1.一種非接觸式高精密晶片面型測(cè)量?jī)x器，其特征在于，包括工作臺(tái)底板和激光測(cè)距感測(cè)器，所述工作臺(tái)底板呈方形，并水平設(shè)置，其所呈的方形的兩端設(shè)有2個(gè)支撐座臺(tái)，所述支撐座臺(tái)呈長(zhǎng)方體，其所呈的長(zhǎng)方體的上端面水平，且2個(gè)支撐座臺(tái)上端面同水平高度，2個(gè)支撐座臺(tái)上分別設(shè)有2個(gè)第一導(dǎo)軌，所述2個(gè)第一導(dǎo)軌平行設(shè)置；
所述2個(gè)支撐座臺(tái)上設(shè)有移動(dòng)載臺(tái)，所述移動(dòng)載臺(tái)包括上移動(dòng)載臺(tái)和下移動(dòng)載臺(tái)，所述下移動(dòng)載臺(tái)呈長(zhǎng)方形，包括兩側(cè)的2個(gè)滑臺(tái)和鏤空臺(tái)，所述滑臺(tái)的下端設(shè)有第一滑槽，所述第一滑槽與第一導(dǎo)軌對(duì)應(yīng)配合，實(shí)現(xiàn)下移動(dòng)載臺(tái)在支撐座臺(tái)上的水平前后滑動(dòng)，所述鏤空臺(tái)位于2個(gè)滑臺(tái)之間，滑臺(tái)和鏤空臺(tái)為一體式結(jié)構(gòu)，鏤空臺(tái)的中部開有垂直的通孔；
所述下移動(dòng)載臺(tái)的上端面上設(shè)有第二導(dǎo)軌，所述第二導(dǎo)軌與第一導(dǎo)軌垂直，所述上移動(dòng)載臺(tái)的下端面上設(shè)有第二滑槽，所述第二滑槽與第二導(dǎo)軌對(duì)應(yīng)配合，實(shí)現(xiàn)上移動(dòng)載臺(tái)在下移動(dòng)載臺(tái)上的水平左右滑動(dòng)，上移動(dòng)載臺(tái)的中部設(shè)有測(cè)量盤，其左側(cè)設(shè)有分度撥盤，所述測(cè)量盤呈圓形，其下端固定設(shè)有呈圓形的齒條，其中部開有測(cè)量孔，所述測(cè)量孔呈圓形，其所呈的圓形的周邊設(shè)有3個(gè)晶片支撐腳，所述3個(gè)晶片支撐腳呈三角設(shè)置，位于測(cè)量孔內(nèi)，所述測(cè)量盤以上移動(dòng)載臺(tái)的中心為軸心自由轉(zhuǎn)動(dòng)，其下端的齒條通過(guò)鏈條與分度撥盤相連，分度撥盤轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)測(cè)量盤轉(zhuǎn)動(dòng)；
所述2個(gè)支撐座臺(tái)的后側(cè)設(shè)有橫跨2個(gè)支撐座臺(tái)的橫梁，所述橫梁上第三導(dǎo)軌，所述第三導(dǎo)軌豎直設(shè)置，其上設(shè)有橫桿，所述橫桿水平設(shè)置，并與第三導(dǎo)軌垂直，其后端設(shè)有第三滑槽，所述第三滑槽與第三導(dǎo)軌對(duì)應(yīng)配合，實(shí)現(xiàn)橫桿在第三導(dǎo)軌上的豎直上下滑動(dòng)；
所述激光測(cè)距感測(cè)器包括上激光測(cè)距感測(cè)器和下激光測(cè)距感測(cè)器，所述上激光測(cè)距感測(cè)器固定設(shè)置于橫桿的前端，上激光測(cè)距感測(cè)器內(nèi)設(shè)有上測(cè)距感測(cè)器和激光發(fā)射器，上測(cè)距感測(cè)器和激光發(fā)射器的感應(yīng)和發(fā)射方向豎直朝下，所述下激光測(cè)距感測(cè)器固定設(shè)置于工作臺(tái)底板上，位于2個(gè)支撐座臺(tái)之間，下激光測(cè)距感測(cè)器內(nèi)設(shè)有下測(cè)距感測(cè)器和激光接收器，下測(cè)距感測(cè)器和激光接收器的感應(yīng)和接收方向豎直朝位下。
2.如權(quán)利要求1所述的一種非接觸式高精密晶片面型測(cè)量?jī)x器，其特征在于，所述3個(gè)晶片支撐腳處于同一水平面內(nèi)，且3個(gè)晶片支撐腳所構(gòu)成的支撐面與水平面平行。
3.如權(quán)利要求1所述的一種非接觸式高精密晶片面型測(cè)量?jī)x器，其特征在于，所述上激光測(cè)距感測(cè)器和下激光測(cè)距感測(cè)器相對(duì)設(shè)置。