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一種穩(wěn)定型晶元片檢測頭組件的制作方法

文檔序號:12768528閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種穩(wěn)定型晶元片檢測頭組件,其特征是,包括探針座,所述的探針座由陶瓷制成,所述探針座的上端中心設(shè)有凹腔,所述凹腔底部設(shè)有若干探針定位通孔,所述探針定位通孔內(nèi)設(shè)有探針,所述探針的下端伸出探針座底面,所述凹腔的底面設(shè)有與探針一一對應(yīng)連接的導(dǎo)電片,所述的導(dǎo)電片與凹腔底面之間螺栓連接,每個導(dǎo)電片上均設(shè)有導(dǎo)電柱,所述凹腔的內(nèi)壁上設(shè)有環(huán)形階梯面,所述的環(huán)形階梯面上設(shè)有線路板,所述的線路板與導(dǎo)電柱之間電連接,所述探針座的外壁上設(shè)有若干環(huán)形散熱槽,所述凹腔的開口端設(shè)有端蓋,所述端蓋的上側(cè)面中心設(shè)有連接柱;所述探針座的底面中心設(shè)有限位柱。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種穩(wěn)定型晶元片檢測頭組件,其特征是,所述限位柱與探針座之間螺紋連接,所述限位柱的外側(cè)套設(shè)有調(diào)節(jié)套,所述的限位柱為螺柱,所述調(diào)節(jié)套與限位柱之間螺紋連接,所述調(diào)節(jié)套的側(cè)面設(shè)有限位螺栓,所述調(diào)節(jié)套的下端設(shè)有緩沖墊片。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種穩(wěn)定型晶元片檢測頭組件,其特征是,所述的端蓋上設(shè)有引線孔,線路板上的數(shù)據(jù)線穿過引線孔,數(shù)據(jù)線的外端設(shè)有數(shù)據(jù)插頭,所述的引線孔內(nèi)設(shè)有防水套。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或2或3所述的一種穩(wěn)定型晶元片檢測頭組件,其特征是,所述端蓋的下側(cè)面邊緣與線路板邊緣處設(shè)有密封圈,所述端蓋的圓周面上設(shè)有環(huán)形限位槽,所述環(huán)形限位槽的截面呈三角形,所述探針座的外側(cè)與環(huán)形限位槽的對應(yīng)處設(shè)有鎖止螺栓。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種穩(wěn)定型晶元片檢測頭組件,其特征是,所述的探針與探針定位通孔的內(nèi)壁之間設(shè)有防水膠。

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