本實(shí)用新型涉及自動(dòng)化檢測(cè)技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種穩(wěn)定型晶元片檢測(cè)頭組件。

背景技術(shù)：

晶元(Wafer)，是生產(chǎn)集成電路所用的載體，多指單晶硅圓片，也叫晶元芯片。普通硅砂拉制提煉，經(jīng)過(guò)溶解、提純、蒸餾一系列措施制成單晶硅棒，單晶硅棒經(jīng)過(guò)拋光、切片之后，就成為了晶元片。一個(gè)圓盤狀的晶元片上分布有很多一格格的晶元，晶元呈陣列排布，晶元在封裝制造成芯片之前需要對(duì)其性能進(jìn)行檢測(cè)，由于一個(gè)晶元片上存在成百上千個(gè)晶元，人工通過(guò)探針對(duì)每個(gè)晶元進(jìn)行檢測(cè)，工作量非常大，而且容易漏檢。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型為了解決現(xiàn)有技術(shù)中晶元片檢測(cè)效率低的問(wèn)題，提供了一種能適用于自動(dòng)檢測(cè)設(shè)備，極大提高晶元片檢測(cè)效率的穩(wěn)定型晶元片檢測(cè)頭組件。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用如下技術(shù)方案：

一種穩(wěn)定型晶元片檢測(cè)頭組件，包括探針座，所述的探針座由陶瓷制成，所述探針座的上端中心設(shè)有凹腔，所述凹腔底部設(shè)有若干探針定位通孔，所述探針定位通孔內(nèi)設(shè)有探針，所述探針的下端伸出探針座底面，所述凹腔的底面設(shè)有與探針一一對(duì)應(yīng)連接的導(dǎo)電片，所述的導(dǎo)電片與凹腔底面之間螺栓連接，每個(gè)導(dǎo)電片上均設(shè)有導(dǎo)電柱，所述凹腔的內(nèi)壁上設(shè)有環(huán)形階梯面，所述的環(huán)形階梯面上設(shè)有線路板，所述的線路板與導(dǎo)電柱之間電連接，所述探針座的外壁上設(shè)有若干環(huán)形散熱槽，所述凹腔的開口端設(shè)有端蓋，所述端蓋的上側(cè)面中心設(shè)有連接柱；所述探針座的底面中心設(shè)有限位柱。

連接柱與自動(dòng)檢測(cè)設(shè)備上的升降機(jī)構(gòu)連接，晶元片安裝在滑動(dòng)支架上，探針座向下移動(dòng)一次，所有的探針與晶元片表面的晶元彈性接觸、檢測(cè)，然后探針座上移，滑動(dòng)支架帶動(dòng)晶元片移動(dòng)一段距離，探針座下降檢測(cè)，依次循環(huán)，將晶元片上的所有晶元都檢測(cè)一次，檢測(cè)后直接從自動(dòng)化檢測(cè)設(shè)備上讀取檢測(cè)結(jié)果，極大的提高了晶元片的檢測(cè)效率；線路板、探針上端電連接都被封裝在凹腔內(nèi)，防水、防塵性能好，探針座由陶瓷制成，自身絕緣性能好，探針損壞后更換新的探針后可重復(fù)使用，同時(shí)陶瓷導(dǎo)熱性能良好，配合環(huán)形散熱槽，確保線路板良好的散熱；限位柱能限定探針的形變量，能保持探針與晶元的接觸壓力一直，同時(shí)對(duì)探針起到保護(hù)作用，防止探針形變量過(guò)大而損壞。

作為優(yōu)選，所述限位柱與探針座之間螺紋連接，所述限位柱的外側(cè)套設(shè)有調(diào)節(jié)套，所述的限位柱為螺柱，所述調(diào)節(jié)套與限位柱之間螺紋連接，所述調(diào)節(jié)套的側(cè)面設(shè)有限位螺栓，所述調(diào)節(jié)套的下端設(shè)有緩沖墊片。調(diào)節(jié)套在限位柱上轉(zhuǎn)動(dòng)，從而可以調(diào)節(jié)限位高度，能適用于不同探針的限位，通用性強(qiáng)。

作為優(yōu)選，所述的端蓋上設(shè)有引線孔，線路板上的數(shù)據(jù)線穿過(guò)引線孔，數(shù)據(jù)線的外端設(shè)有數(shù)據(jù)插頭，所述的引線孔內(nèi)設(shè)有防水套。線路板上的數(shù)據(jù)線從引線孔處伸出，數(shù)據(jù)接頭與自動(dòng)化設(shè)備上的接口直接連接，實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)傳遞；防水套對(duì)引線孔密封，起到防水作用，防止外界的水汽進(jìn)入凹腔內(nèi)導(dǎo)致探針短路。

作為優(yōu)選，所述端蓋的下側(cè)面邊緣與線路板邊緣處設(shè)有密封圈，所述端蓋的圓周面上設(shè)有環(huán)形限位槽，所述環(huán)形限位槽的截面呈三角形，所述探針座的外側(cè)與環(huán)形限位槽的對(duì)應(yīng)處設(shè)有鎖止螺栓。密封圈起到密封作用，防止外界水分進(jìn)入凹腔內(nèi)造成短路；端蓋卡入凹槽開口端后，鎖止螺栓擰入環(huán)形限位槽內(nèi)，由于環(huán)形限位槽截面為三角形，因此鎖止螺栓的端面壓在斜面上，從而使得端蓋壓緊密封圈。

作為優(yōu)選，所述的探針與探針定位通孔的內(nèi)壁之間設(shè)有防水膠。為了便于探針的安裝，探針與探針定位通孔之間間隙配合，這樣就會(huì)導(dǎo)致探針晃動(dòng)，防水膠一方面對(duì)探針完全定位，防止探針晃動(dòng)，另一方面起到防水作用，防止外界水汽從探針與探針定位通孔之間的間隙內(nèi)進(jìn)入凹腔。

因此，本實(shí)用新型與自動(dòng)檢測(cè)設(shè)備連接使用，極大提高晶元片的檢測(cè)效率；同時(shí)自身密封性能好，防水防塵性能好，使用壽命長(zhǎng)；能限定探針的形變量，確保探針與晶元的接觸壓力一直，提高探針使用壽命。

附圖說(shuō)明

圖1為本實(shí)用新型的一種結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2為圖1的剖視圖。

圖3為圖2中A處局部放大示意圖。

圖中：探針座1、凹腔2、探針定位通孔3、探針4、導(dǎo)電片5、防水膠6、導(dǎo)電柱7、環(huán)形階梯面8、線路板9、端蓋10、密封圈11、連接柱12、引線孔13、數(shù)據(jù)線14、數(shù)據(jù)插頭15、防水套16、環(huán)形限位槽17、鎖止螺栓18、限位柱19、調(diào)節(jié)套20、限位螺栓21、緩沖墊片22、環(huán)形散熱槽100。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步描述：

如圖1和圖2所示的一種穩(wěn)定型晶元片檢測(cè)頭組件，包括探針座1，探針座由陶瓷制成，探針座1的上端中心設(shè)有凹腔2，凹腔底部設(shè)有若干探針定位通孔3，探針定位通孔內(nèi)設(shè)有探針4，本實(shí)施例中的探針有16根，呈4X4的矩陣分布，探針的下端伸出探針座底面，探針的檢測(cè)端面為球面，所有探針的檢測(cè)端面共面；凹腔的底面設(shè)有與探針一一對(duì)應(yīng)連接的導(dǎo)電片5，探針與導(dǎo)電片之間焊接連接，導(dǎo)電片與凹腔底面之間螺栓連接，每個(gè)導(dǎo)電片上均設(shè)有導(dǎo)電柱7，探針與探針定位通孔的內(nèi)壁之間設(shè)有防水膠6，凹腔的內(nèi)壁上設(shè)有環(huán)形階梯面8，環(huán)形階梯面上設(shè)有線路板9，線路板與導(dǎo)電柱之間電連接，探針座1的外壁上設(shè)有若干環(huán)形散熱槽100，凹腔的開口端設(shè)有端蓋10，端蓋的下側(cè)面邊緣與線路板邊緣處設(shè)有密封圈11，端蓋的上側(cè)面中心設(shè)有連接柱12；端蓋上設(shè)有引線孔13，線路板上的數(shù)據(jù)線14穿過(guò)引線孔，數(shù)據(jù)線的外端設(shè)有數(shù)據(jù)插頭15，引線孔內(nèi)設(shè)有防水套16；如圖3所示，端蓋的圓周面上設(shè)有環(huán)形限位槽17，環(huán)形限位槽的截面呈三角形，探針座的外側(cè)與環(huán)形限位槽的對(duì)應(yīng)處設(shè)有鎖止螺栓18，鎖止螺栓擰緊時(shí)，端蓋壓緊密封圈；探針座的底面中心設(shè)有限位柱19，限位柱與探針座之間螺紋連接，限位柱的外側(cè)套設(shè)有調(diào)節(jié)套20，限位柱為螺柱，調(diào)節(jié)套與限位柱之間螺紋連接，調(diào)節(jié)套的側(cè)面設(shè)有限位螺栓21，調(diào)節(jié)套的下端設(shè)有緩沖墊片22。

結(jié)合附圖，本實(shí)用新型的使用方法如下：連接柱12與自動(dòng)檢測(cè)設(shè)備上的升降機(jī)構(gòu)連接，通過(guò)調(diào)節(jié)套調(diào)節(jié)限位高度，從而限定探針的形變量，晶元片安裝在滑動(dòng)支架上，探針座向下移動(dòng)一次，所有的探針與晶元片表面的晶元彈性接觸、檢測(cè)，然后探針座上移，滑動(dòng)支架帶動(dòng)晶元片移動(dòng)一段距離，探針座下降檢測(cè)，依次循環(huán)，將晶元片上的所有晶元都檢測(cè)一次，檢測(cè)后直接從自動(dòng)化檢測(cè)設(shè)備上讀取檢測(cè)結(jié)果，極大的提高了晶元片的檢測(cè)效率；線路板、探針與導(dǎo)電片的連接都被完全封裝在凹腔內(nèi)，防水、防塵性能好；探針座由陶瓷制成，自身絕緣性能好，防止探針之間短路，同時(shí)陶瓷導(dǎo)熱性能良好，配合環(huán)形散熱槽，確保線路板良好的散熱。