本發(fā)明涉及光柵技術(shù)領(lǐng)域，具體的說，是涉及一種光柵刻劃刀方位角的測量裝置及其測量方法。

背景技術(shù)：

衍射光柵是一種精密分光元件，機(jī)械刻劃衍射光柵的原理是光柵刻劃刀在鍍有鋁膜或金膜的光柵基底上擠壓出一系列等間距的、規(guī)則槽形的光柵刻線。光柵刻劃刀的各參數(shù)影響光柵刻線的槽形，進(jìn)而影響刻劃光柵的衍射效率、雜散光、鬼線等光柵性能指標(biāo)?？虅澭苌涔鈻徘肮鈻趴虅澋陡鲄?shù)中需要調(diào)節(jié)的參數(shù)有方位角、定向角和俯仰角，高質(zhì)量衍射光柵的研制需要光柵刻劃刀各角度精確的測量和調(diào)節(jié)。

現(xiàn)有技術(shù)，光柵刻劃刀方位角是否滿足要求通過兩條刻線中間的壓刃來判斷，即：在光柵基底上刻劃兩條刻線，兩條刻線之間壓有數(shù)個光柵刻劃刀的刃型，顯微鏡下觀測光柵的壓刃與兩條刻線的關(guān)系來判斷方位角是否滿足要求，如果不滿足調(diào)節(jié)光柵刻劃刀方位角后重新重復(fù)上述步驟直到滿足要求為止?，F(xiàn)有技術(shù)中光柵刻劃刀方位角沒有直接的度量裝置，調(diào)整過程容易出現(xiàn)反復(fù)調(diào)整的現(xiàn)象，準(zhǔn)確性低、效率低，因此，現(xiàn)有方位角調(diào)節(jié)技術(shù)對高效、高質(zhì)量衍射光柵的研制較為不利。

因此，如何提供一種光柵刻劃刀方位角測量裝置，以提高測量的效率，是本領(lǐng)域技術(shù)人員目前需要解決的技術(shù)問題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

有鑒于此，本發(fā)明提供了一種光柵刻劃刀方位角測量裝置，以提高測量的效率。本發(fā)明還提供了一種上述測量裝置的測量方法。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：

一種光柵刻劃刀方位角的測量裝置，其包括：

用于將具有光柵刻劃刀的刀架定位在基準(zhǔn)位置的安裝座；

旋轉(zhuǎn)臺，所述旋轉(zhuǎn)臺包括固定部和旋轉(zhuǎn)部，所述旋轉(zhuǎn)部和所述固定部沿周向均具有角度刻度，所述安裝座安裝在所述旋轉(zhuǎn)部上；

觀察鏡，所述觀察鏡具有位于基準(zhǔn)位置的定位標(biāo)識，所述觀察鏡能夠與所述旋轉(zhuǎn)臺相對。

優(yōu)選地，上述的測量裝置中，還包括基座，所述旋轉(zhuǎn)臺的固定部可移動的固定在所述基座上，所述觀察鏡的豎直投影在所述旋轉(zhuǎn)臺的移動軌跡上。

優(yōu)選地，上述的測量裝置中，還包括可沿所述基座直線移動的滑塊，所述固定部固定在所述滑塊上，所述旋轉(zhuǎn)部可轉(zhuǎn)動的安裝在所述滑塊上。

優(yōu)選地，上述的測量裝置中，所述基座具有燕尾槽，所述滑塊為與所述燕尾槽配合滑動的燕尾滑塊。

優(yōu)選地，上述的測量裝置中，還包括用于調(diào)節(jié)所述滑塊在所述基座上位置的調(diào)節(jié)裝置。

優(yōu)選地，上述的測量裝置中，所述調(diào)節(jié)裝置包括：

與所述滑塊螺紋連接的螺桿；

與所述螺桿轉(zhuǎn)動配合的支座，所述支座固定在所述基座上；

用于對所述螺桿的軸向進(jìn)行限位的第一螺母，所述第一螺母安裝在所述螺桿的尾端。

優(yōu)選地，上述的測量裝置中，所述觀察鏡為顯微鏡，所述定位標(biāo)識為顯微鏡視野中的十字分劃線。

優(yōu)選地，上述的測量裝置中，所述觀察鏡通過支架安裝在所述基座上。

優(yōu)選地，上述的測量裝置中，所述觀察鏡可沿垂直于所述旋轉(zhuǎn)臺的平面方向移動的安裝在所述支架上。

一種光柵刻劃刀方位角的測量方法，使用上述的光柵刻劃刀方位角的測量裝置，其包括步驟：

將待檢測的具有光柵刻劃刀的刀架定位安裝在安裝座上，并調(diào)節(jié)安裝座的位置，使刀架位于觀察鏡的視野范圍內(nèi)，并使定位標(biāo)識與旋轉(zhuǎn)臺的基準(zhǔn)重合；

調(diào)節(jié)觀察鏡的清晰度，使得光柵刻劃刀的刀刃顯示在觀察鏡的視野內(nèi)；

調(diào)節(jié)旋轉(zhuǎn)部使光柵刻劃刀的刀刃與定位標(biāo)識重合，則旋轉(zhuǎn)部相對于固定部轉(zhuǎn)動的角度為光柵刻劃刀的方位角。

經(jīng)由上述的技術(shù)方案可知，本發(fā)明公開了一種光柵刻劃刀方位角的測量裝置，其包括安裝座、旋轉(zhuǎn)臺和觀察鏡，其中，安裝座對待檢測的刀架進(jìn)行定位，而旋轉(zhuǎn)臺包括固定部和旋轉(zhuǎn)部，旋轉(zhuǎn)部和固定部沿周向均具有角度刻度，安裝座安裝在旋轉(zhuǎn)部上；觀察鏡具有位于基準(zhǔn)位置的定位標(biāo)識，觀察鏡能夠與旋轉(zhuǎn)臺相對。使用該裝置時，將對定位好的具有光柵刻劃刀的刀架安裝在安裝座上，而安裝座固定在旋轉(zhuǎn)部上，并調(diào)整旋轉(zhuǎn)臺的位置，使旋轉(zhuǎn)臺與觀察鏡相對，即使其位于裝置的機(jī)械零位，然后轉(zhuǎn)動旋轉(zhuǎn)部使光柵刻劃刀的刀刃與定位標(biāo)識重合，此時，旋轉(zhuǎn)部相對于固定部的轉(zhuǎn)動角度即為光柵刻劃刀的方位角。本申請中的測量裝置可直接測得方位角，不需要重復(fù)操作，準(zhǔn)確性高、效率高。

附圖說明

為了更清楚地說明本發(fā)明實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的實(shí)施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)提供的附圖獲得其他的附圖。

圖1為本發(fā)明實(shí)施例提供的光柵刻劃刀方位角測量裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本發(fā)明實(shí)施例提供的光柵刻劃刀方位角測量裝置的主視圖；

圖3為本發(fā)明實(shí)施例提供的光柵刻劃刀方位角測量裝置的測量方法的流程圖。

具體實(shí)施方式

本發(fā)明的核心是提供一種光柵刻劃刀方位角測量裝置，以提高測量的效率。本發(fā)明的另一核心是提供一種上述測量裝置的測量方法。

下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例。基于本發(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。

如圖1和圖2所示，本發(fā)明公開了一種光柵刻劃刀方位角的測量裝置，其包括安裝座7、旋轉(zhuǎn)臺和觀察鏡4，其中，安裝座7用于對待檢測的具有光柵刻劃刀的刀架進(jìn)行定位安裝，旋轉(zhuǎn)臺包括固定部21和旋轉(zhuǎn)部22，而旋轉(zhuǎn)部22和固定部21沿周向均具有角度刻度，上述的安裝座7安裝在旋轉(zhuǎn)部22上；觀察鏡4具有位于基準(zhǔn)位置的定位標(biāo)識，觀察鏡4能夠與旋轉(zhuǎn)臺相對，其實(shí)質(zhì)是與通過裝調(diào)確定了觀察鏡軸線與旋轉(zhuǎn)臺軸線重合并通過刀刃中心的裝置的機(jī)械零位。對于觀察鏡4的定位標(biāo)識，可為人為設(shè)定的標(biāo)識，也可為觀察鏡4自身具有的十字分劃線，只需要保證定位標(biāo)識的位置與旋轉(zhuǎn)部22和固定部21初始位置的預(yù)設(shè)基準(zhǔn)重合即可，即只需要保證定位標(biāo)識的位置與裝置的機(jī)械零位預(yù)設(shè)基準(zhǔn)重合，該預(yù)設(shè)基準(zhǔn)可為零度也可為其他任意值，只要能夠通過計算得出旋轉(zhuǎn)部22相對于固定部21轉(zhuǎn)動的角度即可。使用該裝置時，將具有光柵刻劃刀的刀架定位安裝在安裝座7上，安裝時保證光柵刻劃刀與基準(zhǔn)位置也可理解為機(jī)械零位重合，并將安裝座7安裝在旋轉(zhuǎn)部22上，并調(diào)整旋轉(zhuǎn)臺的位置，使旋轉(zhuǎn)臺與觀察鏡4相對即使其位于裝置的機(jī)械零位，然后轉(zhuǎn)動旋轉(zhuǎn)部22使光柵刻劃刀的刀刃與定位標(biāo)識重合，此時，旋轉(zhuǎn)部22相對于固定部21的轉(zhuǎn)動角度即為光柵刻劃刀的方位角。本申請中的測量裝置可直接測得方位角，不需要重復(fù)操作，準(zhǔn)確性高、效率高。

具體地，旋轉(zhuǎn)臺的刻度線精度為2″，初始位置時即裝置機(jī)械零位時，可將固定部21上的零度與旋轉(zhuǎn)部22的零度重合，并保證觀察鏡4的定位標(biāo)識與旋轉(zhuǎn)部22上的零度重合。上述的刀架通過安裝座7安裝在旋轉(zhuǎn)部22上時，安裝的位置是確定的，但是光柵刻劃刀的刀刃可能自身存在偏移，操作者通過轉(zhuǎn)動旋轉(zhuǎn)部22，使刀刃與定位標(biāo)識重合后，旋轉(zhuǎn)部22相對于固定部21轉(zhuǎn)動角度即為需要測的方位角。刀架的安裝通過鎖緊螺釘定位安裝在安裝座7上。

進(jìn)一步的實(shí)施例中，該測量裝置還包括基座1，其中，旋轉(zhuǎn)臺的固定部21可移動的固定在基座1上，而觀察鏡4的豎直方向投影落在旋轉(zhuǎn)臺的移動軌跡上，即旋轉(zhuǎn)臺在移動過程中能夠與觀察鏡4相對，以保證觀察鏡4對旋轉(zhuǎn)臺上的光柵刻劃刀進(jìn)行定位。通過旋轉(zhuǎn)臺的移動可便于對在旋轉(zhuǎn)臺的旋轉(zhuǎn)部22上安裝刀架，防止在對刀架安裝過程中對觀察鏡4進(jìn)行碰撞而影響觀察鏡裝調(diào)好的機(jī)械零位。對于旋轉(zhuǎn)臺的移動軌跡可根據(jù)不同的需要進(jìn)行設(shè)定，在滿足移動的軌跡經(jīng)常觀察鏡4豎直投影的條件下，只要方便操作者進(jìn)行操作者即可。

具體的實(shí)施例中，該測量裝置還包括可沿基座1直線移動的滑塊12，上述的旋轉(zhuǎn)臺的固定部21固定在滑塊12上，而旋轉(zhuǎn)臺的旋轉(zhuǎn)部22可轉(zhuǎn)動的安裝在滑塊12上。通過將旋轉(zhuǎn)臺安裝在滑塊12上，可通過滑塊12的移動而改變旋轉(zhuǎn)臺的位置。在實(shí)際中，該旋轉(zhuǎn)部22與滑塊12固定連接，并在滑塊12上設(shè)置有轉(zhuǎn)軸，該轉(zhuǎn)軸與旋轉(zhuǎn)部22連接，實(shí)現(xiàn)旋轉(zhuǎn)部22相對于固定部21的轉(zhuǎn)動。也可將固定部21設(shè)置為具有凹槽的圓盤，并在凹槽的中間設(shè)置轉(zhuǎn)軸，旋轉(zhuǎn)部22與轉(zhuǎn)軸連接，安裝在凹槽內(nèi)。對于旋轉(zhuǎn)臺的結(jié)構(gòu)可根據(jù)不同的需要進(jìn)行設(shè)定，且均在保護(hù)范圍內(nèi)。

更進(jìn)一步的實(shí)施例中，該基座1具有燕尾槽11，而滑塊12為與燕尾槽11配合滑動的燕尾滑塊。本申請中的通過滑塊12與燕尾槽11的配合滑動而改變旋轉(zhuǎn)臺的位置，方便對刀架的安裝和拆卸。對于燕尾槽11的方向和尺寸在此不做具體限定。此處只是提供了一種改變旋轉(zhuǎn)臺位置的方式，在實(shí)際中還可采用絲杠螺母的方式改變滑塊的位置。

為了保證滑塊12與燕尾槽11的穩(wěn)定，防止因碰撞而發(fā)生位置的變化，該測量裝置還包括用于調(diào)節(jié)滑塊12在基座1上位置的調(diào)節(jié)裝置。通過調(diào)節(jié)裝置改變滑塊12在基座1上的位置，并限制滑塊12在基座1上位置的繼續(xù)改變。

具體地，該調(diào)節(jié)裝置包括螺桿32和支座31，其中，螺桿32與滑塊12螺紋連接，而支座31固定在基座1上，螺桿32與支座31轉(zhuǎn)動連接，該螺桿32通過在支座31上的轉(zhuǎn)動而實(shí)現(xiàn)滑塊12位置的變化，具體地，該支座為兩個，并且分別安裝在基座1的前側(cè)面和后端上面，以支撐螺桿32的兩端。通過螺紋配合連接改變滑塊12位置的方式調(diào)節(jié)精度高，穩(wěn)定性好。

進(jìn)一步的，螺桿32的另一端具有第一螺母33，第一螺母33安裝在螺桿32的尾部，對螺桿32的軸向進(jìn)行限位。此外，在螺桿尾部具有對第一螺母33鎖緊的第二螺母35。在螺桿32與對應(yīng)的支座31之間設(shè)置有第一墊圈34，第一螺母33與對應(yīng)的支座31之間具有第二墊圈37，并且第一墊圈34和第二墊圈37均為聚四氟乙烯墊圈，以降低磨損，延長使用壽命。

優(yōu)選的實(shí)施例中，該觀察鏡4為顯微鏡，上述的定位標(biāo)識為顯微鏡視野中的十字分劃線。該觀察鏡4通過支架5安裝在基座1上，并且該觀察鏡4可沿垂直于旋轉(zhuǎn)臺的平面方向移動，即裝置正常放置時，該觀察鏡4僅能夠在豎直方向移動。顯微鏡通過壓塊61安裝于支架5上，并能在安裝處上下移動；顯微鏡放大倍數(shù)為50倍，帶有十字分劃線、LED燈泡、焦距可調(diào)的目鏡和物鏡；對于可調(diào)節(jié)的顯微鏡的固定是通過鎖緊螺母62來實(shí)現(xiàn)。

此外，還公開了一種光柵刻劃刀方位角的測量方法，使用如上述實(shí)施例公開的光柵刻劃刀方位角的測量裝置，即上述光柵刻劃刀方位角的測量裝置的使用方法，具體包括步驟：

步驟S1：將待檢測的具有光柵刻劃刀的刀架定位安裝在安裝座上，并調(diào)節(jié)安裝座的位置，使刀架位于觀察鏡的視野范圍內(nèi)，并使定位標(biāo)識與旋轉(zhuǎn)臺的基準(zhǔn)重合，即調(diào)節(jié)旋轉(zhuǎn)臺的位置，使其位于裝置的機(jī)械零位；

步驟S2：調(diào)節(jié)觀察鏡的清晰度，使得光柵刻劃刀的刀刃顯示在觀察鏡的視野內(nèi)；

步驟S3：調(diào)節(jié)旋轉(zhuǎn)部使光柵刻劃刀的刀刃與定位標(biāo)識重合，則旋轉(zhuǎn)部相對于固定部轉(zhuǎn)動的角度為光柵刻劃刀的方位角。

本說明書中各個實(shí)施例采用遞進(jìn)的方式描述，每個實(shí)施例重點(diǎn)說明的都是與其他實(shí)施例的不同之處，各個實(shí)施例之間相同相似部分互相參見即可。

對所公開的實(shí)施例的上述說明，使本領(lǐng)域?qū)I(yè)技術(shù)人員能夠?qū)崿F(xiàn)或使用本發(fā)明。對這些實(shí)施例的多種修改對本領(lǐng)域的專業(yè)技術(shù)人員來說將是顯而易見的，本文中所定義的一般原理可以在不脫離本發(fā)明的精神或范圍的情況下，在其它實(shí)施例中實(shí)現(xiàn)。因此，本發(fā)明將不會被限制于本文所示的這些實(shí)施例，而是要符合與本文所公開的原理和新穎特點(diǎn)相一致的最寬的范圍。