1.一種空間三點(diǎn)平面校準(zhǔn)機(jī)械手，包括：相對(duì)設(shè)置的檢測(cè)平臺(tái)和浮動(dòng)平臺(tái)，其特征在于，所述檢測(cè)平臺(tái)上垂直設(shè)有不共線的至少三根探針，所述浮動(dòng)平臺(tái)的一面朝向所述探針，所述浮動(dòng)平臺(tái)的另一面通過至少三根浮動(dòng)桿連接基座；
所述檢測(cè)平臺(tái)與所述浮動(dòng)平臺(tái)相對(duì)的兩個(gè)面相互平行，所述探針與所述浮動(dòng)桿相互平行；所述探針與所述浮動(dòng)桿一一對(duì)應(yīng)，且一一對(duì)應(yīng)的一根探針的軸線和一根浮動(dòng)桿的軸線相互重合；
每根所述探針上均設(shè)有壓力傳感器，每根所述浮動(dòng)桿上均連接驅(qū)動(dòng)器，一一對(duì)應(yīng)的探針上的壓力傳感器信號(hào)連接浮動(dòng)桿上的驅(qū)動(dòng)器。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種空間三點(diǎn)平面校準(zhǔn)機(jī)械手，其特征在于：所述檢測(cè)平臺(tái)設(shè)置在導(dǎo)軌上，所述檢測(cè)平臺(tái)能夠沿所述導(dǎo)軌移動(dòng)的靠近或遠(yuǎn)離浮動(dòng)平臺(tái)，并保持檢測(cè)平臺(tái)始終與浮動(dòng)平臺(tái)相互平行。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種空間三點(diǎn)平面校準(zhǔn)機(jī)械手，其特征在于：所述探針包括針筒和以及套設(shè)在所述針筒內(nèi)的針芯，所述針芯朝向所述浮動(dòng)平臺(tái)的一端伸出所述針筒。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種空間三點(diǎn)平面校準(zhǔn)機(jī)械手，其特征在于：所述針芯另一端通過彈簧銜接壓力傳感器。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種空間三點(diǎn)平面校準(zhǔn)機(jī)械手，其特征在于：所述針芯朝向所述浮動(dòng)平臺(tái)的一端的端部設(shè)置有緩沖墊。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種空間三點(diǎn)平面校準(zhǔn)機(jī)械手，其特征在于：所述浮動(dòng)桿一端設(shè)置有球頭，所述球頭卡入所述浮動(dòng)平臺(tái)的球槽內(nèi)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1或6所述的一種空間三點(diǎn)平面校準(zhǔn)機(jī)械手，其特征在于：所述浮動(dòng)桿為絲桿，所述絲桿套設(shè)在所述基座的螺紋孔內(nèi)，所述絲桿由所述驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)并帶動(dòng)浮動(dòng)平臺(tái)浮動(dòng)。
8.一種如權(quán)利要求4中任一權(quán)利要求所述的平面校準(zhǔn)機(jī)械手進(jìn)行重置自查的方法，其特征在于，依次包括以下步驟：
(a)使所有浮動(dòng)桿均回到初始長(zhǎng)度，使檢測(cè)平臺(tái)朝向浮動(dòng)平臺(tái)移動(dòng)直到所有探針均壓持在浮動(dòng)平臺(tái)表面或安裝于浮動(dòng)平臺(tái)上的工裝表面，即立即停止移動(dòng)檢測(cè)平臺(tái)；
(b)如果所有探針對(duì)應(yīng)的壓力傳感器檢測(cè)到的壓力均相等，則無(wú)需調(diào)整浮動(dòng)桿；
如果出現(xiàn)至少兩個(gè)探針對(duì)應(yīng)的壓力傳感器檢測(cè)到的壓力不相等，則：
首先采取調(diào)整浮動(dòng)桿的方式進(jìn)行調(diào)整，如果實(shí)現(xiàn)使所有壓力傳感器檢測(cè)到的壓力相等則進(jìn)行步驟(c)，如果繼續(xù)出現(xiàn)出現(xiàn)至少兩個(gè)壓力傳感器檢測(cè)到的壓力不相等不相等，則進(jìn)一步采取調(diào)整探針伸出所述檢測(cè)平臺(tái)長(zhǎng)度的方式進(jìn)行調(diào)整，直到調(diào)整到所有壓力傳感器檢測(cè)到的壓力相等；
(c)在步驟(b)的基礎(chǔ)上，繼續(xù)移動(dòng)檢測(cè)平臺(tái)使其靠近浮動(dòng)平臺(tái)直到出現(xiàn)有其中一個(gè)探針的壓力傳感器檢測(cè)到的壓力首先超過額定壓力即立即停止移動(dòng)檢測(cè)平臺(tái)；
(d)如果所有探針對(duì)應(yīng)的壓力傳感器檢測(cè)到的壓力均相等，則無(wú)需更換探針中的彈簧；
如果出現(xiàn)至少兩個(gè)探針對(duì)應(yīng)的壓力傳感器檢測(cè)到的壓力不相等，則更換至少一個(gè)探針中的彈簧，直到所有壓力傳感器檢測(cè)到的壓力均相等。
9.一種使用如權(quán)利要求1-7中任一權(quán)利要求所述的平面校準(zhǔn)機(jī)械手進(jìn)行平面校準(zhǔn)的方法，其特征在于，包括以下步驟：
(1)將校準(zhǔn)對(duì)象置于浮動(dòng)平臺(tái)上，使檢測(cè)平臺(tái)朝向浮動(dòng)平臺(tái)平行的移動(dòng)直到所有探針均壓持在校準(zhǔn)對(duì)象需要被校準(zhǔn)的對(duì)象平面上；
(2)選取或指定任一探針為基準(zhǔn)探針，基準(zhǔn)探針檢測(cè)到的壓力為基準(zhǔn)壓力；
其它每個(gè)探針對(duì)應(yīng)的壓力傳感器檢測(cè)到的壓力如果大于基準(zhǔn)壓力，則該探針對(duì)應(yīng)的浮動(dòng)桿通過驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)使其帶動(dòng)浮動(dòng)平臺(tái)遠(yuǎn)離檢測(cè)平臺(tái)，直到壓力傳感器檢測(cè)到的壓力等于基準(zhǔn)壓力；
其它每個(gè)探針對(duì)應(yīng)的壓力傳感器檢測(cè)到的壓力如果小于基準(zhǔn)壓力，則該探針對(duì)應(yīng)的浮動(dòng)桿通過驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)使其帶動(dòng)浮動(dòng)平臺(tái)靠近檢測(cè)平臺(tái)，直到壓力傳感器檢測(cè)到的壓力等于基準(zhǔn)壓力；
其它每個(gè)探針對(duì)應(yīng)的壓力傳感器檢測(cè)到的壓力如果等于基準(zhǔn)壓力，則該探針對(duì)應(yīng)的浮動(dòng)桿無(wú)需移動(dòng)。
10.一種使用如權(quán)利要求1-7中任一權(quán)利要求所述的平面校準(zhǔn)機(jī)械手進(jìn)行平面校準(zhǔn)的方法，其特征在于，包括以下步驟：
(1)將校準(zhǔn)對(duì)象置于浮動(dòng)平臺(tái)上，使檢測(cè)平臺(tái)朝向浮動(dòng)平臺(tái)平行的移動(dòng)直到至少有一個(gè)探針壓持在校準(zhǔn)對(duì)象需要被校準(zhǔn)的對(duì)象平面上；
(2)選取或指定任一壓持在對(duì)象平面上的探針為基準(zhǔn)探針，基準(zhǔn)探針檢測(cè)到的壓力為基準(zhǔn)壓力；
其它每個(gè)探針對(duì)應(yīng)的壓力傳感器檢測(cè)到的壓力如果大于基準(zhǔn)壓力，則該探針對(duì)應(yīng)的浮動(dòng)桿通過驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)使其帶動(dòng)浮動(dòng)平臺(tái)遠(yuǎn)離檢測(cè)平臺(tái)，直到壓力傳感器檢測(cè)到的壓力等于基準(zhǔn)壓力；
其它每個(gè)探針對(duì)應(yīng)的壓力傳感器檢測(cè)到的壓力如果小于基準(zhǔn)壓力，則該探針對(duì)應(yīng)的浮動(dòng)桿通過驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)使其帶動(dòng)浮動(dòng)平臺(tái)靠近檢測(cè)平臺(tái)，直到壓力傳感器檢測(cè)到的壓力等于基準(zhǔn)壓力；
其它每個(gè)探針對(duì)應(yīng)的壓力傳感器檢測(cè)到的壓力如果等于基準(zhǔn)壓力，則該探針對(duì)應(yīng)的浮動(dòng)桿無(wú)需移動(dòng)。