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電子式生物傳感器與微流體裝置的整合結(jié)構(gòu)的制作方法

文檔序號(hào):12194611閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種電子式生物傳感器與微流體裝置的整合結(jié)構(gòu),其特征在于,包括:

一基板,具有多個(gè)第一通孔,其中該多個(gè)第一通孔內(nèi)填充一導(dǎo)電性材料,且在該多個(gè)第一通孔的兩端分別設(shè)置有一導(dǎo)電墊,該導(dǎo)電墊與該多個(gè)第一通孔內(nèi)填充的該導(dǎo)電性材料電性相連;

一流道層,設(shè)置于該基板上方,且包含至少一流道,以供至少一流體流動(dòng),以及多個(gè)第二通孔,其中該多個(gè)第二通孔內(nèi)填充一導(dǎo)電性材料,該多個(gè)第二通孔的該導(dǎo)電性材料與該基板的該導(dǎo)電墊電性相連;

一覆蓋件,設(shè)置于該流道層上方,具有至少一第一流體入口及至少一第一流體出口,以供該至少一流體的流入及流出,其中該至少一第一流體入口及該至少一第一流體出口與該流道層的該至少一流道相連接,且具有一鏤空窗口,以暴露該至少一流體,并設(shè)置多個(gè)第三通孔,其中該多個(gè)第三通孔內(nèi)填充一導(dǎo)電性材料,該多個(gè)第三通孔的該導(dǎo)電性材料與該流道層的該多個(gè)第二通孔內(nèi)的該導(dǎo)電性材料電性相連;以及

一電子式生物傳感器,通過(guò)凸塊以覆晶方式結(jié)合設(shè)置于該覆蓋件之上,其中該電子式生物傳感器具有一生物感測(cè)層,當(dāng)該至少一流體流經(jīng)該鏤空窗口時(shí),該覆蓋件的鏤空窗口與該生物感測(cè)層接觸,該凸塊是植入于該覆蓋件的該多個(gè)第三通孔的導(dǎo)電性材料內(nèi),以達(dá)到電性相連,

其中,該至少一流體從該至少一第一流體入口流入,通過(guò)該至少一流道流經(jīng)該電子式生物傳感器的該生物感測(cè)層,以進(jìn)行感測(cè),再?gòu)脑撝辽僖坏谝涣黧w出口流出。

2.如權(quán)利要求1所述的電子式生物傳感器與微流體裝置的整合結(jié)構(gòu),其特征在于,還包含一支撐保護(hù)板,該支撐保護(hù)板設(shè)置有一鏤空窗口,以容置該電子式生物傳感器,并具有至少一第二流體入口及至少一第二流體出口,該至少一第二流體入口及至少一第二流體出口與該覆蓋件的該至少一第一流體入口及該至少一第一流體出口相對(duì)設(shè)置。

3.如權(quán)利要求1所述的電子式生物傳感器與微流體裝置的整合結(jié)構(gòu),其特征在于,還包含一支撐保護(hù)板,該支撐保護(hù)板設(shè)置有一鏤空窗口,以容置該電子式生物傳感器,其中該基板還設(shè)置有至少一第二流體入口及至少一第二流體出口,該至少一第二流體入口及至少一第二流體出口與該流道層的該至少一流道的兩端相對(duì)設(shè)置,以供該至少一流體的流入與流出。

4.如權(quán)利要求1所述的電子式生物傳感器與微流體裝置的整合結(jié)構(gòu),其特征在于,該基板還設(shè)置一由主動(dòng)及/或被動(dòng)組件組成的電路。

5.如權(quán)利要求1所述的電子式生物傳感器與微流體裝置的整合結(jié)構(gòu),其特征在于,該基板為多層基板的堆棧結(jié)構(gòu)。

6.如權(quán)利要求1所述的電子式生物傳感器與微流體裝置的整合結(jié)構(gòu),其特征在于,該流道層還包括至少一幫浦組件、至少一閥門(mén)組件、至少一混液組件或其任意組合,以進(jìn)行該至少一流體的流動(dòng)及預(yù)處理。

7.如權(quán)利要求1所述的電子式生物傳感器與微流體裝置的整合結(jié)構(gòu),其特征在于,該流道層為一多層次結(jié)構(gòu),具有復(fù)數(shù)層數(shù)。

8.如權(quán)利要求1所述的電子式生物傳感器與微流體裝置的整合結(jié)構(gòu),其特征在于,該流道層還具有一電路,該電路是與該基板上的電路電性相連,且該電路與其連接處是與該至少一流體隔絕。

9.如權(quán)利要求1所述的電子式生物傳感器與微流體裝置的整合結(jié)構(gòu),其特征在于,該流道層與該覆蓋件整合為一體或該流道層與該基板整合為一體。

10.如權(quán)利要求1所述的電子式生物傳感器與微流體裝置的整合結(jié)構(gòu),其特征在于,該覆蓋件還具有一電路,該電路是與該流道層上的電路電性相連,且該電路與其連接處是與該至少一流體隔絕。

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