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一種可變電容的層析成像傳感器的制作方法

文檔序號:12784574閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種可變電容的層析成像傳感器,包括外置電極層和內(nèi)置電極層,兩電極層呈現(xiàn)同軸布置的兩層圓筒形管結(jié)構(gòu),其中,內(nèi)置電極層的管壁外表面均勻嵌入n個電極,外置電極層的內(nèi)壁均勻布置有n個電極;外置電極層和內(nèi)置電極層,一層固定,另一層可沿其軸向平移和旋轉(zhuǎn),旋轉(zhuǎn)時,內(nèi)置電極層的n個電極的外側(cè)分別與外置電極層的n個電極內(nèi)側(cè)接觸,以改變電極的占空比和面積;在內(nèi)置電極層和外置電極層電極接觸時,一層固定,另一層沿其軸向平移,從而改變電極的面積。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的層析成像傳感器,其特征在于,外置電極層固定,內(nèi)置電極層的角位移使用伺服電機(jī)來精確控制。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的層析成像傳感器,其特征在于,內(nèi)置電極層安裝在內(nèi)置電極層安裝座上,伺服電機(jī)的轉(zhuǎn)軸與連桿一端鉸接,連桿另一端與設(shè)置在內(nèi)置電極層外環(huán)面上的通孔鉸接,然后穿過設(shè)置在內(nèi)置電極層安裝座上的環(huán)形孔,內(nèi)置電極層、伺服電機(jī)、連桿和內(nèi)置電極層安裝座形成四連桿機(jī)構(gòu),實現(xiàn)內(nèi)置電極層繞自身軸線旋轉(zhuǎn),內(nèi)置電極層安裝座上的環(huán)形孔能夠限制連桿的末端的擺動,進(jìn)而限制內(nèi)置電極層的旋轉(zhuǎn)范圍。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的層析成像傳感器,其特征在于,在底座上設(shè)置有滑槽,滑槽與內(nèi)置電極層和外置電極層的軸向相平行,固定內(nèi)置電極層的安裝座在伺服電動推桿的作用能夠沿著滑槽移動。

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