本發(fā)明涉及一種平面校準(zhǔn)技術(shù)，尤其涉及一種空間三點(diǎn)平面校準(zhǔn)機(jī)械手以及重置自查方法以及校準(zhǔn)方法。

背景技術(shù)：

在進(jìn)行工業(yè)產(chǎn)品加工過(guò)程中，被加工的對(duì)象工件具備一個(gè)對(duì)象平面，而對(duì)應(yīng)的加工工具需要針對(duì)該平面進(jìn)行處理時(shí)，特別是需要進(jìn)行高精度尺寸處理時(shí)，對(duì)象平面需要調(diào)整到一個(gè)及其精確的平面角度，加工工具才能夠進(jìn)行高精度處理。因此對(duì)象平面的平面度校準(zhǔn)工作是對(duì)象工件被加工工具精確處理的前提條件。如在對(duì)電子產(chǎn)品殼體進(jìn)行精確的貼標(biāo)簽工作時(shí)，首先需要對(duì)可以需要貼標(biāo)簽的平面進(jìn)行平面度校準(zhǔn)，如將該平面校準(zhǔn)到與水平面高度一致的程度?，F(xiàn)有技術(shù)中需要檢測(cè)對(duì)象平面是否已經(jīng)處于預(yù)定的精確平面內(nèi)，然后在通過(guò)另一工具進(jìn)行調(diào)整，但是檢測(cè)裝置與調(diào)整裝置工作配合度較差，這樣便造成校準(zhǔn)效率比較低。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明克服了現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種空間三點(diǎn)平面校準(zhǔn)機(jī)械手以及重置自查方法以及校準(zhǔn)方法。

為達(dá)到上述目的，本發(fā)明采用的第一種技術(shù)方案為：一種空間三點(diǎn)平面校準(zhǔn)機(jī)械手，包括：相對(duì)設(shè)置的檢測(cè)平臺(tái)和浮動(dòng)平臺(tái)，其特征在于，所述檢測(cè)平臺(tái)上垂直設(shè)有不共線的至少三根探針，所述浮動(dòng)平臺(tái)的一面朝向所述探針，所述浮動(dòng)平臺(tái)的另一面通過(guò)至少三根浮動(dòng)桿連接基座；

所述檢測(cè)平臺(tái)與所述浮動(dòng)平臺(tái)相對(duì)的兩個(gè)面相互平行，所述探針與所述浮動(dòng)桿相互平行；所述探針與所述浮動(dòng)桿一一對(duì)應(yīng)，且一一對(duì)應(yīng)的一根探針的軸線和一根浮動(dòng)桿的軸線相互重合；

每根所述探針上均設(shè)有壓力傳感器，每根所述浮動(dòng)桿上均連接驅(qū)動(dòng)器，一一對(duì)應(yīng)的探針上的壓力傳感器信號(hào)連接浮動(dòng)桿上的驅(qū)動(dòng)器。

本發(fā)明一個(gè)較佳實(shí)施例中，所述檢測(cè)平臺(tái)設(shè)置在導(dǎo)軌上，所述檢測(cè)平臺(tái)能夠沿所述導(dǎo)軌移動(dòng)的靠近或遠(yuǎn)離浮動(dòng)平臺(tái)，并保持檢測(cè)平臺(tái)始終與浮動(dòng)平臺(tái)相互平行。

本發(fā)明一個(gè)較佳實(shí)施例中，所述探針包括針筒和以及套設(shè)在所述針筒內(nèi)的針芯，所述針芯朝向所述浮動(dòng)平臺(tái)的一端伸出所述針筒。

本發(fā)明一個(gè)較佳實(shí)施例中，所述針芯另一端通過(guò)彈簧銜接壓力傳感器。

本發(fā)明一個(gè)較佳實(shí)施例中，所述針芯朝向所述浮動(dòng)平臺(tái)的一端的端部設(shè)置有緩沖墊。

本發(fā)明一個(gè)較佳實(shí)施例中，所述浮動(dòng)桿一端設(shè)置有球頭，所述球頭卡入所述浮動(dòng)平臺(tái)的球槽內(nèi)。

本發(fā)明一個(gè)較佳實(shí)施例中，所述浮動(dòng)桿為絲桿，所述絲桿套設(shè)在所述基座的螺紋孔內(nèi)，所述絲桿由所述驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)并帶動(dòng)浮動(dòng)平臺(tái)浮動(dòng)。

本發(fā)明一個(gè)較佳實(shí)施例中，驅(qū)動(dòng)器為步進(jìn)電機(jī)。

本發(fā)明采用的第二種技術(shù)方案為：一種平面校準(zhǔn)機(jī)械手進(jìn)行重置自查的方法，其特征在于，依次包括以下步驟：

(a)使所有浮動(dòng)桿均回到初始長(zhǎng)度，使檢測(cè)平臺(tái)朝向浮動(dòng)平臺(tái)移動(dòng)直到所有探針均壓持在浮動(dòng)平臺(tái)表面或安裝于浮動(dòng)平臺(tái)上的工裝表面，即立即停止移動(dòng)檢測(cè)平臺(tái)；

(b)如果所有探針對(duì)應(yīng)的壓力傳感器檢測(cè)到的壓力均相等，則無(wú)需調(diào)整浮動(dòng)桿；

如果出現(xiàn)至少兩個(gè)探針對(duì)應(yīng)的壓力傳感器檢測(cè)到的壓力不相等，則：

首先采取調(diào)整浮動(dòng)桿的方式進(jìn)行調(diào)整，如果實(shí)現(xiàn)使所有壓力傳感器檢測(cè)到的壓力相等則進(jìn)行步驟(c)，如果繼續(xù)出現(xiàn)出現(xiàn)至少兩個(gè)壓力傳感器檢測(cè)到的壓力不相等不相等，則進(jìn)一步采取調(diào)整探針伸出所述檢測(cè)平臺(tái)長(zhǎng)度的方式進(jìn)行調(diào)整，直到調(diào)整到所有壓力傳感器檢測(cè)到的壓力相等；

(c)在步驟(b)的基礎(chǔ)上，繼續(xù)移動(dòng)檢測(cè)平臺(tái)使其靠近浮動(dòng)平臺(tái)直到出現(xiàn)有其中一個(gè)探針的壓力傳感器檢測(cè)到的壓力首先超過(guò)額定壓力即立即停止移動(dòng)檢測(cè)平臺(tái)；

(d)如果所有探針對(duì)應(yīng)的壓力傳感器檢測(cè)到的壓力均相等，則無(wú)需更換探針中的彈簧；

如果出現(xiàn)至少兩個(gè)探針對(duì)應(yīng)的壓力傳感器檢測(cè)到的壓力不相等，則更換至少一個(gè)探針中的彈簧，直到所有壓力傳感器檢測(cè)到的壓力均相等。

本發(fā)明采用的第三種技術(shù)方案為：一種使用平面校準(zhǔn)機(jī)械手進(jìn)行平面校準(zhǔn)的方法，其特征在于，包括以下步驟：

(1)將校準(zhǔn)對(duì)象置于浮動(dòng)平臺(tái)上，使檢測(cè)平臺(tái)朝向浮動(dòng)平臺(tái)平行的移動(dòng)直到所有探針均壓持在校準(zhǔn)對(duì)象需要被校準(zhǔn)的對(duì)象平面上；

(2)選取或指定任一探針為基準(zhǔn)探針，基準(zhǔn)探針檢測(cè)到的壓力為基準(zhǔn)壓力；

其它每個(gè)探針對(duì)應(yīng)的壓力傳感器檢測(cè)到的壓力如果大于基準(zhǔn)壓力，則該探針對(duì)應(yīng)的浮動(dòng)桿通過(guò)驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)使其帶動(dòng)浮動(dòng)平臺(tái)遠(yuǎn)離檢測(cè)平臺(tái)，直到壓力傳感器檢測(cè)到的壓力等于基準(zhǔn)壓力；

其它每個(gè)探針對(duì)應(yīng)的壓力傳感器檢測(cè)到的壓力如果小于基準(zhǔn)壓力，則該探針對(duì)應(yīng)的浮動(dòng)桿通過(guò)驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)使其帶動(dòng)浮動(dòng)平臺(tái)靠近檢測(cè)平臺(tái)，直到壓力傳感器檢測(cè)到的壓力等于基準(zhǔn)壓力；

其它每個(gè)探針對(duì)應(yīng)的壓力傳感器檢測(cè)到的壓力如果等于基準(zhǔn)壓力，則該探針對(duì)應(yīng)的浮動(dòng)桿無(wú)需移動(dòng)。

本發(fā)明采用的第四種技術(shù)方案為：一種使用平面校準(zhǔn)機(jī)械手進(jìn)行平面校準(zhǔn)的方法，其特征在于，包括以下步驟：

(1)將校準(zhǔn)對(duì)象置于浮動(dòng)平臺(tái)上，使檢測(cè)平臺(tái)朝向浮動(dòng)平臺(tái)平行的移動(dòng)直到至少有一個(gè)探針壓持在校準(zhǔn)對(duì)象需要被校準(zhǔn)的對(duì)象平面上；

(2)選取或指定任一壓持在對(duì)象平面上的探針為基準(zhǔn)探針，基準(zhǔn)探針檢測(cè)到的壓力為基準(zhǔn)壓力；

其它每個(gè)探針對(duì)應(yīng)的壓力傳感器檢測(cè)到的壓力如果大于基準(zhǔn)壓力，則該探針對(duì)應(yīng)的浮動(dòng)桿通過(guò)驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)使其帶動(dòng)浮動(dòng)平臺(tái)遠(yuǎn)離檢測(cè)平臺(tái)，直到壓力傳感器檢測(cè)到的壓力等于基準(zhǔn)壓力；

其它每個(gè)探針對(duì)應(yīng)的壓力傳感器檢測(cè)到的壓力如果小于基準(zhǔn)壓力，則該探針對(duì)應(yīng)的浮動(dòng)桿通過(guò)驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)使其帶動(dòng)浮動(dòng)平臺(tái)靠近檢測(cè)平臺(tái)，直到壓力傳感器檢測(cè)到的壓力等于基準(zhǔn)壓力；

其它每個(gè)探針對(duì)應(yīng)的壓力傳感器檢測(cè)到的壓力如果等于基準(zhǔn)壓力，則該探針對(duì)應(yīng)的浮動(dòng)桿無(wú)需移動(dòng)。

本發(fā)明一個(gè)較佳實(shí)施例中，檢測(cè)平臺(tái)朝向浮動(dòng)平臺(tái)平行的移動(dòng)直到所有探針均壓持在校準(zhǔn)對(duì)象需要被校準(zhǔn)的對(duì)象平面上時(shí)，如果任一探針對(duì)應(yīng)的壓力傳感器檢測(cè)到超出額定壓力，則檢測(cè)平臺(tái)停止朝向浮動(dòng)平臺(tái)。

本發(fā)明解決了背景技術(shù)中存在的缺陷，本發(fā)明具備以下有益效果：

(1)通過(guò)設(shè)置相互平行的檢測(cè)平臺(tái)和浮動(dòng)平臺(tái)，確立檢測(cè)和校準(zhǔn)的相對(duì)結(jié)構(gòu)。然后將探針和浮動(dòng)桿一一對(duì)應(yīng)，保證每組一一對(duì)應(yīng)的探針和浮動(dòng)桿可以有針對(duì)性的進(jìn)行聯(lián)動(dòng)，在探針檢測(cè)到壓力數(shù)據(jù)時(shí)，對(duì)應(yīng)的浮動(dòng)桿便可直接對(duì)該位置進(jìn)行浮動(dòng)位移，移動(dòng)效果有針對(duì)性，移動(dòng)的針對(duì)性較高。

(2)通過(guò)至少三個(gè)浮動(dòng)桿的配合分別移動(dòng)，保證浮動(dòng)平臺(tái)可以做比較靈活角度的調(diào)整。在工裝或者校準(zhǔn)對(duì)象置于浮動(dòng)平臺(tái)后，校準(zhǔn)平面立即發(fā)生變化，以及不再是原有的浮動(dòng)平臺(tái)的平面，而是工裝或校準(zhǔn)對(duì)象上的平面，此時(shí)平面面的變化需要通過(guò)校準(zhǔn)平臺(tái)的角度調(diào)整實(shí)現(xiàn)再次調(diào)整。

(3)探針通過(guò)壓力傳感器的數(shù)據(jù)，可以即時(shí)的確認(rèn)校準(zhǔn)平面所在的角度，通過(guò)計(jì)算比較每個(gè)壓力傳感器的壓力數(shù)據(jù)，可以分析出校準(zhǔn)平面是否已經(jīng)符合預(yù)定的角度。

附圖說(shuō)明

下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)一步說(shuō)明；

圖1是本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例的立體結(jié)構(gòu)圖；

圖2是本發(fā)明的探針及壓力傳感器的爆照?qǐng)D；

圖3是本發(fā)明的檢測(cè)平臺(tái)和和浮動(dòng)平臺(tái)的結(jié)構(gòu)關(guān)系示意圖；

圖中：1、導(dǎo)軌；2、檢測(cè)平臺(tái)；3、探針；4、針筒；5、針芯；6、彈簧；7、壓力傳感器；8、浮動(dòng)平臺(tái)；9、步進(jìn)電機(jī)；10、工裝；11、緩沖墊；12、浮動(dòng)桿。

具體實(shí)施方式

現(xiàn)在結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)的說(shuō)明，這些附圖均為簡(jiǎn)化的示意圖，僅以示意方式說(shuō)明本發(fā)明的基本結(jié)構(gòu)，因此其僅顯示與本發(fā)明有關(guān)的構(gòu)成。

如圖1和圖2和圖3所示，一種空間三點(diǎn)平面校準(zhǔn)機(jī)械手，包括：相對(duì)設(shè)置的檢測(cè)平臺(tái)2和浮動(dòng)平臺(tái)8，其所述檢測(cè)平臺(tái)2上垂直設(shè)有不共線的三根探針3，所述浮動(dòng)平臺(tái)8的一面朝向所述探針3，浮動(dòng)平臺(tái)8的另一面通過(guò)至少三根浮動(dòng)桿12連接基座；通過(guò)三個(gè)浮動(dòng)桿12的配合分別移動(dòng)，保證浮動(dòng)平臺(tái)8可以做比較靈活角度的調(diào)整。在工裝10或者校準(zhǔn)對(duì)象置于浮動(dòng)平臺(tái)8后，校準(zhǔn)平面立即發(fā)生變化，以及不再是原有的浮動(dòng)平臺(tái)8的平面，而是工裝10或校準(zhǔn)對(duì)象上的平面，此時(shí)平面面的變化需要通過(guò)校準(zhǔn)平臺(tái)的角度調(diào)整實(shí)現(xiàn)再次調(diào)整。

檢測(cè)平臺(tái)2與所述浮動(dòng)平臺(tái)8相對(duì)的兩個(gè)面相互平行，探針3與浮動(dòng)桿12相互平行；探針3與所述浮動(dòng)桿12一一對(duì)應(yīng)，且一一對(duì)應(yīng)的一根探針3的軸線和一根浮動(dòng)桿12的軸線相互重合；通過(guò)設(shè)置相互平行的檢測(cè)平臺(tái)2和浮動(dòng)平臺(tái)8，確立檢測(cè)和校準(zhǔn)的相對(duì)結(jié)構(gòu)。然后將探針3和浮動(dòng)桿12一一對(duì)應(yīng)，保證每組一一對(duì)應(yīng)的探針3和浮動(dòng)桿12可以有針對(duì)性的進(jìn)行聯(lián)動(dòng)，在探針3檢測(cè)到壓力數(shù)據(jù)時(shí)，對(duì)應(yīng)的浮動(dòng)桿12便可直接對(duì)該位置進(jìn)行浮動(dòng)位移，移動(dòng)效果有針對(duì)性，移動(dòng)的針對(duì)性較高。

每根探針3上均設(shè)有壓力傳感器7，每根浮動(dòng)桿12上均連接步進(jìn)電機(jī)9，一一對(duì)應(yīng)的探針3上的壓力傳感器7信號(hào)連接浮動(dòng)桿12上的步進(jìn)電機(jī)9。探針3通過(guò)壓力傳感器7的數(shù)據(jù)，可以即時(shí)的確認(rèn)校準(zhǔn)平面所在的角度，通過(guò)計(jì)算比較每個(gè)壓力傳感器7的壓力數(shù)據(jù)，可以分析出校準(zhǔn)平面是否已經(jīng)符合預(yù)定的角度。

檢測(cè)平臺(tái)2設(shè)置在導(dǎo)軌1上，檢測(cè)平臺(tái)2能夠沿導(dǎo)軌1移動(dòng)的靠近或遠(yuǎn)離浮動(dòng)平臺(tái)8，并保持檢測(cè)平臺(tái)2始終與浮動(dòng)平臺(tái)8相互平行。

探針3包括針筒4和以及套設(shè)在所述針筒4內(nèi)的針芯5，針芯5朝向所述浮動(dòng)平臺(tái)8的一端伸出所述針筒4。針筒4可移動(dòng)的固定在檢測(cè)平臺(tái)2上，針芯5能夠沿軸向在針筒4中滑動(dòng)，針芯5的外徑尺寸與針筒4的內(nèi)徑尺寸一致。

針芯5另一端通過(guò)彈簧6銜接壓力傳感器7。

針芯5朝向所述浮動(dòng)平臺(tái)8的一端的端部設(shè)置有緩沖墊11，緩沖墊11為橡膠或者硅膠薄片，其可以防止探針劃傷對(duì)象平面。

浮動(dòng)桿12一端設(shè)置有球頭，所述球頭卡入所述浮動(dòng)平臺(tái)8的球槽內(nèi)，在調(diào)整角度時(shí)，通過(guò)球頭和球槽間的相互轉(zhuǎn)動(dòng)可以起到調(diào)整角度的作用。

浮動(dòng)桿12為絲桿，所述絲桿套設(shè)在所述基座的螺紋孔內(nèi)，所述絲桿由所述驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)并帶動(dòng)浮動(dòng)平臺(tái)8浮動(dòng)。

本發(fā)明采用的第二種技術(shù)方案為：一種平面校準(zhǔn)機(jī)械手進(jìn)行重置自查的方法，依次包括以下步驟：

(a)使所有浮動(dòng)桿12均回到初始長(zhǎng)度，使檢測(cè)平臺(tái)2朝向浮動(dòng)平臺(tái)8移動(dòng)直到所有探針3均壓持在浮動(dòng)平臺(tái)8表面或安裝于浮動(dòng)平臺(tái)8上的工裝10表面，即立即停止移動(dòng)檢測(cè)平臺(tái)2；

(b)如果所有探針3對(duì)應(yīng)的壓力傳感器7檢測(cè)到的壓力均相等，則無(wú)需調(diào)整浮動(dòng)桿12；

如果出現(xiàn)至少兩個(gè)探針3對(duì)應(yīng)的壓力傳感器7檢測(cè)到的壓力不相等，則：

首先采取調(diào)整浮動(dòng)桿12的方式進(jìn)行調(diào)整，如果實(shí)現(xiàn)使所有壓力傳感器7檢測(cè)到的壓力相等則進(jìn)行步驟(c)，如果繼續(xù)出現(xiàn)出現(xiàn)至少兩個(gè)壓力傳感器7檢測(cè)到的壓力不相等不相等，則進(jìn)一步采取調(diào)整探針3伸出所述檢測(cè)平臺(tái)2長(zhǎng)度的方式進(jìn)行調(diào)整，直到調(diào)整到所有壓力傳感器7檢測(cè)到的壓力相等；

(c)在步驟(b)的基礎(chǔ)上，繼續(xù)移動(dòng)檢測(cè)平臺(tái)2使其靠近浮動(dòng)平臺(tái)8直到出現(xiàn)有其中一個(gè)探針3的壓力傳感器7檢測(cè)到的壓力首先超過(guò)額定壓力即立即停止移動(dòng)檢測(cè)平臺(tái)2；

(d)如果所有探針3對(duì)應(yīng)的壓力傳感器7檢測(cè)到的壓力均相等，則無(wú)需更換探針3中的彈簧6；

如果出現(xiàn)至少兩個(gè)探針3對(duì)應(yīng)的壓力傳感器7檢測(cè)到的壓力不相等，則更換至少一個(gè)探針3中的彈簧6，直到所有壓力傳感器7檢測(cè)到的壓力均相等。

本發(fā)明采用的第三種技術(shù)方案為：一種使用平面校準(zhǔn)機(jī)械手進(jìn)行平面校準(zhǔn)的方法，包括以下步驟：

(1)將校準(zhǔn)對(duì)象置于浮動(dòng)平臺(tái)8上，使檢測(cè)平臺(tái)2朝向浮動(dòng)平臺(tái)8平行的移動(dòng)直到所有探針3均壓持在校準(zhǔn)對(duì)象需要被校準(zhǔn)的對(duì)象平面上；

(2)選取或指定任一探針3為基準(zhǔn)探針3，基準(zhǔn)探針3檢測(cè)到的壓力為基準(zhǔn)壓力；

其它每個(gè)探針3對(duì)應(yīng)的壓力傳感器7檢測(cè)到的壓力如果大于基準(zhǔn)壓力，則該探針3對(duì)應(yīng)的浮動(dòng)桿12通過(guò)驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)使其帶動(dòng)浮動(dòng)平臺(tái)8遠(yuǎn)離檢測(cè)平臺(tái)2，直到壓力傳感器7檢測(cè)到的壓力等于基準(zhǔn)壓力；

其它每個(gè)探針3對(duì)應(yīng)的壓力傳感器7檢測(cè)到的壓力如果小于基準(zhǔn)壓力，則該探針3對(duì)應(yīng)的浮動(dòng)桿12通過(guò)驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)使其帶動(dòng)浮動(dòng)平臺(tái)8靠近檢測(cè)平臺(tái)2，直到壓力傳感器7檢測(cè)到的壓力等于基準(zhǔn)壓力；

其它每個(gè)探針3對(duì)應(yīng)的壓力傳感器7檢測(cè)到的壓力如果等于基準(zhǔn)壓力，則該探針3對(duì)應(yīng)的浮動(dòng)桿12無(wú)需移動(dòng)。

本發(fā)明采用的第四種技術(shù)方案為：一種使用平面校準(zhǔn)機(jī)械手進(jìn)行平面校準(zhǔn)的方法，包括以下步驟：

(1)將校準(zhǔn)對(duì)象置于浮動(dòng)平臺(tái)8上，使檢測(cè)平臺(tái)2朝向浮動(dòng)平臺(tái)8平行的移動(dòng)直到至少有一個(gè)探針3壓持在校準(zhǔn)對(duì)象需要被校準(zhǔn)的對(duì)象平面上；

(2)選取或指定任一壓持在對(duì)象平面上的探針3為基準(zhǔn)探針3，基準(zhǔn)探針3檢測(cè)到的壓力為基準(zhǔn)壓力；

其它每個(gè)探針3對(duì)應(yīng)的壓力傳感器7檢測(cè)到的壓力如果大于基準(zhǔn)壓力，則該探針3對(duì)應(yīng)的浮動(dòng)桿12通過(guò)驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)使其帶動(dòng)浮動(dòng)平臺(tái)8遠(yuǎn)離檢測(cè)平臺(tái)2，直到壓力傳感器7檢測(cè)到的壓力等于基準(zhǔn)壓力；

其它每個(gè)探針3對(duì)應(yīng)的壓力傳感器7檢測(cè)到的壓力如果小于基準(zhǔn)壓力，則該探針3對(duì)應(yīng)的浮動(dòng)桿12通過(guò)驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)使其帶動(dòng)浮動(dòng)平臺(tái)8靠近檢測(cè)平臺(tái)2，直到壓力傳感器7檢測(cè)到的壓力等于基準(zhǔn)壓力；

其它每個(gè)探針3對(duì)應(yīng)的壓力傳感器7檢測(cè)到的壓力如果等于基準(zhǔn)壓力，則該探針3對(duì)應(yīng)的浮動(dòng)桿12無(wú)需移動(dòng)。

檢測(cè)平臺(tái)2朝向浮動(dòng)平臺(tái)8平行的移動(dòng)直到所有探針3均壓持在校準(zhǔn)對(duì)象需要被校準(zhǔn)的對(duì)象平面上時(shí)，如果任一探針3對(duì)應(yīng)的壓力傳感器7檢測(cè)到超出額定壓力，則檢測(cè)平臺(tái)2停止朝向浮動(dòng)平臺(tái)8。

以上依據(jù)本發(fā)明的理想實(shí)施例為啟示，通過(guò)上述的說(shuō)明內(nèi)容，相關(guān)人員完全可以在不偏離本項(xiàng)發(fā)明技術(shù)思想的范圍內(nèi)，進(jìn)行多樣的變更以及修改。本項(xiàng)發(fā)明的技術(shù)性范圍并不局限于說(shuō)明書上的內(nèi)容，必須要根據(jù)權(quán)利要求范圍來(lái)確定技術(shù)性范圍。