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微納定位系統(tǒng)及其對(duì)柔順機(jī)構(gòu)平臺(tái)的全閉環(huán)在線控制方法與流程

文檔序號(hào):12443377閱讀:來(lái)源:國(guó)知局
技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開(kāi)了一種微納定位系統(tǒng)及其對(duì)柔順機(jī)構(gòu)平臺(tái)的全閉環(huán)在線控制方法,該系統(tǒng)由精密定位系統(tǒng)和計(jì)算機(jī)微視覺(jué)系統(tǒng)兩部分組成,精密定位系統(tǒng)由按順序依次相接的第一計(jì)算機(jī)、dSPACE控制器板、壓電陶瓷控制器、壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器組成,所述計(jì)算機(jī)微視覺(jué)系統(tǒng)由變焦顯微系統(tǒng)、CCD相機(jī)、第二計(jì)算機(jī)、精密定位載物臺(tái)、運(yùn)動(dòng)控制卡組成,其中所述計(jì)算機(jī)微視覺(jué)系統(tǒng)的第二計(jì)算機(jī)是通過(guò)RS232串口與dSPACE控制器板相連接,所述壓電陶瓷控制器是通過(guò)數(shù)字模擬轉(zhuǎn)換器DAC接口和模擬數(shù)字轉(zhuǎn)換器ADC接口與dSPACE控制器板相連接,所述壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器用于連接驅(qū)動(dòng)柔順機(jī)構(gòu)平臺(tái)。本發(fā)明的結(jié)構(gòu)緊湊、抗干擾能力強(qiáng)、具有高分辨率,能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)多自由度柔順機(jī)構(gòu)平臺(tái)全閉環(huán)實(shí)時(shí)在線控制。

技術(shù)研發(fā)人員:張憲民;甘金強(qiáng);李海;吳衡
受保護(hù)的技術(shù)使用者:華南理工大學(xué)
文檔號(hào)碼:201611186605
技術(shù)研發(fā)日:2016.12.20
技術(shù)公布日:2017.05.31

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