技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種基于腔衰蕩光譜技術(shù)的雙組分痕量氣體濃度測量裝置，包括第一可調(diào)諧連續(xù)激光器、第二可調(diào)諧連續(xù)激光器、第一模式匹配系統(tǒng)、第二模式匹配系統(tǒng)、諧振腔、第一聚焦透鏡、第二聚焦透鏡、第一窄帶濾光片、第二窄帶濾光片、第一光電探測器、第二光電探測器、激光器控制器和信號采集分析控制系統(tǒng)；通過使用高精細度四鏡環(huán)形穩(wěn)定腔，在實現(xiàn)雙組分痕量氣體濃度同步在線測量的同時，節(jié)省了光隔離器、激光合束器、分光器等元器件，結(jié)構(gòu)緊湊，且成本較低。

技術(shù)研發(fā)人員：余錦;王金舵;貊澤強;何建國
受保護的技術(shù)使用者：中國科學(xué)院光電研究院
文檔號碼：201611140479
技術(shù)研發(fā)日：2016.12.12
技術(shù)公布日：2017.06.13