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光柵刻劃刀方位角的測(cè)量裝置及其測(cè)量方法與流程

文檔序號(hào):12464876閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種光柵刻劃刀方位角的測(cè)量裝置,其特征在于,包括:

用于將具有光柵刻劃刀的刀架定位在基準(zhǔn)位置的安裝座(7);

旋轉(zhuǎn)臺(tái),所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)包括固定部(21)和旋轉(zhuǎn)部(22),所述旋轉(zhuǎn)部(22)和所述固定部(21)沿周向均具有角度刻度,所述安裝座(7)安裝在所述旋轉(zhuǎn)部(22)上;

觀察鏡(4),所述觀察鏡(4)具有位于基準(zhǔn)位置的定位標(biāo)識(shí),所述觀察鏡(4)能夠與所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)相對(duì)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測(cè)量裝置,其特征在于,還包括基座(1),所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)的固定部(21)可移動(dòng)的固定在所述基座(1)上,所述觀察鏡(4)的豎直投影在所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)的移動(dòng)軌跡上。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的測(cè)量裝置,其特征在于,還包括可沿所述基座(1)直線移動(dòng)的滑塊(12),所述固定部(21)固定在所述滑塊(12)上,所述旋轉(zhuǎn)部(22)可轉(zhuǎn)動(dòng)的安裝在所述滑塊(12)上。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的測(cè)量裝置,其特征在于,所述基座(1)具有燕尾槽(11),所述滑塊(12)為與所述燕尾槽(11)配合滑動(dòng)的燕尾滑塊。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的測(cè)量裝置,其特征在于,還包括用于調(diào)節(jié)所述滑塊(12)在所述基座(1)上位置的調(diào)節(jié)裝置。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的測(cè)量裝置,其特征在于,所述調(diào)節(jié)裝置包括:

與所述滑塊(12)螺紋連接的螺桿(32);

與所述螺桿(32)轉(zhuǎn)動(dòng)配合的支座(31),所述支座(31)固定在所述基座(1)上;

用于對(duì)所述螺桿(32)的軸向進(jìn)行限位的第一螺母(33),所述第一螺母(33)安裝在所述螺桿(32)的尾端。

7.根據(jù)權(quán)利要求1-6任一項(xiàng)所述的測(cè)量裝置,其特征在于,所述觀察鏡(4)為顯微鏡,所述定位標(biāo)識(shí)為顯微鏡視野中的十字分劃線。

8.根據(jù)權(quán)利要求2-6任一項(xiàng)所述的測(cè)量裝置,其特征在于,所述觀察鏡(4)通過支架(5)安裝在所述基座(1)上。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的測(cè)量裝置,其特征在于,所述觀察鏡(4)可沿垂直于所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)的平面方向移動(dòng)的安裝在所述支架(5)上。

10.一種光柵刻劃刀方位角的測(cè)量方法,使用如權(quán)利要求1-9任一項(xiàng)所述的光柵刻劃刀方位角的測(cè)量裝置,其特征在于,包括步驟:

將待檢測(cè)的具有光柵刻劃刀的刀架定位安裝在安裝座上,并調(diào)節(jié)安裝座的位置,使刀架位于觀察鏡的視野范圍內(nèi),并使定位標(biāo)識(shí)與旋轉(zhuǎn)臺(tái)的基準(zhǔn)重合;

調(diào)節(jié)觀察鏡的清晰度,使得光柵刻劃刀的刀刃顯示在觀察鏡的視野內(nèi);

調(diào)節(jié)旋轉(zhuǎn)部使光柵刻劃刀的刀刃與定位標(biāo)識(shí)重合,則旋轉(zhuǎn)部相對(duì)于固定部轉(zhuǎn)動(dòng)的角度為光柵刻劃刀的方位角。

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