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電子式生物傳感器與微流體裝置的整合結(jié)構(gòu)的制作方法

文檔序號:12194611閱讀:來源:國知局
技術(shù)總結(jié)
本實用新型提供一種電子式生物傳感器與微流體裝置的整合結(jié)構(gòu),包括:一基板,具有導(dǎo)電墊提供與外部電性相連;一流道層,設(shè)置于基板上方,包含一流道,以供一流體流動;一覆蓋件,設(shè)置于流道層上方,具有一第一流體入口及一第一流體出口,以供流體的流入及流出,第一流體入口及第一流體出口與流道層的流道相連接,且具有一鏤空窗口,以暴露流體;以及一電子式生物傳感器,以覆晶方式設(shè)置于覆蓋件之上,電子式生物傳感器具有一生物感測層,流體從第一流體入口流入,通過流道流經(jīng)電子式生物傳感器的生物感測層,以進(jìn)行感測,再從第一流體出口流出。

技術(shù)研發(fā)人員:余昭慶;鐘林達(dá);袁禧霙;廖克盤
受保護(hù)的技術(shù)使用者:光合聲科技股份有限公司;余昭慶
文檔號碼:201620908389
技術(shù)研發(fā)日:2016.08.19
技術(shù)公布日:2017.03.15

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