本實(shí)用新型涉及壓力傳感器生產(chǎn)設(shè)備的技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種擴(kuò)散硅式壓力傳感器用微小應(yīng)力焊接結(jié)構(gòu)。

背景技術(shù)：

擴(kuò)散硅式壓力傳感器與傳感器安裝接頭的連接有膠圈密封連接和金屬焊接兩種方式，膠圈密封存在體積大，耐腐蝕性差，長(zhǎng)期應(yīng)用膠圈密封性能降低，有介質(zhì)泄露風(fēng)險(xiǎn)；相較于膠圈密封的連接方式。采用金屬焊接工藝將擴(kuò)散硅和傳感器安裝接頭焊接為一體則能有效防止介質(zhì)泄露，延長(zhǎng)壓力傳感器的使用壽命，提升壓力傳感器的可靠性。但焊接時(shí)會(huì)產(chǎn)生較高的溫度，擴(kuò)散硅傳感器內(nèi)部的填充硅油會(huì)受熱膨脹，或者使傳感器前端的彈性膜片產(chǎn)生永久性損害，改變傳感器的輸出特性，嚴(yán)重的會(huì)對(duì)傳感器造成永久性損害，導(dǎo)致產(chǎn)品的生產(chǎn)合格率大幅下降，而且焊接產(chǎn)生的應(yīng)力存留在傳感器的感壓元件上，需要通過(guò)較長(zhǎng)周期才能釋放，從而降低了傳感器的長(zhǎng)期穩(wěn)定性。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足，本實(shí)用新型的目的旨在提供一種擴(kuò)散硅式壓力傳感器用微小應(yīng)力焊接結(jié)構(gòu)，密封性能好，并且減少對(duì)壓力傳感器測(cè)量膜片的影響。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用如下技術(shù)方案：

一種擴(kuò)散硅式壓力傳感器用微小應(yīng)力焊接結(jié)構(gòu)，包括有：

擴(kuò)散硅式壓力傳感器，該擴(kuò)散硅式壓力傳感器的側(cè)邊上設(shè)置有橫向的第一內(nèi)凹槽，該擴(kuò)散硅式壓力傳感器的底端設(shè)置有傳感器膜片，該擴(kuò)散硅式壓力傳感器的頂端設(shè)置有后端殼體，該后端殼體的四周側(cè)邊形成焊接位，該擴(kuò)散硅式壓力傳感器上還設(shè)置有信號(hào)引線，該信號(hào)引線穿過(guò)后端殼體向外延伸；

傳感器安裝接頭，該傳感器安裝接頭的頂部設(shè)置有匹配于擴(kuò)散硅式壓力傳感器的第二內(nèi)凹槽，傳感器安裝接頭內(nèi)還設(shè)置有沿豎直方向延伸的通孔，該通孔連通第二內(nèi)凹槽的底端與外界，傳感器安裝接頭的底端形成連接待測(cè)結(jié)構(gòu)的接口端。

作為本實(shí)用新型的一種改進(jìn)，接口端的端面上設(shè)置有用于設(shè)置密封圈的第三內(nèi)凹槽。

本實(shí)用新型的有益效果在于：通過(guò)焊接連接擴(kuò)散硅式壓力傳感器與傳感器安裝接頭，密封性能好，能有效防止介質(zhì)泄露；擴(kuò)散硅式壓力傳感器的后端殼體側(cè)邊形成連接傳感器安裝接頭的焊接位點(diǎn)，避免在壓力傳感器的前端進(jìn)行焊接而對(duì)傳感器膜片造成永久性損害，也避免損害擴(kuò)散硅式壓力傳感器的內(nèi)部硅油部分，焊接前后壓力傳感器的變化量小于0.1％FS，焊接成品率高于99％，有效提高焊接成品率和測(cè)量精度；擴(kuò)散硅式壓力傳感器上設(shè)置有作為焊接應(yīng)力阻斷槽的第一內(nèi)凹槽，進(jìn)一步降低焊接過(guò)程產(chǎn)生的應(yīng)力對(duì)傳感器膜片造成的損害，成品的測(cè)量精度可達(dá)0.05％，長(zhǎng)期穩(wěn)定性小于0.1％FS/年，有助于延長(zhǎng)整體結(jié)構(gòu)的使用壽命；傳感器安裝接頭上的第二內(nèi)凹槽形成安裝擴(kuò)散硅式壓力傳感器的腔體，擴(kuò)散硅式壓力傳感器與傳感器安裝接頭的嵌入式連接結(jié)構(gòu)，簡(jiǎn)化了結(jié)構(gòu)，有效減小整體體積；長(zhǎng)期使用無(wú)泄漏，相較于采用壓環(huán)和密封圈進(jìn)行密封的生產(chǎn)工藝，本結(jié)構(gòu)有效避免了密封件耐壓能力小、長(zhǎng)期使用后會(huì)出現(xiàn)老化、泄漏的弊端，具有更長(zhǎng)的使用壽命和過(guò)壓能力。

附圖說(shuō)明

圖1是本實(shí)用新型一種擴(kuò)散硅式壓力傳感器用微小應(yīng)力焊接結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖。

附圖標(biāo)記：1、擴(kuò)散硅式壓力傳感；11、第一內(nèi)凹槽；2、傳感器膜片；3、后端殼體；4、信號(hào)引線；5、焊接位；6、傳感器安裝接頭；61、第二內(nèi)凹槽；62、通孔；63、接口端；64、第三內(nèi)凹槽。

具體實(shí)施方式

下面，結(jié)合附圖以及具體實(shí)施方式，對(duì)本實(shí)用新型做進(jìn)一步描述：

如圖1所示，一種擴(kuò)散硅式壓力傳感器用微小應(yīng)力焊接結(jié)構(gòu)，包括有擴(kuò)散硅式壓力傳感器1和傳感器安裝接頭6，該擴(kuò)散硅式壓力傳感器1的側(cè)邊上設(shè)置有橫向的第一內(nèi)凹槽11，該擴(kuò)散硅式壓力傳感器1的底端設(shè)置有傳感器膜片2，該擴(kuò)散硅式壓力傳感器1的頂端設(shè)置有后端殼體3，該后端殼體3的四周側(cè)邊形成焊接位5，該擴(kuò)散硅式壓力傳感器1上還設(shè)置有作為信號(hào)輸出端子的信號(hào)引線4，用于傳遞傳感器信號(hào)的信號(hào)引線4穿過(guò)后端殼體3向外延伸；該傳感器安裝接頭6的頂部設(shè)置有匹配于擴(kuò)散硅式壓力傳感器1的第二內(nèi)凹槽61，傳感器安裝接頭6內(nèi)還設(shè)置有沿豎直方向延伸的通孔62，作為引壓孔的該通孔62連通第二內(nèi)凹槽61的底端與外界，傳感器安裝接頭6的底端形成連接待測(cè)結(jié)構(gòu)的接口端63，接口端63的端面上設(shè)置有用于設(shè)置密封圈的第三內(nèi)凹槽64。

本實(shí)用新型使用時(shí)，將擴(kuò)散硅式壓力傳感器1放置到第二內(nèi)凹槽61中，以后端殼體3的四周側(cè)邊為焊接位5、經(jīng)過(guò)焊接將擴(kuò)散硅式壓力傳感器1和傳感器安裝接頭6進(jìn)行密封式連接；擴(kuò)散硅式壓力傳感器1和傳感器安裝接頭6連接形成的整體結(jié)構(gòu)經(jīng)傳感器安裝接頭6底端的接口端63連接待測(cè)結(jié)構(gòu)，接口端63經(jīng)密封圈與待測(cè)結(jié)構(gòu)進(jìn)行密封連接，防止測(cè)量時(shí)發(fā)生介質(zhì)泄露。

對(duì)本領(lǐng)域的技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，可根據(jù)以上描述的技術(shù)方案以及構(gòu)思，做出其它各種相應(yīng)的改變以及形變，而所有的這些改變以及形變都應(yīng)該屬于本實(shí)用新型權(quán)利要求的保護(hù)范圍之內(nèi)。