技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種超級結(jié)溝槽底部定點分析方法，包括：在樣品需要分析位置制作定點標記；在樣品側(cè)面研磨樣品，直至側(cè)面研磨部位剩余樣品距離所述定點標記達到第一預(yù)設(shè)距離；以第一預(yù)設(shè)角度傾斜地正面研磨樣品，直至研磨部位剩余樣品寬度達到第一預(yù)設(shè)研磨寬度；使用聚焦離子束對樣品表面距離溝槽底部小于第二預(yù)設(shè)距離的標記位置進行表面定點分析。本發(fā)明能對超級結(jié)溝槽底部失效點實現(xiàn)準確定位。

技術(shù)研發(fā)人員：芮志賢;吳長亮
受保護的技術(shù)使用者：上海華虹宏力半導(dǎo)體制造有限公司
文檔號碼：201610929218
技術(shù)研發(fā)日：2016.10.31
技術(shù)公布日：2017.01.25