,再將膠帶撕下。

4.如權利要求1所述的制備方法,其特征在于,所述步驟(3)中,

所述光鏡(光學顯微鏡)可以用任何能與其起到相同作用的裝置代替,包括可以觀察樣品顏色形貌的金相顯微鏡;

所述原子力顯微鏡(AFM)可以用任何能與其起到相同作用的裝置代替,包括可以測量樣品厚度的掃描電子顯微鏡;

精確判斷該二硫化鉬薄片的層數后,若對層數不滿意則重復步驟(2),或步驟(1)~(2);當二硫化鉬樣品的厚度為0.695納米時,可知該薄區(qū)的樣品為單層二硫化鉬。

5.如權利要求1所述的制備方法,其特征在于,所述步驟(4)中,

所述異丙醇的質量百分濃度范圍為95%-100%;

滴加異丙醇后,晾干2-6分鐘,使得薄片與碳膜充分結合;所述晾干可以是能起到相同作用的處理代替,包括吹干、烘干。

6.如權利要求1所述的制備方法,其特征在于,所述步驟(5)中,

所述氫氧化鉀的濃度為0.5-2mol/L;

滴加氫氧化鉀使得氫氧化鉀溶液將微柵充分覆蓋;

所述刻蝕硅片的時間為5-20分鐘。

7.如權利要求1所述的制備方法,其特征在于,所述步驟(6)中,

所述無機物是指硅酸鹽,氫氧化鉀;

所述溶解的時間為1-6分鐘。

8.如權利要求1所述的制備方法,其特征在于,所述步驟(7)中,

所述異丙醇的質量百分濃度為90%-100%;

所述浸泡的時間為1-5分鐘。

9.如權利要求1所述的制備方法,其特征在于,所述步驟(8)中,

所述晾干后,可以進行進一步退火處理;

所述晾干可以是能起到相同作用的處理代替,包括吹干、烘干。

10.一種如權利要求1所述方法制備的層數可控的二硫化鉬TEM樣品。

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