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二次靶結(jié)構(gòu)的投射式X光管熒光儀的制作方法

文檔序號(hào):11860405閱讀:來源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種二次靶結(jié)構(gòu)的投射式X光管熒光儀,其特征在于:包括探測(cè)器(8)和可發(fā)射X射線(2)的、端部設(shè)有鈹窗(9)的X光管(1),在鈹窗(9)內(nèi)側(cè)設(shè)有一次靶(3)、外側(cè)設(shè)有樣品托(6)和兩個(gè)以上的二次靶,所述X射線(2)經(jīng)過二次靶激發(fā)后投射到樣品托(6)上;在樣品托(6)與一次靶(3)的間隙處設(shè)有光欄(7)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的二次靶結(jié)構(gòu)的投射式X光管熒光儀,其特征在于:所述鈹窗(9)的外側(cè)設(shè)有兩個(gè)分別為二次靶A(4)和二次靶B(5)的二次靶,所述二次靶A(4)與一次靶(3)平行設(shè)置,所述二次靶B(5)和樣品托(6)與二次靶A(4)圍成三角形結(jié)構(gòu)、且使得X射線(2)透過二次靶A(4)照射到二次靶B(5)上并可以反射到樣品托(6)上。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的二次靶結(jié)構(gòu)的投射式X光管熒光儀,其特征在于:所述一次靶(3)和二次靶的靶厚均≤50μm、至鈹窗距離均≤5mm。

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