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一種集成式帶通濾波器和光譜儀的制作方法

文檔序號(hào):11684205閱讀:來源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種集成式帶通濾波器,其特征在于,包括一金屬層,金屬層中形成貫通的微米或納米孔陣列,通過金屬微米或納米孔的光的特征波長(zhǎng)λ近似滿足以下公式:

λ≈nD

這里,n是金屬孔中填充材料的折射系數(shù),D是金屬孔的直徑或?qū)挾取?/p>

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的濾波器,其特征在于,所述金屬孔中的填充材料為不吸收所需要選通的波長(zhǎng)的光的材料,或者所述金屬孔中不具有填充材料。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的濾波器,其特征在于,所述金屬孔為圓柱體或方柱體或橫截面為六邊形的柱體。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的濾波器,其特征在于,所述金屬孔的柱體高度大于所需要選通的波長(zhǎng)。

5.一種光譜儀,其特征在于,包括:根據(jù)權(quán)利要求1-4中任一項(xiàng)所述的集成式帶通濾波器,以及設(shè)置在所述帶通濾波器下方的光電探測(cè)器,其中,所述集成式帶通濾波器的每個(gè)金屬孔底部均設(shè)有一個(gè)探測(cè)器以將不同波長(zhǎng)的光轉(zhuǎn)換成電學(xué)信號(hào)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的光譜儀,其特征在于,將在所述集成式帶通濾波器的直徑或?qū)挾认嗤慕饘倏紫旅娣謩e設(shè)置的多個(gè)探測(cè)器替換為一個(gè)大面積光電探測(cè)器。

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