本發(fā)明專利屬于半導(dǎo)體元件測試領(lǐng)域，特別涉及可提供統(tǒng)一測試環(huán)境的批量測試基座的機械結(jié)構(gòu)。

背景技術(shù)：

隨著微電子制造水平的發(fā)展，LED 成為近些年來用途極為廣泛的光源產(chǎn)品，其應(yīng)用范圍不斷擴大。照明、顯示、醫(yī)療等領(lǐng)域都對 LED 在各種環(huán)境條件下的表現(xiàn)提出了嚴(yán)格的要求。

靜電損傷是影響光電子器件穩(wěn)定性的主要原因之一，對 LED 來說也不例外。目前， TLP 測試方法已成為電路設(shè)計工程師研究靜電放電（ESD）保護(hù)電路的特性，進(jìn)行 ESD 設(shè)計的重要依據(jù)。TLP 測試先從小電壓脈沖開始，隨后連續(xù)增加直到獲得足夠的數(shù)據(jù)點，作出完整的 I ／ V 曲線。通常測試脈沖的幅度會增大到使 DUT 徹底損傷，從而獲得其精確的允許最大脈沖電流。當(dāng)測試脈沖的幅度足夠高時，DUT 內(nèi)將產(chǎn)生足夠高的溫度使 DUT 內(nèi)某些結(jié)構(gòu)熔融，使器件特性發(fā)生永久的變化，DUT 徹底損傷，損傷發(fā)生的同時經(jīng)常伴隨著被測兩腳之間的漏電流突然增加。

TLP 測試還可獲得漏電流曲線，漏電流可以說明器件存在的一些潛在失效機理。如果沒有漏電流曲線，就不能從 I ／ V 曲線上看出器件內(nèi)部的一些變化。特別是存在多個失效位置的時候，就可以幫助判定失效開始的位置，也就是最薄弱點。因此，漏電流的測試對 DUT 的失效判定就顯得意義重大。

LED 的抗靜電能力與它在光照條件下的電學(xué)表現(xiàn)不無關(guān)系。而以反向 5v 偏壓，漏電流 10uA 的標(biāo)準(zhǔn)而言，光照條件的影響，可能成為評判標(biāo)準(zhǔn)的巨大挑戰(zhàn)。通過不同 LED 分別做光源和被測目標(biāo)的實驗，發(fā)現(xiàn)每個型號 LED 主波長前后一定范圍內(nèi)，光生電流的響應(yīng)都很大。也就是說，光照對漏電流的影響并不僅取決于光波長是否小于目標(biāo) LED 波長，而波長的匹配對光生電流影響更大。但總的來說，當(dāng)光源光波長大于目標(biāo) LED 波長后，光生電流基本表現(xiàn)為統(tǒng)一的下降趨勢。這確是由于禁帶寬度大于光源光子能量。

當(dāng)光源峰值波長高于目標(biāo) LED 峰值波長時，對漏電流影響會減小，但仍比暗室條件下大。這是因為其能量低于目標(biāo) LED 禁帶寬度，無法將價帶電子激發(fā)至導(dǎo)帶，但是仍能使雜質(zhì)受到激發(fā)，產(chǎn)生電子空穴對。

為確保各測試單位測量結(jié)果的統(tǒng)一性，避免光照引起的漏電流干擾讀數(shù)，影響標(biāo)準(zhǔn)的制定，報告提出了一種可提供統(tǒng)一測試環(huán)境的 LED 批量抗靜電測試基座。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本發(fā)明提出了一種可提供統(tǒng)一測試環(huán)境的批量抗靜電測試基座。通過利用它，可控制測試人員在批量樣品靜電測試中引入環(huán)境因素?？捎行У毓潭?LED 樣品，保持測試的統(tǒng)一性。

該方法在恒溫條件下，將待測元件通過基座接入靜電測試系統(tǒng)。適用于人體模型，機械模型，TLP 模型等各種靜電檢測終端。

采取了對 LED 封裝進(jìn)行的固定方式，避免測試過程中對器件電系統(tǒng)的過多接觸。

針對 LED 設(shè)計的具有遮光和散熱結(jié)構(gòu)可排除測試過程中環(huán)境的光，熱等因素。

本發(fā)明實施例提供的傳輸線脈沖測試系統(tǒng)，TLP 測試系統(tǒng)是利用一段短脈沖波測試內(nèi)置靜電放電保護(hù)集成電路的 I-V 特性的工具。它的基本原理是通過射頻雙纜傳輸線充放電過程，產(chǎn)生瞬時的矩形波脈沖用以模擬人體模式的靜電放電現(xiàn)象沖擊 ESD 保護(hù)電路，從而評價保護(hù)電路所能承受的抗 ESD 能力。

附圖說明

圖1 結(jié)構(gòu)1，遮光罩；結(jié)構(gòu)2，帶金屬絲散熱網(wǎng)的LED 樣品凹槽固定裝置；結(jié)構(gòu)3，外接靜電測試；

圖 2 系統(tǒng)連接方式。

具體實施方式

用結(jié)構(gòu) 2 中含導(dǎo)熱金屬散熱網(wǎng)的凹槽固定待測樣品；將固定好樣品的結(jié)構(gòu) 2 滑軌裝入結(jié)構(gòu) 1 對應(yīng)位置；將組合好的結(jié)構(gòu) 2 和 1 裝置在 3 上；將靜電測試系統(tǒng)輸出端連至 3 上的端口 1，2 ；控制結(jié)構(gòu) 2 前進(jìn)，確保樣品引腳與結(jié)構(gòu) 3 的內(nèi)部端口接觸良好；開始測試；測完此器件后，控制結(jié)構(gòu) 2 前進(jìn)，至下一樣品引腳接觸到結(jié)構(gòu) 3 上的端口測試時，將整個裝置置于環(huán)境中。對于待測 LED，首先選擇紅光 LED 作為光源對其進(jìn)行照射，利用 TLP 測量它的漏電流大小。然后，依次換成黃光、綠光、藍(lán)光和白光 LED 光源，測量 LED 待測件的漏電流大小。

顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對本發(fā)明進(jìn)行各種改動和變型而不脫離本發(fā)明的精神和范圍。這樣，倘若本發(fā)明的這些修改和變型屬于本發(fā)明權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本發(fā)明也意圖包含這些改動和變型在內(nèi)。