技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開(kāi)了一種高性能射頻遙控自動(dòng)化測(cè)試系統(tǒng)及其方法，該系統(tǒng)包括測(cè)試機(jī)、測(cè)試模組、探針卡和探針臺(tái)；測(cè)試機(jī)的數(shù)字通道及電源和測(cè)試模組均連接在探針卡上，探針卡可與待測(cè)晶圓連接，且其與待測(cè)晶圓連接后，測(cè)試機(jī)、測(cè)試模組和待測(cè)晶圓三者電氣連接；測(cè)試機(jī)與探針臺(tái)通訊連接，并可將測(cè)試結(jié)果發(fā)送給探針臺(tái)，并在該探針臺(tái)上生成測(cè)試MAP圖。本發(fā)明測(cè)試機(jī)加測(cè)試模組相結(jié)合的方式可以有效利用測(cè)試機(jī)本身具有的穩(wěn)定通訊和高精度的模擬量測(cè)量，利用測(cè)試模組設(shè)置測(cè)試模式的簡(jiǎn)潔性，簡(jiǎn)化測(cè)試程序，實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)測(cè)試的高效性和穩(wěn)定性。

技術(shù)研發(fā)人員：李英才
受保護(hù)的技術(shù)使用者：深圳市華宇半導(dǎo)體有限公司
文檔號(hào)碼：201611234301
技術(shù)研發(fā)日：2016.12.28
技術(shù)公布日：2017.03.22