技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明的目的在于在進(jìn)行使半導(dǎo)體元件的一部分部分地露出的樹(shù)脂封固的情況下，提高產(chǎn)品的可靠性。為了達(dá)成上述目的，本發(fā)明的熱式空氣流量傳感器的特征在于，包括：半導(dǎo)體基板，其具有薄壁部、設(shè)置在上述薄壁部上的發(fā)熱電阻體和設(shè)置在上述發(fā)熱電阻體的上下游的測(cè)溫電阻體；設(shè)置在上述半導(dǎo)體基板上的保護(hù)膜；和將上述半導(dǎo)體基板封固的樹(shù)脂，上述樹(shù)脂具有使包括上述薄壁部的區(qū)域部分地露出的露出部，上述保護(hù)膜設(shè)置成圍繞上述發(fā)熱電阻體，上述有機(jī)保護(hù)膜的外周端部比上述薄壁部靠外側(cè)且位于上述露出部。

技術(shù)研發(fā)人員：土井良介;中野洋;半澤惠二
受保護(hù)的技術(shù)使用者：日立汽車(chē)系統(tǒng)株式會(huì)社
文檔號(hào)碼：201710138074
技術(shù)研發(fā)日：2013.06.10
技術(shù)公布日：2017.06.13