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一種集成式帶通濾波器和光譜儀的制作方法

文檔序號:11684205閱讀:來源:國知局
技術(shù)總結(jié)
本實用新型公開了一種集成式帶通濾波器和光譜儀。本實用新型的集成式帶通濾波器包括一金屬層,金屬層中形成貫通的微米或納米孔陣列,通過金屬微米或納米孔的光的特征波長λ近似滿足以下公式:λ≈nD。這里,n是金屬孔中填充材料的折射系數(shù),D是金屬孔的直徑或?qū)挾取1緦嵱眯滦偷募墒綆V波器中每個金屬孔都是一個帶通濾波器,通過改變金屬孔的大小,可以將大量選通波長不同的微型帶通濾波器,通過一次加工的辦法大規(guī)模集成在很小的芯片上。

技術(shù)研發(fā)人員:但亞平
受保護的技術(shù)使用者:揚中市恒海電子科技有限公司
文檔號碼:201621047779
技術(shù)研發(fā)日:2016.09.09
技術(shù)公布日:2017.07.21

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