技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種掃描電子顯微鏡原位檢測裝置及掃描電子顯微鏡系統(tǒng)，包括：底座；Y軸移動(dòng)平臺(tái)，Y軸移動(dòng)平臺(tái)設(shè)置在底座上；X軸移動(dòng)平臺(tái)，X軸移動(dòng)平臺(tái)設(shè)置在Y軸移動(dòng)平臺(tái)上，并在Y軸移動(dòng)平臺(tái)上移動(dòng)；樣品放置區(qū)，樣品放置區(qū)設(shè)置在X?軸移動(dòng)平臺(tái)的頂端；Z軸移動(dòng)平臺(tái)，Z軸移動(dòng)平臺(tái)設(shè)置在底座上，并相對于底座作上升或下降運(yùn)動(dòng)；懸臂，懸臂設(shè)置在Z軸移動(dòng)平臺(tái)的頂端的近樣品放置區(qū)端；X軸移動(dòng)平臺(tái)、Y軸移動(dòng)平臺(tái)及Z軸移動(dòng)平臺(tái)中均設(shè)置有壓電素子控制部件；壓電素子控制部件中包括伸長量與電場強(qiáng)度平方成正比的壓電陶瓷。本發(fā)明實(shí)現(xiàn)了對材料的由納米尺度到厘米尺度的動(dòng)態(tài)原位觀測，又可以同時(shí)對其物理性能進(jìn)行測試。

技術(shù)研發(fā)人員：鄧飛
受保護(hù)的技術(shù)使用者：深圳烯灣科技有限公司
文檔號(hào)碼：201610985643
技術(shù)研發(fā)日：2016.11.09
技術(shù)公布日：2017.02.22