本發(fā)明涉及檢測(cè)物理量的傳感器，特別涉及熱式空氣流量傳感器。

背景技術(shù)：

當(dāng)前，作為設(shè)置在汽車等內(nèi)燃機(jī)的吸入空氣通路的、測(cè)定吸入空氣量的空氣流量傳感器，熱式的空氣流量傳感器能夠直接檢測(cè)質(zhì)量空氣量，因而成為主流。

最近，利用半導(dǎo)體微細(xì)加工技術(shù)在硅基板上堆積電阻體和絕緣層膜之后，利用以KOH等為代表的焊接材料除去硅基板的一部分，形成薄壁部的空氣流量傳感器由于具有高速響應(yīng)性并且利用該響應(yīng)性的速度還能夠檢測(cè)逆流，所以受到關(guān)注。另外，近年來(lái)，以減少基板部(印刷基板、陶瓷基板等)的部件為目的，正在研究將上述空氣流量傳感器安裝在引線框上，用樹脂對(duì)其外周部進(jìn)行模塑而得到的結(jié)構(gòu)體。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：日本特許第3610484

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

發(fā)明想要解決的技術(shù)問題

在專利文獻(xiàn)1中記載的現(xiàn)有的熱式空氣流量傳感器中，記載有一種發(fā)明，目的在于提高通過從背面對(duì)硅基板的一部分進(jìn)行除去加工而形成的薄壁部的可靠性，在流量傳感元件的表面形成由有機(jī)材料形成的保護(hù)膜。根據(jù)專利文獻(xiàn)1，能夠提高薄壁部的絕緣膜的耐塵強(qiáng)度。但是，該發(fā)明中，在流量傳感元件接合安裝在引線框等部件上且用樹脂將流量傳感元件的周邊部封固的構(gòu)成中，在使包括薄壁部的區(qū)域部分地露出的構(gòu)成方面有探討的余地。

在進(jìn)行部分露出的樹脂成形時(shí)，一般以在露出部不形成模塑樹脂件的方式使用模具或者嵌入件等推壓半導(dǎo)體檢測(cè)元件的薄壁部周邊來(lái)進(jìn)行成形。并且，作為推壓上述嵌入件的主要的方法，能夠列舉控制嵌入件的移動(dòng)量的方法。在考慮批量生產(chǎn)工序的情況下，上述設(shè)定的移動(dòng)量通常為一定，不對(duì)每個(gè)產(chǎn)品調(diào)節(jié)移動(dòng)量。此時(shí)，上述嵌入件的推壓量弱時(shí)，有可能模塑樹脂流出到露出部。為了避免這種情況，一定程度地需要將嵌入件較強(qiáng)地推壓在半導(dǎo)體元件上，但是當(dāng)該推壓力過強(qiáng)時(shí)半導(dǎo)體元件發(fā)生變形。因而，在以使包括薄壁部的區(qū)域部分地露出的方式進(jìn)行樹脂封固的情況下，推壓嵌入件的力存在一定范圍(余量)。

另外，作為產(chǎn)品，存在檢測(cè)元件的膜厚偏差和接合劑的厚度偏差，其結(jié)果是，安裝于引線框上的半導(dǎo)體元件的安裝高度產(chǎn)生偏差。由此，根據(jù)每個(gè)產(chǎn)品，從嵌入件施加的力或者與嵌入件的接觸距離發(fā)生變化，上述嵌入件的推壓力的容許范圍進(jìn)而下降，導(dǎo)致產(chǎn)品成品率的降低。

本發(fā)明的目的在于，在進(jìn)行使半導(dǎo)體元件的一部分部分地露出的樹脂封固的情況下，提高產(chǎn)品的可靠性。

用于解決技術(shù)課題的技術(shù)方案

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的熱式空氣流量傳感器，其特征在于包括：半導(dǎo)體基板，其包括薄壁部、設(shè)置在上述薄壁部的發(fā)熱電阻體和設(shè)置在上述發(fā)熱電阻體的上下游的測(cè)溫電阻體；設(shè)置在上述半導(dǎo)體基板上的保護(hù)膜；和封固上述半導(dǎo)體基板的樹脂，其中，上述樹脂具有使包括上述薄壁部的區(qū)域部分地露出的露出部，上述保護(hù)膜圍繞上述發(fā)熱電阻體，上述有機(jī)保護(hù)膜的外周端部比上述薄壁部靠外側(cè)且位于上述露出部。

發(fā)明效果

本發(fā)明在進(jìn)行使半導(dǎo)體元件的一部分部分地露出的樹脂封固的情況下，能夠提高產(chǎn)品的可靠性。

附圖說(shuō)明

圖1是第一實(shí)施例的模塑前的傳感器元件的結(jié)構(gòu)圖，(a)是從橫向看的情況下的截面圖，(b)是從正上方看的情況下的俯視圖。

圖2是第一實(shí)施例的模塑后的傳感器元件的結(jié)構(gòu)圖，(a)是從橫向看的情況下的截面圖，(b)從正上方看的情況下的俯視圖。

圖3是第一實(shí)施例中的模塑成形的概略說(shuō)明圖。

圖4是第一實(shí)施例中的模塑樹脂的流出的概略說(shuō)明圖。

圖5是第二·第三實(shí)施例的模塑前的傳感器元件的結(jié)構(gòu)圖，(a)是從橫向看的情況下的截面圖，(b)從正上方看的情況下的俯視圖。

圖6是第二實(shí)施例的模塑后的傳感器元件的結(jié)構(gòu)圖，(a)是從橫向看的情況下的截面圖，(b)從正上方看的情況下的俯視圖。

圖7是第二實(shí)施例中的模塑成形的概略說(shuō)明圖。

圖8是第二實(shí)施例中的模塑樹脂的流出的概略說(shuō)明圖。

圖9是隙縫的說(shuō)明圖。

圖10是第三實(shí)施例的模塑后的傳感器元件的結(jié)構(gòu)圖，(a)是從橫向看的情況下的截面圖，(b)從正上方看的情況下的俯視圖。

圖11是第三實(shí)施例中的模塑成形的概略說(shuō)明圖。

圖12是第三實(shí)施例中的模塑樹脂的流出的概略說(shuō)明圖。

圖13是第四實(shí)施例的模塑前的傳感器元件的結(jié)構(gòu)圖。

圖14是第五實(shí)施例的模塑前的傳感器元件的結(jié)構(gòu)圖。

圖15是本發(fā)明的熱式空氣流量傳感器的結(jié)構(gòu)圖。

具體實(shí)施方式

使用圖15對(duì)本發(fā)明的熱式空氣流量傳感器進(jìn)行說(shuō)明。

熱式空氣流量傳感器，在用于將吸入空氣1供給到汽車的內(nèi)燃機(jī)(未圖示的)的吸氣管路5內(nèi)設(shè)置有殼體3和半導(dǎo)體封裝2。

殼體3包括：一端與半導(dǎo)體封裝2電連接的連接端子8；將殼體3固定在吸氣管路5的凸緣部4；和取入吸入空氣1的一部分的副通路6。

半導(dǎo)體封裝2是通過用模塑樹脂60將引線框10、半導(dǎo)體基板20、電路元件和溫度傳感器一體成形而作成的。另外，半導(dǎo)體封裝2具有以使流量檢測(cè)部7暴露在吸入空氣中的方式不被模塑樹脂60覆蓋而部分地露出的區(qū)域。流量檢測(cè)部7設(shè)置在副通路6內(nèi)，根據(jù)在副通路6內(nèi)流動(dòng)的流體的流量計(jì)算吸入空氣1的流量。

使用圖1至圖4對(duì)本發(fā)明的第一實(shí)施例進(jìn)行說(shuō)明。

使用圖1和圖2說(shuō)明第一實(shí)施例的傳感器元件的結(jié)構(gòu)圖。在此，圖1是第一實(shí)施例的模塑前的傳感器元件的結(jié)構(gòu)圖，圖2是第一實(shí)施例的模塑后的傳感器元件的結(jié)構(gòu)圖。

如圖1所示，熱式空氣流量傳感器在硅等半導(dǎo)體基板20上疊層絕緣膜和電阻體層，從半導(dǎo)體基板20的背面?zhèn)仁褂脷溲趸?KOH)等除去一部分而形成薄壁部25，在薄壁部25上形成發(fā)熱電阻體21、上游側(cè)測(cè)溫電阻體22和下游側(cè)測(cè)溫電阻體23。對(duì)發(fā)熱電阻體21的溫度進(jìn)行反饋控制，使得發(fā)熱電阻體21的溫度比吸入空氣量1的溫度高一定溫度，根據(jù)由上游側(cè)測(cè)溫電阻體22測(cè)定的溫度和由下游側(cè)測(cè)溫電阻體23測(cè)定的溫度的溫度差的信息，測(cè)定吸入空氣1的流量。在熱式空氣流量傳感器的表面形成有以聚酰亞胺等為代表的有機(jī)保護(hù)膜30。使用旋涂器等涂敷機(jī)，一次將有機(jī)保護(hù)膜30均勻地涂敷在傳感器表面的整個(gè)面上。然后，利用圖案形成技術(shù)，通過部分地進(jìn)行蝕刻除去，在半導(dǎo)體基板20和有機(jī)保護(hù)膜30之間形成臺(tái)階。有機(jī)保護(hù)膜30形成無(wú)間斷地圍繞發(fā)熱電阻體21的形狀。通過發(fā)熱電阻體21、上游側(cè)測(cè)溫電阻體22和下游側(cè)測(cè)溫電阻體23來(lái)測(cè)定吸入空氣的流量，所以需要將發(fā)熱電阻體21、上游側(cè)測(cè)溫電阻體22和下游側(cè)測(cè)溫電阻體23暴露于吸入空氣中，而不被有機(jī)保護(hù)膜30覆蓋。另外，在熱式空氣流量傳感器的表面形成有Al配線40，經(jīng)由金屬線等接合線50與引線框10電連接。半導(dǎo)體基板20用接合劑等固定于引線框10。

如圖2所示，半導(dǎo)體基板20、引線框10被模塑樹脂60封固。在此，發(fā)熱電阻體21、上游側(cè)測(cè)溫電阻體22和下游側(cè)測(cè)溫電阻體23，為了檢測(cè)流量而需要暴露于被測(cè)定介質(zhì)中，所以不被模塑樹脂60覆蓋，包括流量檢測(cè)部7的區(qū)域從模塑樹脂60部分地露出。并且，以圍繞發(fā)熱電阻體21的方式形成的有機(jī)保護(hù)膜30的外周端部位于比薄壁部25更靠外側(cè)的位置，有機(jī)保護(hù)膜30配置在部分地露出的區(qū)域。由此，在模塑成形時(shí)，即使樹脂從熱式空氣流量傳感器的表面和嵌入件83之間泄漏，也能夠由有機(jī)保護(hù)膜30攔住，所以能夠使得樹脂不到達(dá)薄壁部25。

使用圖3和圖4對(duì)第一實(shí)施例中的模塑成形進(jìn)行說(shuō)明。在此，圖3是第一實(shí)施例中的模塑成形的概略說(shuō)明圖，圖4是第一實(shí)施例中的模塑樹脂的流出的概略說(shuō)明圖。

如圖3所示，使用下模具80、上模具81和設(shè)置成插入到上模具81中的嵌入件83制作部分露出結(jié)構(gòu)的半導(dǎo)體封裝。用下模具80和上模具81夾著引線框10上安裝有半導(dǎo)體基板20的熱式空氣流量傳感器，使薄壁部25等部分地露出的部位，被嵌入件83推壓，以使其不被模塑樹脂60覆蓋，通過使樹脂從插入口82流入能夠制造部分露出結(jié)構(gòu)的半導(dǎo)體封裝。此外，插入口82能夠設(shè)置在下模具80、上模具81的任意者上。通過將嵌入件83的推壓部推壓在基板表面，能夠形成被嵌入件83壓住的區(qū)域不被樹脂封固而部分露出的結(jié)構(gòu)。但是，薄壁部25比其它的部分薄，所以使嵌入件83直接推壓在薄壁部25時(shí)，薄壁部25產(chǎn)生變形，產(chǎn)生流量的檢測(cè)誤差。因此，嵌入件83在推壓面具有凹部，薄壁部25收納于凹部?jī)?nèi)，通過用設(shè)置在該凹部外周緣的推壓部推壓基板表面，使得在進(jìn)行樹脂封固時(shí)嵌入件83不直接碰到薄壁部25。由此，不對(duì)薄壁部25施加推壓嵌入件83的負(fù)荷，所以在進(jìn)行使包括薄壁部25的區(qū)域部分地露出的樹脂封固的情況下，能夠抑制薄壁部的變形。

如圖4所示，當(dāng)壓入嵌入件83的負(fù)荷不足時(shí)，在熱式空氣流量傳感器的表面和嵌入件之間產(chǎn)生間隙。在該狀態(tài)下流入了樹脂的情況下，存在樹脂從嵌入件83和熱式空氣流量傳感器的表面的間隙61流出的可能。但是，在本發(fā)明的第一實(shí)施例中，有機(jī)保護(hù)膜30是圍繞發(fā)熱電阻體21的構(gòu)成，在從模塑樹脂60部分地露出的區(qū)域設(shè)置有有機(jī)保護(hù)膜30，所以能夠利用有機(jī)保護(hù)膜30攔住從間隙61漏出的樹脂60，能夠抑制樹脂到達(dá)薄壁部25。即使產(chǎn)生推壓嵌入件83的力不足而模塑樹脂60泄漏至半導(dǎo)體元件部那樣的產(chǎn)品，只要該泄漏部不到達(dá)作為傳感區(qū)域的薄壁部25，性能方面也能夠滿足需要。因而，根據(jù)本發(fā)明的第一實(shí)施例，即使在嵌入件83的負(fù)荷小且產(chǎn)生樹脂泄漏那樣的情況下，也能夠確保熱式空氣流量傳感器的可靠性。

在此，考慮通過移動(dòng)量控制對(duì)嵌入件83進(jìn)行推壓的情況。由于在每個(gè)產(chǎn)品中半導(dǎo)體基板20表面的高度產(chǎn)生偏差，所以關(guān)于表面高度較高地完成的半導(dǎo)體基板，比通常大的負(fù)荷施加在半導(dǎo)體基板20上，當(dāng)負(fù)荷過大時(shí)傳感器元件產(chǎn)生變形。另一方面，關(guān)于表面高度較低地完成的半導(dǎo)體基板，在嵌入件83和熱式空氣流量傳感器的表面之間形成間隙61，所以存在樹脂泄漏的問題。根據(jù)本發(fā)明的第一實(shí)施例，即使在嵌入件83的負(fù)荷小的情況下，也能夠確保熱式空氣流量傳感器的可靠性，因此能夠在嵌入件83的負(fù)荷小的情況下擴(kuò)大批量生產(chǎn)時(shí)的制造余量。因此，能夠提高產(chǎn)品成品率。

另外，薄壁部25由無(wú)機(jī)材料形成，由于為了提高熱絕緣性而變薄，所以較脆，需要確保對(duì)于灰塵的碰撞的強(qiáng)度。特別是，薄壁部25的周緣部與其它的部位相比，對(duì)于灰塵的碰撞的強(qiáng)度變?nèi)?。因此，如圖1所示，有機(jī)保護(hù)膜30的內(nèi)周端部位于薄壁部25，由此用有機(jī)保護(hù)膜30覆蓋薄壁部25的周緣部，用有機(jī)保護(hù)膜30吸收因灰塵的碰撞導(dǎo)致的沖擊。根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，能夠提高對(duì)于吸入空氣中包含的灰塵的碰撞的薄壁部25的強(qiáng)度，所以，熱式空氣流量傳感器的抗污損性提高，實(shí)現(xiàn)了可靠性高的熱式空氣流量傳感器。

使用圖5至圖9說(shuō)明本發(fā)明的第二實(shí)施例。其中對(duì)與第一實(shí)施例相同的結(jié)構(gòu)省略說(shuō)明。

使用圖5和圖6說(shuō)明第二實(shí)施例的傳感器元件的結(jié)構(gòu)圖。在此，圖5是第二實(shí)施例的模塑前的傳感器元件的結(jié)構(gòu)圖，圖6是第二實(shí)施例的模塑后的傳感器元件的結(jié)構(gòu)圖。

如圖5所示，在設(shè)置于半導(dǎo)體基板20上的有機(jī)保護(hù)膜30(包括隙縫內(nèi)周側(cè)有機(jī)保護(hù)膜33和隙縫外周側(cè)有機(jī)保護(hù)膜34)形成有：以使發(fā)熱電阻體發(fā)熱電阻體21、上游側(cè)測(cè)溫電阻體22和下游側(cè)測(cè)溫電阻體23暴露于被測(cè)定介質(zhì)中的方式使薄壁部25的一部分露出的露出部；和以圍繞薄壁部25的方式設(shè)置的隙縫35。隙縫35無(wú)間斷地圍繞薄壁部25，所以在樹脂成形時(shí)即使發(fā)生樹脂泄漏，模塑樹脂60也被隙縫35捕獲，防止模塑樹脂60流入薄壁部25。設(shè)置有有機(jī)保護(hù)膜30，以保護(hù)薄壁部25的周緣，因此能夠提高對(duì)于吸入空氣中所包含的灰塵的碰撞的薄壁部25的強(qiáng)度。利用隙縫35使半導(dǎo)體基板20的一部分從有機(jī)保護(hù)膜30露出，利用半導(dǎo)體基板20的露出面和有機(jī)保護(hù)膜30形成臺(tái)階。并且，期望通過用有機(jī)保護(hù)膜30覆蓋Al配線40，形成保護(hù)不受水等的腐蝕成分的影響的結(jié)構(gòu)。

另外，如圖6所示，以隙縫35的內(nèi)周端部整體和隙縫35的外周端部從模塑樹脂60部分地露出的方式，用模塑樹脂60將半導(dǎo)體基板20、引線框10封固。隙縫35的內(nèi)周端部整體位于從模塑樹脂60部分地露出的區(qū)域，所以如圖8所示，即使模塑樹脂60從間隙61泄漏，也能夠利用隙縫35捕獲模塑樹脂60，能夠抑制樹脂到達(dá)薄壁部25。

使用圖7和圖8說(shuō)明第二實(shí)施例的模塑成形。在此，圖7是第二實(shí)施例中的模塑成形的概略說(shuō)明圖，圖8是第二實(shí)施例中的模塑樹脂的流出的概略說(shuō)明圖。

如圖7所示，在作成第二實(shí)施例的部分露出結(jié)構(gòu)的半導(dǎo)體封裝時(shí)，將嵌入件83的推壓部推壓在有機(jī)保護(hù)膜30。因此，有機(jī)保護(hù)膜30作為緩沖材料起作用，能夠降低向薄壁部25傳遞的應(yīng)力，所以能夠抑制在進(jìn)行模塑成形的情況下的薄壁部25的變形。因此，根據(jù)本發(fā)明的第二實(shí)施例，能夠抑制因薄壁部25的變形導(dǎo)致的檢測(cè)誤差，由此能夠提高熱式空氣流量傳感器的可靠性。

在此，使用圖9對(duì)在有機(jī)保護(hù)膜30設(shè)置隙縫35的進(jìn)一步的效果進(jìn)行說(shuō)明。

在模塑樹脂60和熱式空氣流量傳感器采用設(shè)有有機(jī)保護(hù)膜30的結(jié)構(gòu)的情況下，因模塑成形后的樹脂收縮而對(duì)有機(jī)保護(hù)膜30施加應(yīng)力。有機(jī)保護(hù)膜30的形狀形成為連通至薄壁部端部的情況下，因模塑樹脂60的熱收縮而產(chǎn)生的應(yīng)力作用至薄壁部25的端部，有對(duì)流量特性產(chǎn)生影響的可能。但是，在本發(fā)明的第二實(shí)施例中，以將模塑樹脂60、位于熱式空氣流量傳感器的接觸部的隙縫內(nèi)周側(cè)有機(jī)保護(hù)膜33和形成在薄壁部端部的隙縫外周側(cè)有機(jī)保護(hù)膜34隔開的方式形成有隙縫部35，因此應(yīng)力不經(jīng)由有機(jī)保護(hù)膜30傳遞至形成在薄壁部端部的隙縫外周側(cè)有機(jī)保護(hù)膜34。因而，具有降低應(yīng)力對(duì)流量特性的影響的效果。

使用圖10到圖12說(shuō)明本發(fā)明的第三實(shí)施例。其中，對(duì)與第二實(shí)施例相同的結(jié)構(gòu)省略說(shuō)明。

如圖10、圖11所示，隙縫內(nèi)周側(cè)有機(jī)保護(hù)膜33位于從模塑樹脂60部分地露出的位置，隙縫外周側(cè)有機(jī)保護(hù)膜34樹脂成形為被模塑樹脂60覆蓋。隙縫內(nèi)周側(cè)有機(jī)保護(hù)膜33位于從模塑樹脂60部分地露出的區(qū)域，所以即使如圖12所示模塑樹脂60從間隙61泄漏，也能夠利用隙縫內(nèi)周側(cè)有機(jī)保護(hù)膜33攔住模塑樹脂60，因此能夠抑制模塑樹脂60到達(dá)薄壁部25。

為了保護(hù)Al配線40不受水等腐蝕成分的影響而利用有機(jī)保護(hù)膜30進(jìn)行保護(hù)，但是存在有機(jī)保護(hù)膜30自身吸收水分，經(jīng)由有機(jī)保護(hù)膜30水分傳遞至Al配線40的可能，在本發(fā)明的第三實(shí)施例中，在模塑樹脂60中具有覆蓋Al配線40的有機(jī)保護(hù)膜34，有機(jī)保護(hù)膜34為不與空氣直接接觸的結(jié)構(gòu)，由此能夠防止Al配線40的腐蝕。并且，即使水等腐蝕成分從半導(dǎo)體基板20和模塑樹脂60的界面浸入，也能夠利用有機(jī)保護(hù)膜34攔住，因此能夠進(jìn)一步降低水等腐蝕成分向Al配線40的浸入。因此，根據(jù)本發(fā)明的第三實(shí)施例的結(jié)構(gòu)，能夠進(jìn)一步降低Al配線40的腐蝕，由此提高可靠性。

另外，與第二實(shí)施例相同，被模塑樹脂和半導(dǎo)體基板夾著的保護(hù)膜和形成在薄壁部的保護(hù)膜彼此獨(dú)立，所以形成為降低應(yīng)力對(duì)薄壁部的影響的結(jié)構(gòu)。

使用圖13說(shuō)明第四實(shí)施例。

第一實(shí)施例的隙縫形狀為整周隔離的形狀，但是即使在僅在圖6所示的一側(cè)或者在一邊方向上形成有隙縫的情況下，也能夠獲得防止模塑樹脂流出的效果。

預(yù)先，在存在嵌入件和半導(dǎo)體基板20硬接觸的傾向的情況下，能夠特別指定產(chǎn)生間隙的可能性較高的方向。因而，當(dāng)在該方向上形成隙縫時(shí)，即使發(fā)生樹脂泄漏，也能夠抑制模塑樹脂60到達(dá)薄壁部25，能夠大幅提高產(chǎn)品成品率。

同樣，上述應(yīng)力影響也同樣，樹脂的應(yīng)力從某方向較大地施加的情況，使用實(shí)際設(shè)備評(píng)價(jià)和解析能夠明確時(shí)，通過在該方向上形成隙縫，能夠有效地提高薄壁部的可靠性。

使用圖14說(shuō)明第五實(shí)施例。

第二實(shí)施例的隙縫形狀為整周一層隔離的形狀，但是在圖14所示的多層狀地形成有隙縫的情況下，也能夠獲得防止上述模塑樹脂流出的效果。

采用多層的目的之一是，在保護(hù)形成在半導(dǎo)體基板上的電阻體37不受灰塵的碰撞的影響的情況下，在為了提高熱響應(yīng)性而想要使形成在半導(dǎo)體基板上的溫度傳感器37與薄壁部25同樣露出的情況下，有時(shí)在第二實(shí)施例結(jié)構(gòu)中的隙縫內(nèi)形成有機(jī)保護(hù)膜30(a)。在該情況下，用于防止模塑樹脂60的流入的隙縫為多層狀。即使在這樣的情況下，也形成為對(duì)防止模塑樹脂60的流動(dòng)有效的形狀。

在從第一實(shí)施例至第五實(shí)施例中，期望有機(jī)保護(hù)膜30由聚酰亞胺形成。為了測(cè)定吸入空氣流量，發(fā)熱電阻體21發(fā)熱，薄壁部25變?yōu)楦邷?，但是聚酰亞胺的耐熱性?yōu)良，因此能夠抑制因發(fā)熱導(dǎo)致的材質(zhì)的劣化。因此，能夠提高測(cè)定元件1對(duì)于長(zhǎng)期的固體粒子的碰撞的強(qiáng)度。

即使產(chǎn)生模塑樹脂60泄漏至半導(dǎo)體元件部那樣的產(chǎn)品，主要該泄漏部不到達(dá)作為傳感區(qū)域的薄壁部25，就能夠滿足性能需要。因而，即使在某產(chǎn)品中產(chǎn)生樹脂泄漏那樣的情況下，通過構(gòu)成難以到達(dá)薄壁部25的結(jié)構(gòu)，就能夠抑制產(chǎn)品成品率的降低。

能夠提供一種熱式空氣流量傳感器，當(dāng)用聚酰亞胺形成有機(jī)保護(hù)膜30時(shí)，在以使半導(dǎo)體元件的一部分部分地露出的方式進(jìn)行樹脂封固那樣的情況下，也能夠提高上述薄壁部的絕緣膜的耐塵強(qiáng)度，并且不提高成本地抑制上述產(chǎn)品成品率的降低。

符號(hào)說(shuō)明

1……吸入空氣

2……半導(dǎo)體封裝

3……殼體

4……凸緣

5……吸氣管路

6……副通路

7……流量檢測(cè)部

8……連接端子

10…引線框(基板支承部件)

20…半導(dǎo)體基板

21…發(fā)熱電阻體

22…上游側(cè)測(cè)溫電阻體

23…下游側(cè)測(cè)溫電阻體

25…薄壁部

30…有機(jī)保護(hù)膜

30(a)…有機(jī)保護(hù)膜

33…隙縫內(nèi)周側(cè)有機(jī)保護(hù)膜

34…隙縫外周側(cè)有機(jī)保護(hù)膜

35…隙縫

36…隙縫

37…形成在半導(dǎo)體基板上的電阻體

38…形成在半導(dǎo)體基板上的溫度傳感器

40…Al配線

50…接合線

60…模塑樹脂

61…模塑樹脂和熱式流量傳感器的邊界部

80…模塑下模具

81…模塑上模具

82…樹脂流出口

83…嵌入件