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一種研究膜?基體復(fù)合結(jié)構(gòu)力學(xué)性質(zhì)的方法及系統(tǒng)與流程

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技術(shù)特征:

1.一種研究膜-基體復(fù)合結(jié)構(gòu)力學(xué)性質(zhì)的方法,其特征在于,包括以下步驟:

陽(yáng)極化處理,在基材表面原位、實(shí)時(shí)生長(zhǎng)氧化膜;

壓痕處理,中止極化并對(duì)所述氧化膜進(jìn)行壓痕處理;

其中,所述陽(yáng)極化處理步驟和所述壓痕處理步驟交替進(jìn)行N次,N≥2,測(cè)試不同厚度比條件下的膜-基體復(fù)合結(jié)構(gòu)的力學(xué)參數(shù)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種研究膜-基體復(fù)合結(jié)構(gòu)力學(xué)性質(zhì)的方法,其特征在于,第一次所述陽(yáng)極化處理步驟前,還包括對(duì)基材鍍膜面進(jìn)行表面預(yù)處理的步驟;所述預(yù)處理步驟包括清洗和/或拋光。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種研究膜-基體復(fù)合結(jié)構(gòu)力學(xué)性質(zhì)的方法,其特征在于,不同次所述壓痕處理步驟中,壓痕位置不同、壓痕深度相同。

4.根據(jù)權(quán)利要求1-3任一項(xiàng)所述的一種研究膜-基體復(fù)合結(jié)構(gòu)力學(xué)性質(zhì)的方法,其特征在于,每個(gè)所述壓痕位置間距為10μm~100μm。

5.一種測(cè)試膜-基體復(fù)合結(jié)構(gòu)力學(xué)性質(zhì)的系統(tǒng),其特征在于,包括電化學(xué)組件,以及設(shè)置在所述電化學(xué)組件垂直上方的納米壓痕組件;所述納米壓痕組件用于對(duì)所述電化學(xué)組件中實(shí)時(shí)生長(zhǎng)的薄膜進(jìn)行壓痕測(cè)試。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的測(cè)試膜-基體復(fù)合結(jié)構(gòu)力學(xué)性質(zhì)的系統(tǒng),其特征在于,所述電化學(xué)組件包括電解液槽、設(shè)置在槽體底部的負(fù)電極、以及設(shè)置在槽體中的正電極,所述負(fù)電極連接至電源的負(fù)極、所述正電極連接至所述電源的正極。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的測(cè)試膜-基體復(fù)合結(jié)構(gòu)力學(xué)性質(zhì)的系統(tǒng),其特征在于,待鍍膜基材直接疊置在所述正電極上,且待鍍膜表面靠近所述槽體開口表面,并與之平行;所述待鍍膜表面在電解液中的深度為3mm~8mm。

8.根據(jù)權(quán)利要求5-7任一項(xiàng)所述的測(cè)試膜-基體復(fù)合結(jié)構(gòu)力學(xué)性質(zhì)的系統(tǒng),其特征在于,所述納米壓痕組件包括壓頭以及與之連接的壓頭傳感器。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的測(cè)試膜-基體復(fù)合結(jié)構(gòu)力學(xué)性質(zhì)的系統(tǒng),其特征在于,所述納米壓痕組件還包括用于控制壓痕深度的壓頭位移控制模塊。

10.根據(jù)權(quán)利要求8或9所述的測(cè)試膜-基體復(fù)合結(jié)構(gòu)力學(xué)性質(zhì)的系統(tǒng),其特征在于,所述壓頭為Berkvich壓頭。

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