技術(shù)總結(jié)
本實(shí)用新型專利提供一種用于藍(lán)寶石晶片檢測(cè)樣品卡盤的支撐裝置，在平臺(tái)的下方，安裝兩個(gè)卡盤支撐裝置，卡盤支撐裝置有兩個(gè)帶有中心孔的槽孔，支撐桿穿過(guò)槽孔，可以在槽孔內(nèi)水平移動(dòng)，用于調(diào)節(jié)水平位置，同時(shí)槽孔內(nèi)有固定螺釘，可以將支撐桿固定。在支撐桿的端部，帶有一個(gè)可以上下調(diào)節(jié)高度的螺栓，頭部帶有一個(gè)頂部半球形的聚胺脂螺帽。在使用中，首先調(diào)節(jié)支撐桿長(zhǎng)度，使螺帽位于卡盤陶瓷吸盤的外側(cè)，再調(diào)節(jié)螺栓，使聚胺脂螺帽對(duì)處于水平位置的卡盤進(jìn)行支撐，減輕樣品卡盤底部滑槽和螺絲的受力。

技術(shù)研發(fā)人員：李洪亮;張俊寶;劉浦鋒;宋洪偉;陳猛
受保護(hù)的技術(shù)使用者：上海超硅半導(dǎo)體有限公司
文檔號(hào)碼：201620364523
技術(shù)研發(fā)日：2016.04.27
技術(shù)公布日：2017.09.08