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一種共光路干涉相位顯微一次成像系統(tǒng)及方法與流程

文檔序號(hào):12451505閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種共光路干涉相位顯微一次成像系統(tǒng),其特征在于,包括激光器(1)、中性可調(diào)衰減器(2)、擴(kuò)束準(zhǔn)直器(3)、半透半反鏡(4)、視場(chǎng)光闌(5)、非偏振分光棱鏡(6)、反射載物臺(tái)(7)、樣品(8)、顯微物鏡(9)、第三透鏡(10)、CCD(11)和計(jì)算機(jī)(12);

所述激光器(1)、中性可調(diào)衰減器(2)、擴(kuò)束準(zhǔn)直器(3)、半透半反鏡(4)依次放置在同一光路上;所述視場(chǎng)光闌(5)非偏振分光棱鏡(6)、反射載物臺(tái)(7)依次放置在半透半反鏡(4)的垂直下方,所述樣品(8)放置在反射載物臺(tái)(7)上的一側(cè);所述半透半反鏡(4)的鏡面與水平方向成45°;用于分光的非偏振分光棱鏡(6)的分光層與水平方向垂直;可調(diào)反射載物臺(tái)(7)的平面與水平面平行;所述顯微物鏡(9)、第三透鏡(10)和CCD(11)依次放置在半透半反鏡(4)的垂直上方,計(jì)算機(jī)(12)與CCD(11)電連接;

所述激光器(1)發(fā)出的水平方向的光束,向前傳輸經(jīng)過(guò)中性可調(diào)衰減器(2)調(diào)節(jié)到合適的光強(qiáng),再經(jīng)過(guò)擴(kuò)束準(zhǔn)直器(3)擴(kuò)束準(zhǔn)直后,向半透半反鏡(4)傳輸,激光經(jīng)過(guò)半透半反鏡(4)的反射面改向?yàn)樨Q直向下的光束,激光通過(guò)視場(chǎng)光闌(5)把激光束調(diào)節(jié)到合適的大小后傳輸向非偏振分光棱鏡(6),非偏振分光棱鏡(6)把激光束平均分為兩束豎直向下的平行光,這兩束光照射向反射載物臺(tái)(7)和載物臺(tái)上的樣品(8);樣品光與參考光通過(guò)反射載物臺(tái)(7)全反射向非偏振分光棱鏡(6),又經(jīng)過(guò)非偏振分光棱鏡(6)的合束并產(chǎn)生干涉,通過(guò)半透半反鏡(4),由其后的的顯微物鏡(9)放大,再由第三透鏡(10)準(zhǔn)直為平行光,最終在CCD(11)上形成相移干涉圖,并傳輸、顯示在計(jì)算機(jī)(12)上。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的共光路干涉相位顯微一次成像系統(tǒng),其特征在于,所述半透半反鏡(4)用石英玻璃制成,分光面為鍍膜半反射、半透射的迎光束面,各為入射光強(qiáng)度的50%。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的共光路干涉相位顯微一次成像系統(tǒng),其特征在于,所述載物臺(tái)(7)為一個(gè)角度可調(diào)的全反鏡,光軸與非偏振分光棱鏡(6)的分光層之間的夾角可通過(guò)載物臺(tái)(7)調(diào)節(jié)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的共光路干涉相位顯微一次成像系統(tǒng),其特征在于,所述視場(chǎng)光闌(5)可調(diào)節(jié)光束的大小,使干涉圖像的大小不超過(guò)CCD(11)的記錄靶面。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的共光路干涉相位顯微一次成像系統(tǒng),其特征在于,所述擴(kuò)束準(zhǔn)直器(3)包括第一透鏡和第二透鏡。

6.一種利用權(quán)利要求1所述的共光路干涉相位顯微一次成像系統(tǒng)進(jìn)行成像的方法,其特征在于,包括以下步驟:

步驟S1、所述激光束(1)發(fā)出的水平方向的光束,向前傳輸經(jīng)過(guò)中性可調(diào)衰減器(2)調(diào)節(jié)至合適光強(qiáng)后,利用擴(kuò)束準(zhǔn)直器(3)將照明光束擴(kuò)束準(zhǔn)直為大小合適的平行光;

步驟S2、光束經(jīng)半透半反鏡(4)反射為豎直向下并向非偏振分光棱鏡(6)傳輸,在這兩個(gè)裝置中間放置一個(gè)大小合適的視場(chǎng)光闌(5)使得成像區(qū)域的大小不超過(guò)CCD記錄靶面的面積,又經(jīng)非偏振分光棱鏡(6)分光為物光和參考光兩束豎直向下的光束,照射到反射載物臺(tái)(7)上;前面所述的物光照射到樣品(8)上作為樣品光,而參考光則被反射載物臺(tái)(7)全反射后直接原路返回;

步驟S3、物參反射光束經(jīng)過(guò)非偏振分光棱鏡(6)合束后,物光和參考光之間發(fā)生干涉,并原路返回經(jīng)過(guò)視場(chǎng)光闌(5)和半透半反鏡(4),再經(jīng)過(guò)顯微物鏡(9)放大后,由第三透鏡(10)準(zhǔn)直為平行光,最終在CCD(11)上形成相移干涉圖,并傳輸?shù)接?jì)算機(jī)(12)里,經(jīng)計(jì)算機(jī)(12)處理后顯示。

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