技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供了一種基于MEMS終端式微波功率傳感器結(jié)構(gòu)的壓力傳感器，該壓力傳感器包括感知壓力的腔體薄膜(1)和設置在腔體薄膜(1)表面的終端式微波功率傳感器(2)；其中，終端式微波功率傳感器(2)包括并聯(lián)的第一匹配電阻(2a1)、第二匹配電阻(2a2)、共面波導信號線(2b1)、第一共面波導地線(2b2)、第二共面波導地線(2b3)和熱電堆(2c)；第一共面波導地線(2b2)和第二共面波導地線(2b3)分別設置在共面波導信號線(2b1)兩側(cè)且相距一定距離。本發(fā)明可以實現(xiàn)壓力的測量。

技術(shù)研發(fā)人員：韓磊;于洋;肖申
受保護的技術(shù)使用者：東南大學
文檔號碼：201710028313
技術(shù)研發(fā)日：2017.01.12
技術(shù)公布日：2017.06.09